事件：2026年前三季度公司实现营业收入5.28亿元，同比增长28.10%；归母净利润1.60亿元，同比增长46.66%；扣非归母净利润1.51亿元，同比增长44.33%。
　　Q3主业盈利稳中有升，研发加码夯实中长期技术储备。公司2026Q3实现营业收入2.01亿元，同比增长17.70%；归母净利润0.54亿元，同比下降1.60%，主要系非经常性损益同比减少约206万元，主营盈利仍保持增长；扣非归母净利润0.52亿元，同比增长2.31%。盈利能力方面，公司三季度净利率26.21%，同比下降5.46pcts，主要系同期研发投入0.33亿元，同比增长66.06%，占营业收入比例提升4.75pcts至16.31%。2026年前三季度公司毛利率56.85%，同比基本持平；净利率29.81%，同比提升3.73pcts。
　　半导体应用收入占比提升，客户拓展延伸至晶圆厂直供。2023至2025年，公司流量控制系列应用于半导体领域的收入占主营业务收入比例由4.20%提升至21.91%，半导体应用已成为公司重要的收入来源。公司部分型号MFC、FRC于2024年批量应用于7nm及以下逻辑芯片等先进制程前道设备，2025年公司进一步向部分晶圆厂直接供货。在先进制程批量应用及晶圆厂直供基础上，现有客户采购放量与更多产品导入有望带来持续增量。
　　募投项目聚焦高端半导体设备零部件，半导体业务有望成为公司中长期核心增长引擎。公司IPO募资净额13.85亿元中，10.10亿元拟投向高端半导体设备零部件研发及产业化项目，项目投产后有望扩大公司产能规模。从全球格局来看，Horiba、MKS、Brooks等国外企业仍占据流量控制领域较高份额，公司作为已实现先进制程批量供货的国内厂商，份额提升空间较大。随募投投产及新品完成客户验证，看好公司半导体业务放量。
　　盈利预测与估值：我们预计公司2026-2028年营业收入分别为6.46/9.50/11.61亿元，归母净利润分别为1.92/3.35/4.08亿元，首次覆盖，给予公司“推荐”评级。
　　风险提示：募投项目建设及达产进度不及预期风险，半导体技术迭代风险，行业竞争加剧风险。