投资要点
　　2023年8月28日，公司发布2023年半年度业绩报告。2023年H1公司营业收入为14.80亿元，同比增长32.13%，归母净利润为1.09亿元，同比增长33.67%；毛利率为34.96%，净利率为5.82%。
　　制程设备业务持续深入，高纯工艺系统集成订单再创新高业务。（1）制程设备业务：公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高工艺机台，至微S300 SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。2023H1，单设备在用户量产线上累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口重要里程碑。目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。公司湿法设备应用于成熟制程产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。（2）高纯工艺系统集成业务:以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务仍保持良好增长，订单再创新高。公司已成为国内最大高纯工艺系统支持设备供应商，有效替代并改变原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。
　　启东基地二期、海宁基地及日本工厂顺利启用，产能提升助力主营发展后劲。启东设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用，产线顺利建设完成，已经正式投产；海宁模组及精密制造基地8.5万平米交付启用，设备机台顺利移入，已经正式投产；日本子公司办公及厂房约5000平米完成交付和搬入，正式启用，为进一步开拓海外市场发展提供基础。2023H1，公司已经建成34万平米的生产和服务基地，另有10万平米建设中将于年内交付，能有效支持公司在“十年展望-五年规划-三年路径-年度目标”框架下的中短期和长期战略目标。公司产品线布局和产能建设都已经能够支持年度百亿订单交付，为公司实现3-5年经营战略目标奠定了基础。
　　加速布局电子材料及核心零部件业务，持续加强制程设备本土供应链建设。电子材料及核心零部件方面：（1）大宗气业务已经稳定地给公司贡献收入，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破原先先进制程大宗气由国际供应商垄断情势，实现国内自主大宗气站零突破。（2）合肥晶圆再生和腔体部件再生业务量开始进入稳定爬坡，下半年预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期，在用户导入方面已经顺利调整策略并进入有序业务爬升中。（3）TGM/TCM驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证，皆为长期用户基于信任需求导入，在电子材料方面也已开始布局。供应链建设方面：公司于2021年起部署人力物力加强制程设备本土供应链的建设，以确保业务连续性并提升交付周期。2023H1，制程设备本土供应链的建设进一步取得成果，公司通过订单牵引、合作开发等一系列举措培养本土上游供应链的阶段目标一一达成。
　　投资建议：我们维持盈利预测，预计2023年至2025年营业收入分别为42.71/50.88/58.74亿元，增速分别为40.1%/19.1%/15.5%；归母净利润分别为5.23/6.76/8.79亿元，增速分别为85.1%/29.3%/30.0%；对应PE分别19.9/15.4/11.9。考虑到至纯科技在国内清洗设备领域领先地位，且产品率先突破14nm制程，叠加系统集成业务导入一线集成电路制造企业，维持买入-A建议
　　风险提示：新建晶圆厂进程不及预期；公司研发进展不及预期；国内外同行业竞争加剧，造成人才流失风险

研究报告全文：2023年09月03日公司研究证券研究报告至纯科技603690SH公司快报机械其他专用机械制程设备持续深入加速布局电子材料及核心零部件投资评级买入-A维持股价2023-09-012697元投资要点交易数据2023年8月28日公司发布2023年半年度业绩报告2023年H1公司营业收入为总市值百万元10429521480亿元同比增长3213归母净利润为109亿元同比增长3367毛利率流通市值百万元1039114为3496净利率为582总股本百万股38671流通股本百万股38528制程设备业务持续深入高纯工艺系统集成订单再创新高业务1制程设备业12个月价格区间45302624务公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一目前湿法设备在28纳米一年股价表现节点已经全覆盖且全工艺机台均有订单在更先进制程节点至微已取得部分工艺订单单片硫酸设备为湿法设备中难度最高工艺机台至微S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂并已经应用于国内头部客户12英寸逻辑量产线月产能最高可达6万片次以上2023H1单设备在用户量产线上累计产量已超过20万片次是为高阶湿法设备国产替代进口重要里程碑目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商公司湿法设备应用于成熟制程产品线拓展有序在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高应用于先进制程高阶产品线在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后但在高温硫酸资料来源聚源FINETCH单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台公司交付和验证进度都在国内升幅1M3M12M领先2高纯工艺系统集成业务以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务仍保持良好增长订单再创新高公司已成为国内最大高纯工艺系统支持设备供应商相对收益-786-181-415有效替代并改变原先由国外气体公司垄断的供给格局公司系统集成及支持设备国绝对收益-1235-1992-992内龙头地位稳固核心客户均为行业一线用户如中芯国际华虹华力华为长分析师孙远峰江存储合肥长鑫士兰微等SAC执业证书编号S0910522120001sunyuanfenghuajinsccn启东基地二期海宁基地及日本工厂顺利启用产能提升助力主营发展后劲启东分析师王海维执业证书编号设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用产线顺利建设完成已经正式投产SACS0910523020005wanghaiweihuajinsccn海宁模组及精密制造基地85万平米交付启用设备机台顺利移入已经正式投产相关报告日本子公司办公及厂房约5000平米完成交付和搬入正式启用为进一步开拓海至纯科技紧握国产替代历史机遇加码湿外市场发展提供基础2023H1公司已经建成34万平米的生产和服务基地另有法设备巩固国内行业领先地位-业绩快报至10万平米建设中将于年内交付能有效支持公司在十年展望-五年规划-三年路径纯科技202349-年度目标框架下的中短期和长期战略目标公司产品线布局和产能建设都已经能够支持年度百亿订单交付为公司实现3-5年经营战略目标奠定了基础加速布局电子材料及核心零部件业务持续加强制程设备本土供应链建设电子材料及核心零部件方面1大宗气业务已经稳定地给公司贡献收入由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标目前已持续稳定供气达到15年成功打破原先先进制程大宗气由国际供应商垄断情势实现国内自主大宗气站零突破2合肥晶圆再生和腔体部件再生业务量开始进入稳定爬坡下半年预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期在用户导入方面已经顺利调整策略并进入有序业务爬升中3TGMTCM驻厂服务有序开展部分腔体部件开始验证皆为长期用户基于信任需求导入在电子材httpwwwhuajinsccn15请务必阅读正文之后的免责条款部分公司快报其他专用机械料方面也已开始布局供应链建设方面公司于2021年起部署人力物力加强制程设备本土供应链的建设以确保业务连续性并提升交付周期2023H1制程设备本土供应链的建设进一步取得成果公司通过订单牵引合作开发等一系列举措培养本土上游供应链的阶段目标一一达成投资建议我们维持盈利预测预计2023年至2025年营业收入分别为427150885874亿元增速分别为401191155归母净利润分别为523676879亿元增速分别为851293300对应PE分别199154119考虑到至纯科技在国内清洗设备领域领先地位且产品率先突破14nm制程叠加系统集成业务导入一线集成电路制造企业维持买入-A建议风险提示新建晶圆厂进程不及预期公司研发进展不及预期国内外同行业竞争加剧造成人才流失风险财务数据与估值会计年度2021A2022A2023E2024E2025E营业收入百万元20843050427150885874YoY492463401191155净利润百万元282282523676879YoY8102851293300毛利率362354354348350EPS摊薄元073073135175227ROE6660101116131PE倍370369199154119PB倍2623211916净利率13593122133150数据来源聚源华金证券研究所httpwwwhuajinsccn25请务必阅读正文之后的免责条款部分公司快报其他专用机械财务报表预测和估值数据汇总资产负债表百万元利润表百万元会计年度2021A2022A2023E2024E2025E会计年度2021A2022A2023E2024E2025E流动资产47665971696273408162营业收入20843050427150885874现金151910351113993974营业成本13301971275933163818应收票据及应收账款12192117226423622533营业税金及附加1020283136预付账款483629709975962营业费用7483117130140存货11831705244625673173管理费用199310425482516其他流动资产362485431443520研发费用144193269304345非流动资产31673867421847955309财务费用79859795102长期投资206274324386446资产减值损失-74-119-47-36-13固定资产9751588204523592653公允价值变动收益65-2893456无形资产400435503584656投资净收益5121242123其他非流动资产15861570134614661554营业利润3712935957791015资产总计79339838111801213513471营业外收入40222流动负债27613935486751985776营业外支出11111短期借款12831985236023602360利润总额3752935967801017应付票据及应付账款538900125416301841所得税901373104137其他流动负债9401051125312091575税后利润284280523676879非流动负债88111941004974875少数股东损益2-2000长期借款649772762710596归属母公司净利润282282523676879其他非流动负债232421242264279EBITDA51455485110791344负债合计36435129587161726651少数股东权益224249249250250主要财务比率股本319321387387387会计年度2021A2022A2023E2024E2025E资本公积30143101310131013101成长能力留存收益7471030153321783006营业收入492463401191155归属母公司股东权益40664460506057146569营业利润250-2101029309304负债和股东权益79339838111801213513471归属于母公司净利润8102851293300获利能力现金流量表百万元毛利率362354354348350会计年度2021A2022A2023E2024E2025E净利率13593122133150经营活动现金流-191-808475674800ROE6660101116131净利润284280523676879ROIC54547688102折旧摊销64121130163193偿债能力财务费用79859795102资产负债率459521525509494投资损失-51-21-24-21-23流动比率1715141414营运资金变动-593-1430-269-202-291速动比率1008070706其他经营现金流2615819-38-59营运能力投资活动现金流-716-633-506-677-622总资产周转率0303040405筹资活动现金流906915110-117-197应收账款周转率1918202224应付账款周转率2927262322每股指标元估值比率每股收益最新摊薄073073135175227PE370369199154119每股经营现金流最新摊薄-049-209123174207PB2623211916每股净资产最新摊薄10511153127814491672EVEBITDA22123215212197资料来源聚源华金证券研究所httpwwwhuajinsccn35请务必阅读正文之后的免责条款部分公司快报其他专用机械公司评级体系收益评级买入未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15以上增持未来6个月的投资收益率领先沪深300指数5至15中性未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-5至5减持未来6个月的投资收益率落后沪深300指数5至15卖出未来6个月的投资收益率落后沪深300指数15以上风险评级A正常风险未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动B较高风险未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动分析师声明孙远峰王海维声明本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格勤勉尽责诚实守信本人对本报告的内容和观点负责保证信息来源合法合规研究方法专业审慎研究观点独立公正分析结论具有合理依据特此声明httpwwwhuajinsccn45请务必阅读正文之后的免责条款部分公司快报其他专用机械本公司具备证券投资咨询业务资格的说明华金证券股份有限公司以下简称本公司经中国证券监督管理委员会核准取得证券投资咨询业务许可本公司及其投资咨询人员可以为证券投资人或客户提供证券投资分析预测或者建议等直接或间接的有偿咨询服务发布证券研究报告是证券投资咨询业务的一种基本形式本公司可以对证券及证券相关产品的价值市场走势或者相关影响因素进行分析形成证券估值投资评级等投资分析意见制作证券研究报告并向本公司的客户发布免责声明本报告仅供华金证券股份有限公司以下简称本公司的客户使用本公司不会因为任何机构或个人接收到本报告而视其为本公司的当然客户本报告基于已公开的资料或信息撰写但本公司不保证该等信息及资料的完整性准确性本报告所载的信息资料建议及推测仅反映本公司于本报告发布当日的判断本报告中的证券或投资标的价格价值及投资带来的收入可能会波动在不同时期本公司可能撰写并发布与本报告所载资料建议及推测不一致的报告本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态本公司将随时补充更新和修订有关信息及资料但不保证及时公开发布同时本公司有权对本报告所含信息在不发出通知的情形下做出修改投资者应当自行关注相应的更新或修改任何有关本报告的摘要或节选都不代表本报告正式完整的观点一切须以本公司向客户发布的本报告完整版本为准在法律许可的情况下本公司及所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行财务顾问或者金融产品等相关服务提请客户充分注意客户不应将本报告为作出其投资决策的惟一参考因素亦不应认为本报告可以取代客户自身的投资判断与决策在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议无论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