>> 华金证券-半导体设备行业快报:浸润式光刻机进口处处受限,静待28nm光刻机王者归来-230803
| 上传日期: |
2023/8/4 |
大小: |
299KB |
| 格式: |
pdf 共4页 |
来源: |
华金证券 |
| 评级: |
领先大市 |
作者: |
孙远峰,王海维 |
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事件点评 据21ic电子网援引《新华网》7月31日消息,上海微电子正致力于研发28nm浸没式光刻机,预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。 一超两强格局稳定,中国浸润式光刻机进口处处受限。根据各公司官网数据统计,2022年ASML、Cannon、Nikon光刻机销量分别为345、176、38台,ASML光刻机销量远超其余两家之和,为Cannon、Nikon合计销量1.6倍。从提供光刻机类别层面分析,ASML为EUV光刻机唯一供应商,ASML与Nikon均可提供ArFi、ArF光刻机。根据日本限制条件,在光刻设备中用于处理晶圆的步进重复式、步进扫描式光刻机设备(光源波长为193nm以上、且光源波长乘以0.25再除以数值孔径得到数值为45及以下)受到管制,故Nikon NSR(Immersion &MP)平台光刻机均包含在内,型号包括NSR-S635E、S631E及S622D均受到管制,中国已无法从日本进口ArFi光刻机。根据荷兰新出口管制条例规定,ASML生产的最先进浸润式DUV系统NXT:2000i及后续NXT:2050i浸润式光刻机将受到限制。 各细分领域技术相继研发成功,静待28nm光刻机王者归来。在光刻机产业链中,国内在双工作台、光学系统、物镜系统、光源系统方面均有企业相继研发成功。根据半导体产业纵横报道,在双工件台方面,华卓精科打破ASML在光刻机工件台上技术垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术公司;在光源方面,科益虹源可自主研发设计生产高能准分子激光器,填补中国在准分子激光技术领域空白,目前已完成6kHZ、60w主流ArF光刻机光源制造;在光学镜头方面,奥普光学提供镜头可做到90纳米;在光刻机整机生产方面,上海微电子90nm光刻机已获得突破,正在攻关28nm DUV光刻机,仍待交付。 新建晶圆厂+产能扩产+下游需求蓬勃发展拉动光刻机需求。①从新建晶圆厂层面分析,根据SEMI数据,中国大陆晶圆厂建厂速度全球第一,预计至2024年底,合计将建立31座大型晶圆厂,且全部为成熟制程。以中芯国际天津T3集成电路生产线项目为例对成熟制程12寸线设备数量需求进行分析,中芯国际天津T3集成电路生产线项目中,将新建12寸晶圆厂房及产线,制程为90nm,新建12寸晶圆规划产能为每月1万片,所需光刻机共8台,其中深紫外沉浸式涂胶曝光机4台,深紫外涂胶曝光机3台,紫外涂胶曝光机1台;②从晶圆产能层面分析,根据SEMI数据,2026年全球300mm晶圆厂产能有望提高至960万片/月;全球半导体制造商预计将从2021年到2025年将200mm晶圆厂产能提高20%,新增13条200mm生产线,产能有望超700万片/月,带动晶圆光刻机市场需求蓬勃发展。③从下游需求层面分析,根据ASML数据,2020年全球制造芯片超过9,530亿颗,到2022年,半导体行业芯片产量超1.11万亿颗,市场规模达6,180亿美元,随着下游应用蓬勃发展,2025年半导体行业产值有望超过7,000亿美元。 投资建议:建议关注在光刻机核心技术领域有所突破,产品直接或间接进入ASML、Nikon、Cannon及上海微电子等供应链厂商。如福晶科技、茂莱光学、科益虹源(未上市)、苏大维格等。 风险提示:宏观经济形势变化风险致使产业链受到冲击;半导体行业景气度不及预期;光刻机厂商研发进度不及预期。
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