TOPCon隧穿与掺杂多晶硅核心工艺设备环节具备多种技术路线和对应高度垄断的行业竞争格局。TOPCon相较于PERC增加硼扩散设备、氧化硅隧穿层+p-Poly层制备设备、去绕镀刻蚀设备，减少激光开槽设备，其中2nm超薄隧穿层与掺杂多晶硅层制备最为核心，可选工艺路线较多。当前较成熟为热氧化法，即拉普拉斯的LPCVD路线，据我们不完全统计，2022年投产100GW左右TOPCon电池片中绝大部分使用LPCVD路线，PECVD、PVD、PEALD路线亦均有设备厂商积极布局。捷佳伟创于2021年12月与润阳光伏签订PERC+升级TOPCon的整线改造订单，为其提供5GW的PE-poly核心装备，PE-Poly三合一设备可在同一机台完成隧穿氧化层、非晶硅层、原位掺杂三道工序，该设备因具有投资成本低、掺杂工艺时间短、效率高、解决绕镀问题等明显优势被视为LPCVD强有力的竞争路线之一。
　　微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业，头部企业示范效应或将带来行业竞争格局变动。微导纳米2023年1月18日公告，公司拟向彭山通威销售ALD钝化设备及PE-Poly设备，合同金额4.5亿元（含13%增值税），占公司2021年营收的105.58%。本次合同设备供应项目为通威眉山（彭山）32GW高效电池项目——一期16GW项目。微导纳米在本项目中保持正面Al2O3钝化层设备供应的行业领先地位，并成功签约隧穿+掺杂多晶硅工艺部分PE-Poly设备，为公司首次向通威大批量供应TOPCon核心工艺所需的PE-Poly设备，我们认为这标志公司PE-Poly设备成功规模化导入头部光伏电池企业，具备与LPCVD、PECVD传统头部设备厂商同台竞技的产品力。行业头部企业的认可将为公司2023年重点突破PECVD、PEALD与PECVD二合一机台市场奠定良好基础。
　　TOPCon隧穿与掺杂多晶硅设备未来或将呈现LPCVD、PECVD、PEALD三足鼎立局面。微导纳米PE-Poly设备为PEALD+PECVD二合一机台，充分发挥了公司在原子层沉积领域的技术优势。相较LPCVD、PECVD，ALD技术沉积的隧穿氧化层能够做到超薄（小于2nm）、大面积的均匀、更好的致密性。此前公司与先导智能合作提供并搭载了PEALD二合一设备的TOPCon工艺技术整线解决方案已于2022年9月在无锡尚德2GW数字化TOPCon产线成功实现量产，光电转化效率大于25%，取得GW级别产业突破。我们认为LPCVD、PECVD、PEALD三大路线各有千秋，TOPCon高效电池产业参与者层次、数量众多，需求各异，未来1-2年内各大路线的竞争预计会呈现较为均衡的状态，而在均衡中此前市场份额较小且为光伏设备新秀的设备厂商业绩弹性将会更大。
　　投资建议：微导纳米的光伏设备业务成长逻辑从钝化层ALD工艺向钝化层ALD+隧穿氧化层PEALD+掺杂多晶硅层PECVD的整套解决方案逐步深化，市场空间大幅增加。建议关注光伏设备板块业绩弹性较大、同时半导体ALD设备密集验证、已有重复订单的微导纳米。
　　风险分析：TOPCon产业化不及预期；新电池技术迭代速度超预期；传统头部光伏设备厂设备更新不及预期。

研究报告全文：2023年1月19日行业研究微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业光伏设备行业动态跟踪报告要点机械行业TOPCon隧穿与掺杂多晶硅核心工艺设备环节具备多种技术路线和对应高度垄买入维持断的行业竞争格局TOPCon相较于PERC增加硼扩散设备氧化硅隧穿层p-Poly层制备设备去绕镀刻蚀设备减少激光开槽设备其中2nm超薄隧作者穿层与掺杂多晶硅层制备最为核心可选工艺路线较多当前较成熟为热氧化法分析师杨绍辉即拉普拉斯的LPCVD路线据我们不完全统计2022年投产100GW左右执业证书编号S0930522060001021-52523860TOPCon电池片中绝大部分使用LPCVD路线PECVDPVDPEALD路线亦均yangshaohuiebscncom有设备厂商积极布局捷佳伟创于2021年12月与润阳光伏签订PERC升级TOPCon的整线改造订单为其提供5GW的PE-poly核心装备PE-Poly三合联系人林映吟一设备可在同一机台完成隧穿氧化层非晶硅层原位掺杂三道工序该设备因021-52523418linyingyinebscncom具有投资成本低掺杂工艺时间短效率高解决绕镀问题等明显优势被视为LPCVD强有力的竞争路线之一行业与沪深300指数对比图微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业头部企业示范效应或将带来行业竞争格局变动微导纳米2023年1月18日公告公司拟向彭山通威销售ALD钝化设备及PE-Poly设备合同金额45亿元含13增值税占公司2021年营收的10558本次合同设备供应项目为通威眉山彭山32GW高效电池项目一期16GW项目微导纳米在本项目中保持正面Al2O3钝化层设备供应的行业领先地位并成功签约隧穿掺杂多晶硅工艺部分PE-Poly设备为公司首次向通威大批量供应TOPCon核心工艺所需的PE-Poly设备我们认为这标志公司PE-Poly设备成功规模化导入头部光伏电池企业具备与LPCVDPECVD传统头部设备厂商同台竞技的产品力行业头部企业的资料来源Wind认可将为公司2023年重点突破PECVDPEALD与PECVD二合一机台市场奠定良好基础TOPCon隧穿与掺杂多晶硅设备未来或将呈现LPCVDPECVDPEALD三足鼎立局面微导纳米PE-Poly设备为PEALDPECVD二合一机台充分发挥了公司在原子层沉积领域的技术优势相较LPCVDPECVDALD技术沉积的隧穿氧化层能够做到超薄小于2nm大面积的均匀更好的致密性此前公司与先导智能合作提供并搭载了PEALD二合一设备的TOPCon工艺技术整线解决方案已于2022年9月在无锡尚德2GW数字化TOPCon产线成功实现量产光电转化效率大于25取得GW级别产业突破我们认为LPCVDPECVDPEALD三大路线各有千秋TOPCon高效电池产业参与者层次数量众多需求各异未来1-2年内各大路线的竞争预计会呈现较为均衡的状态而在均衡中此前市场份额较小且为光伏设备新秀的设备厂商业绩弹性将会更大投资建议微导纳米的光伏设备业务成长逻辑从钝化层ALD工艺向钝化层ALD隧穿氧化层PEALD掺杂多晶硅层PECVD的整套解决方案逐步深化市场空间大幅增加建议关注光伏设备板块业绩弹性较大同时半导体ALD设备密集验证已有重复订单的微导纳米风险分析TOPCon产业化不及预期新电池技术迭代速度超预期传统头部光伏设备厂设备更新不及预期敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告行业及公司评级体系评级说明行买入未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15以上业增持未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5至15及公中性未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5至5司减持未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5至15评卖出未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15以上级无评级因无法获取必要的资料或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件或者其他原因致使无法给出明确的投资评级A股主板基准为沪深300指数中小盘基准为中小板指创业板基准为创业板指新三板基准为新三板指数港股基准指数为恒生基准指数说明指数分析估值方法的局限性说明本报告所包含的分析基于各种假设不同假设可能导致分析结果出现重大不同本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易分析师声明本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师以勤勉的职业态度专业审慎的研究方法使用合法合规的信息独立客观地出具本报告并对本报告的内容和观点负责负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性客户反馈竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与不与也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系法律主体声明本报告由光大证券股份有限公司制作光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格负责本报告在中华人民共和国境内仅为本报告目的不包括港澳台的分销本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页中国光大证券国际有限公司和EverbrightSecuritiesUKCompanyLimited是光大证券股份有限公司的关联机构特别声明光大证券股份有限公司以下简称本公司创建于1996年系由中国光大集团总公司投资控股的全国性综合类股份制证券公司是中国证监会批准的首批三家创新试点公司之一根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可本公司的经营范围包括证券投资咨询业务本公司经营范围证券经纪证券投资咨询与证券交易证券投资活动有关的财务顾问证券承销与保荐证券自营为期货公司提供中间介绍业务证券投资基金代销融资融券业务中国证监会批准的其他业务此外本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理直接投资期货基金管理以及香港证券业务本报告由光大证券股份有限公司研究所以下简称光大证券研究所编写以合法获得的我们相信为可靠准确完整的信息为基础但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性光大证券研究所可能将不时补充修订或更新有关信息但不保证及时发布该等更新本报告中的资料意见预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断可能需随时进行调整且不予通知在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的财务状况以及特定需求投资者应当充分考虑自身特定状况并完整理解和使用本报告内容不应视本报告为做出投资决策的唯一因素对依据或者使用本报告所造成的一切后果本公司及作者均不承担任何法律责任不同时期本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息建议及预测不一致的报告本公司的销售人员交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略本公司的资产管理子公司自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险在做出投资决策前建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择在法律允许的情况下本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行财务顾问或金融产品等相关服务投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发仅向特定客户传送本报告的版权仅归本公司所有未经书面许可任何机构和个人不得以任何形式任何目的进行翻版复制转载刊登发表篡改或引用如因侵权行为给本公司造成任何直接或间接的损失本公司保留追究一切法律责任的权利所有本报告中使用的商标服务标记及标记均为本公司的商标服务标记及标记光大证券股份有限公司版权所有保留一切权利光大证券研究所上海北京深圳静安区南京西路1266号西城区武定侯街2号福田区深南大道6011号恒隆广场1期办公楼48层泰康国际大厦7层NEO绿景纪元大厦A座17楼光大证券股份有限公司关联机构香港英国中国光大证券国际有限公司EverbrightSecuritiesUKCompanyLimited香港铜锣湾希慎道33号利园一期28楼64CannonStreetLondonUnitedKingdomEC4N6AE敬请参阅最后一页特别声明-2-证券研究报告