2015年公司开始布局清洗设备，拓展相关产业链，并于2017年取得较快进展。基于国内半导体设备未来几年保持高速增长，公司从厂务系统向设备进军，判断公司18-20的EPS分别为0.45/0.63/0.87元，基于行业水平给予18年50倍估值，对应目标价22.5元，首次覆盖给予增持评级。 
    全球半导体行业高景气，设备投资开启新一轮增长：①从终端需求看，17年全球半导体销售额为4122亿美元，同增21.6%，其中中国半导体销售额占全球比重达31.9%。②根据SEMI预计，2018年中国半导体设备支出将达到110.4亿美元，同比增速高达61.4%。根据我们的统计，19年仍将保持较高增速水平。③2017年泛半导体设备国产化率仅为16%，仍处于较低水平。在"政策+资金"双驱动下，国内半导体设备制造商有望崛起。 
    立足高纯工艺系统，切入清洗设备赛道：①公司高纯工艺系统收入保持高位，2017年为3.69亿，同比增长40.17%，毛利率39.02%，处于行业较高水平，具有较强的盈利能力。公司为高纯工艺系统稀缺标的，下游市场空间近300亿元。②2015年公司开始布局清洗设备，并于2017年取得较快进展，形成两款具有较强竞争力的湿法工艺设备。判断国内未来几年清洗设备市场空间也近300亿，目前公司已取得6台批量订单，未来有望在清洗设备赛道加速奔跑。 
    催化剂：半导体产业加速向大陆转移、公司切入清洗设备领域 
    风险提示：应收账款回收的风险