零部件是半导体设备产业链的基石，各子赛道组成百亿美元市场。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续摩尔定律的关键所在，其中半导体设备零部件作为设备关键构成要素，是半导体行业发展的关键支撑。半导体设备零部件产品种类繁杂多样且验证周期长，行业技术、客户壁垒高企。据我们测算，全球半导体设备零部件市场2024年规模有望超过540亿美元，其中中国大陆市场规模约为187亿美元。根据富创精密招股说明书数据，机械类、电气类、机电一体类、气液真空系统类、仪器仪表类及光学类占半导体设备零部件市场的比例分别为12%、6%、8%、9%、1%和8%。展望未来，AI等新兴应用的发展将助力半导体市场规模持续增长，进而带动晶圆厂设备支出、设备零部件市场规模不断提升。
　　周期复苏明朗&国产替代正当时，半导体设备零部件行业迎来发展窗口期。2024年以来，消费电子等终端需求持续改善叠加AI、汽车电子等驱动行业革新，半导体行业周期复苏趋势明朗，行业需求回升促使全球晶圆厂持续扩产，带动设备支出增长，根据SEMI预测，2024年全球晶圆厂设备支出将提升至1130亿美元。外部政策方面，海外管制层层加码，2024年12月2日，美国将多家中国半导体企业列入实体清单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微等多家半导体设备公司，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升；与此同时，我国政策持续发力，2024年5月成立的国家大基金三期有望加大对核心技术和关键零部件的支持力度。周期复苏、国产替代、政策支持等多重利好共振，国产半导体设备零部件产业链有望迎来加速发展窗口期。
　　半导体设备关键零部件市场竞争格局较为集中，国产厂商凭技术优势/平台型布局前景可期。全球半导体设备零部件行业格局整体较为分散，根据Yole数据，2022年行业CR10为53%，但各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、真空阀门、真空泵等被少数海外巨头垄断。以静电卡盘市场为例，该市场主要由日本和美国等企业主导，根据QYResearch数据，2021年前四大企业占据90%以上的全球市场份额。整体看国内半导体设备关键零部件产业尚处于发展初期，未来随着本土厂商技术实力的不断提升，叠加设备产业链国产替代进程加速，具备技术优势的国内企业有望率先导入下游头部客户，而充分内拓外延平台化布局的企业将具备广阔的成长空间。
　　投资建议：半导体设备零部件作为产业基石，品类繁多、参与制造全流程，是决定半导体设备产业发展水平的关键因素。当前伴随行业周期复苏与AI驱动产业革新，晶圆厂扩产持续推进，叠加自主可控需求推动国产替代加速，建议关注国内零部件技术与布局领先的标的：富创精密、珂玛科技、英杰电气、新莱应材、江丰电子等。
　　风险提示：下游客户验证不及预期；晶圆厂扩产进度不及预期；中美贸易摩擦加剧。