国内工艺介质供应系统领域的先行者。正帆科技创建于2009年10月，主要为国内泛半导体、光纤制造和生物医药等高科技产业客户提供三位一体（关键系统、核心材料、专业服务）的综合服务，主营业务包括电子工艺设备、生物制药设备、电子气体和MRO（快速响应、设备维保和系统运营）服务。公司以电子工艺设备为起点，2012年-2014年布局医药行业，优化下游客户结构；2015年-2020年在电子工艺设备、生物制药设备业务的基础上向集成电路、平板显示等领域迈进；近两年来，公司不仅纵向开拓已有的泛半导体、光纤制造和生物医药等制造产业，还逐步拓展了新能源、新材料等其它新兴产业。
　　拓宽业务布局，产业链闭环提升公司核心竞争力。依托系统和装备类固定资产投资（CAPEX）业务，正帆科技积极开拓前端及后端服务运营类（OPEX）业务，从而实现对客户关键材料、高纯输送及回收再利用三大核心环节一体化供应。CAPEX+OPEX共同驱动公司业务长期增长。
　　半导体零部件国产化持续渗透。SEMI预计2022年全球半导体制造设备总销售额将达到1085亿美金，若按零部件占设备市场规模的50%测算，则2022年全球半导体零部件市场规模或超过500亿美金。国内晶圆厂扩产，中美科技摩擦背景下，国产设备供应商近两年进入产品拓展、客户导入快车道。为进一步保障供应链安全，设备厂积极布局上游国产零部件。当前国产零部件渗透率尚低，国产零部件供应商与设备厂紧密合作，产品及客户持续突破，国产化率有望加速提升。子公司鸿舸切入半导体零部件GasBox，截至2022年8月底鸿舸在手订单达3亿元，积极扩产成长可期。
　　立足电子特气切入大宗气体，综合服务商初具雏形。根据Techcet，2021年全球电子特种气体的市场规模为45.38亿美元，预计2025年市场规模将超过60亿美元，2021年-2025年复合增长率达到7.3%。2021年，全球电子气体的市场规模整体达到约62.51亿美元，其中电子特种气体占72.6%，电子大宗气体占27.4%。海外厂商主导市场，全球电子气体主要生产企业林德、液化空气等前十大企业，2020年合计占全球电子气体90%以上市场份额，国产替代空间巨大，正帆电子气体业务以电子特气为核心，逐步延伸至大宗气体，定增募集资金大力发展电子气体，特种气体与大宗气体双线推进，支撑公司长期成长。
　　盈利预测及投资建议：正帆科技深耕行业多年，产品技术水平领先，公司凭借优异的产品性能，在泛半导体、医药、光纤等领域积累了强大的客户资源，成功切入中芯国际、京东方、三安光电、亨通光电、恒瑞医药等国内知名客户以及SK海力士等国际品牌客户的供应链。公司当前多维度拓宽业务布局，CAPEX与OPEX业务并举，新兴行业持续渗透，成长可期。我们预计公司将在2023年至2025年实现收入39.1/50.6/65.8亿元，归母净利润4.0/5.5/7.6亿元，对应当前估值26.1/19.0/13.6x，给予“强烈推荐”评级。
　　风险提示：市场竞争加剧的风险、新产品研发不及预期的风险、全球贸易纷争风险

研究报告全文：公司研究20231006正帆科技688596公司深度报告国产工艺介质供应系统先行者CAPEXOPEX双轮驱动方正证券研究所证券研究报告分析师国内工艺介质供应系统领域的先行者正帆科技创建于2009年10月主郑震湘登记编号S1220523080004要为国内泛半导体光纤制造和生物医药等高科技产业客户提供三位一体关键系统核心材料专业服务的综合服务主营业务包括电子工艺佘凌星登记编号S1220523070005设备生物制药设备电子气体和MRO快速响应设备维保和系统运营服务公司以电子工艺设备为起点2012年-2014年布局医药行业刘嘉元登记编号S1220523080001优化下游客户结构2015年-2020年在电子工艺设备生物制药设备业务的基础上向集成电路平板显示等领域迈进近两年来公司不仅纵向开强烈推荐首次拓已有的泛半导体光纤制造和生物医药等制造产业还逐步拓展了新能源新材料等其它新兴产业公司信息行业其他专用设备拓宽业务布局产业链闭环提升公司核心竞争力依托系统和装备类固定资产投资CAPEX业务正帆科技积极开拓前端及后端服务运营类最新收盘价人民币元373OPEX业务从而实现对客户关键材料高纯输送及回收再利用三大核总市值亿元10400心环节一体化供应CAPEXOPEX共同驱动公司业务长期增长52周最高最低价元48222955半导体零部件国产化持续渗透SEMI预计2022年全球半导体制造设备总销售额将达到1085亿美金若按零部件占设备市场规模的50测算则历史表现2022年全球半导体零部件市场规模或超过500亿美金国内晶圆厂扩产54中美科技摩擦背景下国产设备供应商近两年进入产品拓展客户导入快42车道为进一步保障供应链安全设备厂积极布局上游国产零部件当前30国产零部件渗透率尚低国产零部件供应商与设备厂紧密合作产品及客户持续突破国产化率有望加速提升子公司鸿舸切入半导体零部件Gas18Box截至2022年8月底鸿舸在手订单达3亿元积极扩产成长可期6-6立足电子特气切入大宗气体综合服务商初具雏形根据Techcet202122106231523462376正帆科技沪深年全球电子特种气体的市场规模为4538亿美元预计2025年市场规模300将超过60亿美元2021年-2025年复合增长率达到732021年全球数据来源wind方正证券研究所电子气体的市场规模整体达到约6251亿美元其中电子特种气体占726电子大宗气体占274海外厂商主导市场全球电子气体主要生相关研究产企业林德液化空气等前十大企业2020年合计占全球电子气体90以上市场份额国产替代空间巨大正帆电子气体业务以电子特气为核心逐步延伸至大宗气体定增募集资金大力发展电子气体特种气体与大宗气体双线推进支撑公司长期成长盈利预测及投资建议正帆科技深耕行业多年产品技术水平领先公司凭借优异的产品性能在泛半导体医药光纤等领域积累了强大的客户资源成功切入中芯国际京东方三安光电亨通光电恒瑞医药等国内知名客户以及SK海力士等国际品牌客户的供应链公司当前多维度拓宽业务布局CAPEX与OPEX业务并举新兴行业持续渗透成长可期我们预计公司将在2023年至2025年实现收入391506658亿元归母净利润405576亿元对应当前估值261190136x给予强烈推荐评级风险提示市场竞争加剧的风险新产品研发不及预期的风险全球贸易纷争风险1敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告盈利预测TableProFitForecast人民币单位百万2022A2023E2024E2025E营业总收入2705390950586580-4726445329383009归母净利润259399546763-5361541437003973EPS元101143196274ROE1074137315831811PE3361260819041363PB386358301247数据来源wind方正证券研究所注EPS预测值按照最新股本摊薄2敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告正文目录1国内工艺介质供应系统先行者积极开拓OPEX业务611深耕CAPEX业务拓展前后端OPEX业务612管理层经验丰富股权激励推动技术创新1013业绩持续攀升OPEX业务成新增长点122设备零部件海外厂商主导国内空间广阔1521电子特气种类众多应用广泛市场前景广阔1522半导体零部件半导体设备之基石183设备材料服务综合供应商业务版图徐徐展开2331工艺介质供应系统下游应用多点开花泛半导体贡献主要收入2332电子气体立足电子特气切入大宗气体综合服务商雏形初显2733定增加码布局电子气体294盈利预测及投资建议305风险提示333敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表目录图表1正帆科技发展历程6图表2正帆科技核心业务分类7图表3公司电子工艺设备分类及功能8图表4公司生物制药设备分类及功能8图表5公司电子气体产品分类及功能9图表6公司上下游产业链10图表7正帆科技股权结构10图表8公司管理层简介11图表9公司营收及增速亿元13图表10公司归母净利润及增速亿元13图表11公司毛利率及净利率13图表12公司分业务毛利率13图表13公司分产品营收占比14图表14公司研发费用及占比百万14图表15研发人员及人均创收万元14图表16公司费用率水平14图表17电子气体在半导体工艺中的应用15图表18全球电子特气下游需求占比16图表19中国电子特气下游需求占比16图表20全球电子特气市场规模亿美金16图表21全球电子气体市场规模及预测百万美元16图表22中国电子气体市场规模亿元17图表23中国集成电路对电子特气需求市场规模预测亿元17图表242020年全球电子气体市场份额17图表25半导体设备零部件产业链19图表26半导体零部件制造工艺高标准19图表27EUV光刻机空间成像测量系统AIMS零部件繁多20图表28半导体设备零部件分类20图表29半导体关键子系统市场规模及增速十亿美金21图表302020年中国晶圆厂商采购的8-12英寸晶圆设备前道零部件产品结构22图表312020年全球前十大关键子系统供应商22图表32前十大厂商全球份额22图表33正帆科技GasBox产品图23图表34子公司鸿舸半导体业绩表现万元23图表35公司产品纯度测试结果23图表36公司工艺控制能力23图表37公司分行业收入百万元24图表38公司电子工艺设备和生物制药设备下游应用收入占比24图表392020年中国晶圆厂商采购的8-12英寸晶圆设备前道零部件产品结构24图表40工艺介质供应系统行业竞争格局25图表41电子工艺设备和生物制药设备主要竞争厂商25图表42正帆与可比公司营收对比亿元26图表43正帆与可比公司净利润对比亿元26图表44正帆与可比公司毛利率对比26图表45正帆与可比公司净利率对比亿元264敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表46砷烷磷烷国家标准及公司工艺27图表47中国工业气体市场竞争格局28图表482021年中国工业气体市场份额占比28图表492020年中国特种气体市场竞争格局28图表50国产特种气体企业对比28图表51定增认购情况29图表52募投项目具体规划29图表53正帆科技盈利预测百万元32图表54正帆科技估值及归母净利润预测百万元325敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告1国内工艺介质供应系统先行者积极开拓OPEX业务11深耕CAPEX业务拓展前后端OPEX业务国内工艺介质供应系统领域的先行者正帆科技创建于2009年10月主要为国内泛半导体光纤制造和生物医药等高科技产业客户提供三位一体关键系统核心材料专业服务的综合服务主营业务包括电子工艺设备生物制药设备电子气体和MRO快速响应设备维保和系统运营服务公司以电子工艺设备为起点2012年-2014年布局医药行业优化下游客户结构2015年-2020年在电子工艺设备生物制药设备业务的基础上向集成电路平板显示等领域迈进近两年来公司不仅纵向开拓已有的泛半导体光纤制造和生物医药等制造产业还逐步拓展了新能源新材料等其它新兴产业图表1正帆科技发展历程资料来源正帆科技招股说明书公司公告方正证券研究所拓宽业务布局产业链闭环提升公司核心竞争力依托系统和装备类固定资产投资CAPEX业务正帆科技积极开拓前端及后端服务运营类OPEX业务使下游客户能够在一家供应商完成关键材料的生产高纯输送以及回收再利用三大核心环节公司致力于通过模块化集簇式的组织扩张和业务发展模式成为中国高科技产业和先进制造业配套与服务领域各细分市场的领导者6敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表2正帆科技核心业务分类资料来源公司年报方正证券研究所电子工艺设备和生物制药设备作为公司发展最久的两大核心业务公司已经具有成熟的定制化制造工艺先进的创新技术和高规格的环境通过研发介质供应系统微污染控制技术流体系统设计与模拟仿真技术生命安全保障与工艺监控技术满足了客户纯度控制工艺控制及安全控制三大方面的核心诉求电子工艺设备集成电路太阳能光伏平板显示半导体照明光纤制造等高科技制造业在生产过程中存在多种特殊制程工艺中会用到大量高纯超高纯ppt级别的干湿化学品对介质供应系统要求非要严格电子工艺设备的核心关键在于设计制造严格的品控公司根据客户工艺需求定制化设计连接高纯介质和工艺生产设备的安全高效高品质的关键设备提供设备制造系统安装调试和维保服务电子工艺设备的主要产品包括特气柜化学品中央供应柜分流箱化学品稀释混配单元液态源输送设备等7敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表3公司电子工艺设备分类及功能资料来源公司公告方正证券研究所生物制药设备公司的生物制药设备是为生物医药产业提供符合中国及欧美各国药典及GMP标准的洁净流体工艺系统从单元装备到系统集成服务助力抗体蛋白等生物药疫苗细胞与基因之治疗体外诊断技术研发及产业化主要产品有1制药用水装备纯化水机注射用水机纯蒸汽发生器储存与分配模组设备等系列产品2生物工艺装备生物发酵反应器超滤纯化培养基与缓冲液灭活设备等产品3高端制剂装备分散乳化精确配制超滤纯化在线清洗设备等系列产品图表4公司生物制药设备分类及功能资料来源公司公告方正证券研究所8敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告积极开发新业务以OPEX业务为未来战略重点在电子工艺设备生物制药设备的业务基础上公司在材料服务端积极布局进一步开发电子气体和MRO业务并研发了高纯材料合成与分离提纯技术材料成分分析与痕量检测技术和关键工艺材料再生与循环技术助力OPEX业务长远发展电子气体电子气体是泛半导体企业加工制造过程中的关键材料公司的电子气体业务主要有1电子特种气体包括砷烷磷烷硅烷和电子混合气等高纯气体2电子大宗气包括高纯氮气高纯氢气等大宗气体公司是国内为数不多成功实现国产替代能稳定量产电子级砷烷和磷烷的企业之一将进一步加大相关研发和投产拓展产业链后端回收循环系统的相关业务稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商电子特气产品中的砷烷磷烷属于公司自研自产产品已成功实现了国产替代正帆是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷磷烷的企业之一公司通过在现有自研自产和混配电子特种气体的能力以及逐步投入电子大宗气的生产供应能力已启动合肥电子特气生产基地的三期项目以及位于潍坊的大宗气生产基地的基础上稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商图表5公司电子气体产品分类及功能资料来源公司公告方正证券研究所MRO业务即维护Maintenance维修Repair运营Operation业务是针对已有客户的电子工艺设备生物制药设备提供的后续配套服务包括技改工程设备销售配件综合采购维修保养及运营等服务公司经过长期稳定的业务发展有能力提供高质量的MRO服务打造产业链闭环9敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告产业积累深厚供应链稳定公司业务处于产业链中游位置通过采购上游高洁净应用材料经设计制造安装形成最终的电子工艺设备和生物制药设备满足下游客户的供应需求深耕工艺介质供应系统十余年公司积累了丰富的项目经验和研发成果逐步形成稳定优质的供应商和客户图表6公司上下游产业链资料来源正帆科技招股说明书方正证券研究所12管理层经验丰富股权激励推动技术创新公司实际控制人为俞东雷崔荣夫妇通过风帆控股有限公司间接控股1918其余主要持股高管均来自早期创业团队其中周明峥黄勇分别持股456492在公司前十名股东中四名为混合基金由农业银行等托管可积极发挥投资机构对公司资金和发展的推动作用子公司各司其职推动多业务拓展公司拥有20余家控股子公司其中全资子公司达14家正帆半导体江苏正帆正帆超净正帆百泰等主要从事工艺介质供应系统合肥正帆等主要从事气体业务鸿舸半导体等主要从事半导体零部件业务硕之鑫等从事资源再生利用公司不断拓展新兴业态持续发展气体制造和后端回收利用并于2022年9月收购苏州华业强化公司在高纯电子载气方面的供应能力继续夯实综合服务优势图表7正帆科技股权结构资料来源企业预警通方正证券研究所10敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告管理人员技术出身且多数来自公司初创团队公司实际控制人俞东雷崔荣二人均具有该行业丰富管理经验且具备对应专业背景俞东雷修读农业机械专业曾任美国Cargill公司生产主管2004-2009年任正帆超净总经理崔荣修读无线电通讯专业曾任德国西门子慕尼黑总部工程师2004-2009年任正帆超净销售经理副总经理此外董事黄勇等人同样拥有相关学历及技术经历具有丰富经验核心技术人员实力雄厚公司以李东升周明峥等人为核心技术人员其中李东升曾多次在公司参与行业国家标准制定时担任起草人且曾长期担任公司及公司前身技术总监职务此外自2021年俞东雷卸任总经理职务后新任总经理为子公司上海徕风总裁史可成史可成具有长期技术经验在液化空气公司深耕二十余年将进一步推动公司电子气体实验室气体工业气体等业务拓展图表8公司管理层简介姓名职位主要介绍董事长董有丰富管理经验2004-2009年任正帆超净总经理现任上海正帆科技股份有限公司董俞东雷事事长兼风帆控股董事刘越独立董事曾任北大青鸟集团副总裁中芯国际集成电路制造有限公司副总裁等擅长生物制药领域曾任中国医学科学院药物研究所助理研究员北京双鹤药业双鹤研胡文言独立董事究院项目经理美国雷德国际企业集团研发部总经理中国生化制药工业协会副秘书长北京天地外医药科技有限公司总经理等职务费忠新独立董事会计学教授中国注册会计师曾任中国航天科技集团公司第五研究院工程师德国西门子北京总部工程师德国西门崔荣董事子慕尼黑总部工程师2002年进入上海新帜纯超净技术有限公司2004-2009年任正帆超净销售经理副总经理现任上海正帆科技股份有限公司董事兼风帆控股董事朱德宇董事曾任上海鹏欣集团有限公司副总裁湖南大康牧业股份有限公司董事长曾任中国建筑材料检验认证中心助理工程师昆吾九鼎投资管理有限公司业务委员会合朱鷖佳董事伙人长期从事投资相关工作曾任中国国际金融股份有限公司策略研究员同创九鼎投资管谢海闻董事理股份有限公司投资副总裁创办北京闪创科技有限公司北京友财投资管理有限公司曾任成达化学工程公司工程师美国空气化工产品公司高级项目开发工程师2004-2009黄勇董事年任上海正帆超净技术有限公司副总经理公司核心技术人员毕业于清华大学核工程专业具有高级工程师二级建造师资质核心技术人曾任核工业第五研究设计院工程师上海纳式真空设备有限公司高级工程师等2004-李东升员2009年任上海正帆超净技术有限公司技术总监现任上海正帆科技股份有限公司副总经理及技术总监公司核心技术人员毕业于福建林学院现福建农林大学制浆造纸工程专业本科学核心技术人历2001-2008年任空气化工产品上海有限公司工程师经理2008-2009年9月任曾庆腾员上海正帆超净技术有限公司技术经理自2009年起在正帆科技任职现任合肥正帆电子材料有限公司技术总监监事会主公司核心技术人员曾任上海电力安装第二工程公司项目部工程师液化空气上海有限周明峥席核心技公司项目部工程师等2002-2004年在上海新帜纯超净技术有限公司工程部任经理术人员2004-2009年在上海正帆超净技术有限公司工程部任经理曾任上海煤气表具有限公司设计工程师上海辰天商贸有限公司任技术部工程师2002于峰监事年至2004年在上海新帜纯超净技术有限公司任产品工程师2004年至2009年在上海正帆超净技术有限公司任技术服务部副总经理11敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告毕业于华东理工大学轻化工程专业本科学历2004-2011年在上海正帆超净技术有限公司任工程师2011年起在上海正帆科技股份有限公司任职历任项目部部门经理王俊珺职工监事人事部部门经理厂务系统服务事业部副总经理现任研发中心高级经理2021年4月经公司职工大会选举为职工代表监事曾任中石化天津有限公司工程师液化空气中国投资有限公司任客户安装及服史可成总经理务总监PAG及并购业务副总裁2020年至今任上海徕风工业科技有限公司总裁全面负责开发电子气体实验室气体工业气体和工业服务业务副总经理毕业于美国伊利诺伊大学香槟分校金融专业硕士研究生学历2021年6月至今任正郑鸿亮财务负责人帆科技副总经理财务负责人毕业于上海财经大学工商管理专业研究生学历2011年3月至今在正帆科技任职历副总经理陈越任公司副总经理董事企业管理中心总监2021年6月至今任正帆科技副总经理董事会秘书自2022年8月起兼任公司董事会秘书资料来源正帆科技招股说明书Wind方正证券研究所员工持股计划绑定核心员工共谋发展2023年1月公司公告第一期员工持股计划拟参加本员工持股计划的员工总人数不超过450人其中董事高级管理人员为4人本员工持股计划涉及的标的股票数量不超过80万股其中公司董事高级管理人员拟持有股数上限不超过615万股占本员工持股计划的比例为769中层管理人员及核心业务骨干拟持有股数上限不超过7385万股占本员工持股计划的比例为9231本次员工持股计划公司层面业绩考核目标为以2022年营收为基准公司2023年营业收入增长率不低于20且以2022年净利润为基准公司2023年净利润增长率不低于20员工持股计划进一步绑定公司核心员工提升团队凝聚力13业绩持续攀升OPEX业务成新增长点2022年营收高速增长五年来利润稳步攀升2022年公司实现营收271亿元同比增长达4732023年H1实现营收134亿元同比增长4262022年公司实现归母净利润259亿元同比增长5362023年H1归母净利润达到15亿元同比增长1835公司归母净利润多年来保持稳定增长不断拓展新业务新市场凭借公司多年经验和过硬实力科研创新和顺应业态方向的业务拓展公司与国内外优质客户建立稳定合作依托CAPEX业务持续开拓OPEX新业务实现业绩稳步增长正帆科技2023年H1实现扣非归母净利润075亿元yoy661上半年综合毛利率2838同比220公司2023Q2单季度实现营收934亿元yoy6071归母净利润139亿元yoy2335扣非归母净利润067亿元yoy6781单季度毛利率2708净利率162812敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表9公司营收及增速亿元图表10公司归母净利润及增速亿元30271703200261835601802525160473501402018442640228817120301515134151210011911120809208101016006383536040505-10200-2000201820192020202120222023H1201820192020202120222023H1归母净利润同比增长营业收入同比增长资料来源Wind方正证券研究所资料来源Wind方正证券研究所图表11公司毛利率及净利率图表12公司分业务毛利率302520151050201820192020202120222023H1综合毛利率净利率资料来源Wind方正证券研究所资料来源Wind方正证券研究所夯实基础做强两翼领跑产业分产品营收来看CAPEX业务仍然为创收主体2022年营业收入中83来自CAPEX业务同时公司不断推进OPEX业务研发与扩产基于现有客户群应用扩张前端电子气体业务不断占领国内电子气体市场加速产品质量提高和国产化发展围绕市场需求推进研发创新研发投入持续增长沿着下游先进制造业的需求演变公司在进一步巩固工艺介质供应系统业务优势的同时向电子气体减排及资源再利用领域攻坚公司针对特种气体化学品控制的相关技术开展研发创新活动由技术研发中心统筹公司整体的研发管理工作制定了完善的研发流程和研发管理制度2022年公司研发人员306人研发人员数量占比2311人均创收20429万元同比增长19572023年H1公司研发费用084亿元占营收比47同比增长88913敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表13公司分产品营收占比图表14公司研发费用及占比百万1008060402002019202020212022电子工艺设备生物制药设备电子气体MRO资料来源Wind方正证券研究所资料来源Wind方正证券研究所图表15研发人员及人均创收万元2019202020212022研发人员数量142163191306研发人员数量1773192617772311占比人均创收14803131091708620429人均创利1036146915671954资料来源Wind方正证券研究所精细化管理综合费用率较为稳定公司各项费用率总体水平较低2023年H1公司销售费用率管理费用率财务费用率合计占比13近年来公司管理费用有所增长主要原因在于员工激励成本规模扩大和设备折旧更新但总体来看公司综合费用率水平较为稳定图表16公司费用率水平151050201820192020202120222023H1-5销售费用管理费用财务费用综合费用资料来源Wind方正证券研究所14敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告2设备零部件海外厂商主导国内空间广阔21电子特气种类众多应用广泛市场前景广阔电子气体被称为半导体材料的粮食和源电子气体包括电子大宗气体与电子特种气体是集成电路显示面板半导体照明光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料是集成电路制造的第二大制造材料仅次于硅片占晶圆制造成本的13电子特种气体品类众多广泛应用于集成电路光刻刻蚀成膜清洗掺杂沉积等工艺环节主要分为三氟化氮等清洗气体六氟化钨等金属气相沉积气体等图表17电子气体在半导体工艺中的应用类别用途主要产品氨气氦气氧化亚氮TEOS正硅酸乙酯TEB硼酸三乙化学气相沉积CVD酯TEPO磷酸三乙酯磷化氢三氟化氯二氯硅烷氟化氮硅烷六氟化钨六氟乙烷四氯化钛甲烷等氟化砷三氟化磷磷化氢三氟化硼三氯化硼四氟化离子注入硅六氟化硫氙气等电子特种气光刻胶印刷氟气氦气氪气氖气等体扩散氢气三氯氧磷等氦气四氟化碳八氟环丁烷八氟环戊烯氟甲烷二氟甲刻蚀烷氯气溴化氢三氯化硼六氟化硫一氧化碳等含硼磷砷等三族及五族原子之气体如三氯化硼乙硼烷掺杂三氟化硼磷化氢砷化氢等电子大宗气环境气保护气载体氮气氧气氩气二氧化碳等体资料来源金宏气体招股书方正证券研究所中国集成电路用电子特气占比低于全球水平仍有上升空间根据前瞻产业研究院数据显示全球范围内电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的71应用于显示面板行业的占比18我国电子特种气体应用于集成电路行业的需求占比为42应用于显示面板行业的占比37我国集成电路行业电子特种气体的需求相对较低主要原因为我国的集成电路产业技术水平和产业规模与世界先进国家和地区还存在一定差距而显示面板产业经过多年持续发展我国已成为全球最大的产业基地15敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表18全球电子特气下游需求占比图表19中国电子特气下游需求占比308080130180420710370LED光伏显示面板集成电路LED光伏显示面板集成电路资料来源中船特气招股书方正证券研究所资料来源中船特气招股书方正证券研究所2022年全球电子气体市场规模近70亿美金根据TECHCET数据全球电子特种气体的市场规模2017年约3691亿美元2020年增长至4185亿美元2021年进一步提升至4538亿美元2017-2021年CAGR53预计2025年市场容量将超过60亿美元2021-2025年CAGR达到7332021年全球电子气体市场规模约6251亿美元其中电子特种气体占726电子大宗气体占274图表20全球电子特气市场规模亿美金图表21全球电子气体市场规模及预测百万美元9008007002041946001791841715001661491571544003005586024545005122003693913884191000020172018201920202021E2022E2023E2024E2025E电子特种气体电子大宗气体资料来源中船特气招股书方正证券研究所资料来源TECHCET方正证券研究所我国电子特气需求高速增长近年来电子气体下游产业技术快速更迭集成电路领域晶圆尺寸从6寸8寸发展到12寸甚至18寸制程技术从28nm到7nm显示面板从LCD到刚性OLED再到柔性可折叠OLED迭代光伏能源从晶体硅电池片向薄膜电池片发展等下游产业的快速迭代驱动关键材料电子特气精细化程度持续提升此外随着全球半导体显示面板等电子产业链不断向亚洲中国大陆地区转移近年来以集成电路显示面板为主的电子特气需求快速增长根据SEMI预计2025中国电子气体市场规模将提升到3166亿元2021-2025年CAGR12816敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表23中国集成电路对电子特气需求市场规模预测亿图表22中国电子气体市场规模亿元元3501603001402501202001008015010060504002002020E2021E2022E2023E2024E2025E资料来源中船特气招股书方正证券研究所资料来源中船特气招股书方正证券研究所海外龙头主导全球电子气体市场国产替代空间大根据TECHCET数据全球电子气体主要生产企业林德液化空气等前十大企业合计占全球电子气体90以上市场份额其中林德液化空气大阳日酸和空气化工4大国际巨头市场份额超过70这些国际大型电子气体企业通常同时从事大宗电子气体业务和电子特种气体业务大宗电子气体业务企业需要在客户建厂同时匹配建设气站和供气设施借助其较强的技术服务能力和品牌影响力为客户提供整体解决方案具有很强的市场竞争力图表242020年全球电子气体市场份额其他23林德28空气化工11大阳日酸13液化空气25资料来源TECHCET中船特气招股书方正证券研究所电子特气行业主要有技术壁垒认证壁垒与资质壁垒1技术壁垒特种气体在其生产过程中涉及合成纯化混合气配制充装分析检测气瓶处理等多项工艺技术以及客户对纯度精度等的高要求对行业的拟进入者形成了较高的技术壁垒目前大宗气体提纯净化的生产技术特种气体保供的生产技术等关键性技术国内仍然存在卡脖子的现象2认证壁垒作为关键性材料特种气体的产品质量对下游产业的正常生产影响巨大因此下游客户尤其是集成电路显示面板光伏能源光纤光缆等高端领域客户对气体供应商的选择均需经过审厂产品认证2轮严格的审核认17敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告证其中光伏能源光纤光缆领域的审核认证周期通常为05-1年显示面板通常为1-2年集成电路领域的审核认证周期长达2-3年3资质壁垒工业气体属于危险化学品在其生产储存运输销售等环节均需通过严格的资质认证取得安全生产许可证危险化学品经营许可证道路运输经营许可证移动式压力容器充装许可证等多项资质资质获取作为工业气体行业生产经营的前置程序严格的资质审核对行业新进入者形成了较高的资质壁垒自2009年以来为解决半导体材料卡脖子问题国产电子特气行业得到国家政策大力支持2009年科技部在国家火炬计划优先发展技术领域中首次将专用气体列入优先发展的新材料及应用领域中的电子信息材料2017年1月工信部等四部委首次提出加快高纯特种电子气体研发及产业化解决极大规模集成电路材料制约正帆电子气体业务以电子特气为核心逐步延伸至大宗气体用于工业生产制造的工业气体按应用领域的不同可分为大宗气体和特种气体其中大宗气体根据制备方式的不同可分为空分气体氧气氮气等和合成气体氨气甲烷等特种气体又可分为电子特气主要用于薄膜蚀刻掺杂气相沉积扩散等半导体工艺和其他特种气体医疗气体食品气体等正帆的电子气体业务主要有电子特种气体包括砷烷磷烷硅烷和电子混合气等高纯气体等其后又延伸开展了电子大宗气体业务包括高纯氮气高纯氢气等泛半导体行业工艺中作为载气使用的各种大宗气体22半导体零部件半导体设备之基石半导体精密零部件是半导体设备行业的基石半导体零部件是指在材料结构工艺品质和精度可靠性及稳定性等方面达到半导体设备及技术要求的零部件上游原材料包括铝合金材料和部分非金属原材料下游应用则涵盖了光刻刻蚀清洗薄膜沉积等半导体设备鉴于半导体设备厂商往往为轻资产模式运营其绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上或以精密零部件作为载体来实现因此精密零部件对半导体设备的性能至关重要18敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表25半导体设备零部件产业链资料来源富创精密招股说明书方正证券研究所半导体设备零部件参数高标准工艺复杂由于应用于可靠性要求非常高的半导体设备中零部件参数往往要兼顾精度强度洁净度抗腐蚀电子特性电磁特性材料纯度等复合功能要求生产工艺涉及精密机械制造工程材料表面处理特种工艺电子电机整合及工程设计等多个领域和学科是半导体设备核心技术的直接保障图表26半导体零部件制造工艺高标准技术介绍围绕精准加工工艺路线和程序开发材料科学和材料力学与零件结构和加工参数的匹配制造方精密机械式与产业模式匹配通过机械制造精度和所加工材料精准把控提升半导体设备整体性能及使用制造技术寿命表面处理可分为干式制程和湿式制程用于保障精密零部件的高洁净超强耐腐蚀耐击穿电压等性能特种工艺技术干式制程包括抛光喷砂及喷涂等湿式制程包括化学清洗阳极氧化化学镀镍及电解抛光等确保半导体设备精密零部件焊接区域的零气孔零裂纹零瑕疵保证半导体设备零部件的产品焊接技术性能及使用寿命以最终实现真空环境下的半导体设备工艺制程的稳定资料来源富创精密招股说明书公司公告方正证券研究所半导体精密零部件种类众多市场较为分散由于半导体设备技术工艺复杂种类各异因此精密零部件的种类繁多主要包括机械类中的金属工艺件结构件电气类机电一体类气体液体真空系统类仪器仪表类光学类等等各个细分市场规模较小且不同零部件之间工作原理各异导致碎片化特征较明显蔡司的用于EUV光刻机的空间成像测量系统AIMS就拥有134个供应商4500个系统部件64万个零部件19敬请关注文后特别声明与免责条款正帆科技688596公司深度报告图表27EUV光刻机空间成像测量系统AIMS零部件繁多资料来源SEMIyoutube方正证券研究所图表28半导体设备零部件分类资料来源富创精密招股说明书公司公告方正证券研究所20敬请关注文后特别声明与免责条款