事件：芯源微发布2022年度报告，公司全年实现营业收入13.85亿元，同比增长67.12%；归母净利润2.00亿元，同比增长158.77%；扣非后归母净利润1.37亿元，同比增长114.99%。
　　涂胶显影产品放量助力营收与签单量大增：2022年公司新签订单规模同比大幅增长，集成电路offline、I-line、KrF设备全部实现批量销售并正在快速放量；LED、化合物半导体及封装领域产品也保持稳步增长。由于新签合同快速增长，2022年底公司合同负债金额5.85亿元，同比增长65.8%。
　　浸没式ArF设备取得进展，国产替代有望加速：芯源微于2022年12月17日发布了浸没式ArF涂胶显影设备FT(III)300。该型设备能与ArF浸没式光刻机协作，具备较高的技术附加值。该型设备此前几乎被日本完全垄断，随着日本对半导体设备采取出口限制，国产替代有望加速。公司对标设备的意向客户已包括逻辑、存储、功率领域的知名厂商，未来技术水平与盈利能力有望进一步提升。
　　清洗设备业务赋予公司额外成长动力：芯源微的集成电路用物理清洗机业务扩张较快，2022年实现营收5.50亿元，同比增长90%。公司清洗设备已获得中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，业务规模未来有望进一步扩大。
　　投资建议：综合考虑半导体行业周期影响，公司业务多元化的进展及在手订单情况，我们预计公司2023-25年营收为19.91/27.31/35.48亿元,归母净利润分别为3.15/4.59/6.19亿元，对应PE为85.27/58.53/43.41倍，给予“增持”评级。
　　风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内晶圆厂设备采购放缓；新产品放量进度不及预期；行业竞争加剧。