1Q营收利润双增长，新签订单创历史新高，下游需求强劲
　　华海清科22年全年营收16.5亿元（yoy+104.9%），归母净利润5.0亿元（yoy+153.0%），CMP设备毛利率显著提升，拉升综合毛利率至47.7%，同比增加3.0pct。公司23Q1实现收入6.2亿元(yoy+76.9%，qoq+19.5%)，归母净利润1.9亿元（yoy+112.5%，qoq+22.2%），毛利率46.7%,同比降低1.7pcts。公司披露截至4Q新签订单金额约35.7亿元（不含Demo订单），再创历史新高，为后续业绩增长提供保障。我们上调公司2023/24年收入至28.1/37.3亿元，预测25年收入为46.7亿元。2023年行业PS均值为13.2倍，考虑到公司设备+服务收入快速放量，我们给予一定估值溢价，对应17.2x 23PS，维持“买入”，目标价453.6元。
　　CMP设备技术节点不断突破，市占率不断提高，看好业绩逐季释放
　　回顾2022年，我们看到1）公司2022年CMP设备在逻辑芯片、DRAM存储芯片等成熟制程领域均完成了90%以上工艺覆盖，良好的成本管控能力使毛利率提升4.9pct；2)先进封装、大硅片领域设备已批量交付客户生产线，面向化合物设备已在SiC、GaN等领域取得批量订单；3)扩展了减薄设备、湿法设备、金属膜厚测量设备等并实现交付;4)晶圆再生产能达到8万片/月。公司高度重视研发创新，22年研发投入2.2亿元，同比增长89.9%。公司披露截至4Q，公司新签订单金额约35.7亿元（不含Demo订单），再创历史新高，为后续业绩增长提供保障。
　　2023展望：在手订单强劲，长期看好“设备+服务”平台化发展战略
　　虽然美国出口条例等影响造成2023年中国半导体设备资本开支存在不确定性，但加快了半导体设备国产化进程。公司CMP设备的产品竞争力和工艺覆盖度持续提高，市场占有率再创新高，扩展了减薄设备、湿法设备、金属膜厚测量设备等并实现交付。另外，公司已完成对鑫钰新材料有限公司（主营半导体离子注入机）的股权投资，进一步巩固、强化产业链协同效应，完善业务布局。长期我们看好工艺平台演进与国产化率提升，公司CMP设备带动减薄设备、湿法设备、测量设备、晶圆再生、耗材服务等收入持续放量。
　　估值：维持“买入”评级，上调目标价至453.6元
　　受益于进口替代加速以及工艺覆盖度提升，我们上调公司2023/24年收入至28.1/37.3亿元（前值：26.4/37/1亿元），对应归母净利润7.0/8.6亿元，预测25年收入/净利润为46.7/10.9亿元。2023年行业PS均值为13.2倍，考虑到公司设备+服务收入快速放量，我们给予一定估值溢价，对应17.2x23PS，维持“买入”，上调目标价至453.6元（前值：298.30元）。
　　风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。