事件概述
　　公司发布2026年三季报。
　　暗场等新品加速放量，新签订单同比高增
　　2026Q1-3公司实现收入16.41亿元，同比+34.31%；其中Q3收入6.73亿元，同比+34.73%。公司无图形、套刻精度量测等现有产品持续迭代升级并放量，是主要收入构成；明暗场、高深宽比刻蚀量测等新品收入加速放量，推动营收延续较快增势。随着Q4订单加速确认，我们预计26年有望回到更高增长势头。此外，截至26Q3末，公司存货/合同负债为42.89/14.30亿元，同比+69.11%/+151.70%，可以推测出公司新接订单同比大幅提升，尤其明暗场等设备新品开始放量，在新接订单占比提升明显。
　　先进制程拉升毛利率，Q3盈利水平同环比显著改善
　　2026Q3公司归母净利润/扣非归母净利润3231/-1350万元，同比+783.70%/+54.43%；销售净利率/扣非净利率为4.80%/-2.01%，同比+4.07/+3.92pct，高研发投入下仍然实现盈利水平同环比显著提升。具体来看：1）毛利端：2026Q3公司毛利率51.46%，同比+2.76pct，毛利同环比改善主要受益规模效应释放，以及先进制程收入占比提升。2）费用端：2026Q3公司期间费用率为57.68%，同比+9.13pct；其中公司研发费用2.54亿元，同比+63.93%，研发费用率同比+6.71pct，是公司扣非仍亏损的主要原因；公司研发团队继续扩充，相关研发投入随之增长，加快新产品和现有产品向更前沿工艺迭代升级。随着营收端快速兑现，后续盈利水平有望修复。
　　量/检测设备实现全面覆盖，明暗场设备实现批量销售
　　公司形成“光学+电子束+X光”一站式方案能力，13大产品系列量检测领域覆盖度70%+，并持续加大研发力度迭代升级。1）公司11大系列设备已批量量产并在国内头部客户产线应用，市占率快速提升，其中明场设备成熟制程已经实现批量销售，先进制程取得部分订单；暗场实现批量销售，出货机台数量以及客户订单量持续快速增长。此外，电子束（CD-SEM）、晶圆平整度量测设备已出货至头部客户开展验证。2）公司出海同样实现积极进展，无图形、图形检测、三维形貌量测、膜厚量测设备已实现海外先进封装客户销售，无图形、膜厚量测出货至海外先进制程客户开展验证。
　　投资建议
　　我们维持2026-2028年公司营收预测为30.73、44.05、61.67亿元，分别同比+50%、+43%、+40%；归母净利润预测为2.37、7.10、10.90亿元，分别同比+305%、+199%、+54%，EPS预测为0.67、2.02、3.10元。2026/10/29日股价228.27元对应PE分别为338、113、73倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　扩产不及预期、新品研发不及预期、行业竞争加剧等。