事件概述
　　公司发布2026年第三季度报告。
　　射频电源放量+新客户导入，Q3收入拐点确认
　　26Q1-3实现收入4.47亿元，同比+11.3%，其中Q3为1.68亿元，同比+73.0%，环比+9.3%，单季度增速大幅转正并提速，符合市场预期。分产品看，26Q3自研产品收入为1.53亿元，同比+107%，构成收入核心增量。分客户看：1）我们判断核心大客户拓荆份额稳定，在手订单保持高增；2）屹唐、微导纳米等新客户陆续放量。8月沈阳新厂验收、9月公司新增租赁厂房扩产，均反映订单爆发，看好后续收入端加速增长。
　　毛利率出色且继续提升，Q3利润端同比高增
　　26Q1-3实现归母净利润/扣非归母0.92/0.86亿元，同比持平，其中Q3为0.39/0.36亿元，同比+76.2%/+73.4%，环比+11%/+10%，符合市场预期。26Q3公司净利率为23.3%，同环比微增，保持较好盈利水平。1）毛利端：26Q3毛利率48.4%，同比+2.2pct，环比+0.4pct，判断系自研产品占比提升；2）费用端：26Q3期间费用率26.7%，同比+0.8pct，主要系公司扩张期间，研发投入加大，销售管理等开支增加。
　　先进制程新品等巩固龙头地位，真空类平台打开空间
　　1）射频电源是刻蚀、薄膜等核心零部件，少数在先进制程&3D堆叠趋势下具有通胀属性的零部件，根据弗若斯特沙利文数据，2026年国内半导体射频电源市场规模约80亿元，主要由海外厂商MKS、AE、霍廷格和AIHEN等垄断，国产替代空间广阔；2）全球零部件供应链紧张，国产替代加速，公司5nm及以下产品小批量试产；3）公司战略围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，目前引进产品主要为真空泵、质量流体计等，完善电气类零部件平台化布局。
　　投资建议
　　我们维持公司2026-2028年营收预测为7.20、9.75、12.30亿元，分别同比+36%、+35%、+26%；归母净利润为1.54、2.13、2.87亿元，分别同比+35%、+38%、+35%；对应EPS为2.28、3.15和4.24元，2026/10/27股价250.17元对应PE分别为110、79和59倍。考虑公司所处赛道稀缺，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品不及预期等。