中国将对美光进行安全审查，彰显自主可控决心。3月31日，根据网信办官网披露，网信办为保障关键信息基础设施供应链安全，对美光公司（Micron）在华销售的产品实施网络安全审查。我们认为，实施审查一方面利好国内的存储企业的发展；另一方面，此举也彰显了我国在存储领域实现自主可控的信心，利好国内研发进展较快的设备和零部件公司。
　　日本跟进美国限制半导体设备的出口，国内零部件等领域国产替代有望加速。3月31日，根据日本经济新闻网，日本政府将限制半导体制造设备等23种品类的出口，是继荷兰之后，即将履行与美国达成的限制中国进口用于生产尖端半导体的设备的三方协议。在美国制裁中国设备采购之后，国内众多制造企业增加了对于日韩零部件和设备的采购，此次日本的出口限制增加了国内半导体供应链的不稳定性，同时也将敦促国内的FAB厂和设备公司加强对于国产零部件和设备的验证，国产替代有望加速。
　　半导体设备方面，推荐引领存储领域制程进步的设备公司。目前128层3DNAND闪存已进入大生产，其制造工艺中，刻蚀要在氧化硅和氮化硅的叠层结构上，加工40：1到60：1甚至更高的极深孔或极深的沟槽。根据中微公司的年报，公司的等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺，开发的三代CCP高能等离子体刻蚀机已实现刻蚀60:1极高深宽比。因此，我们推荐在极高深宽比方面获得突破的中微公司（和广发电子组联合覆盖）。
　　设备零部件方面，推荐在特气输送领域形成竞争力的零部件公司。3DNAND层数的增加，要求刻蚀技术实现更高的深宽比，同时增加了刻蚀次数，对刻蚀设备的需求比例进一步加大。且干法刻蚀需要用到大量的特气，其中的特气阀门要求很高的表面洁净度、且需要定期更换，需求量可观，同时特气需要用gas box进行调配。这些零部件均为国产替代持续进行的关键领域。我们推荐Gas box订单放量的正帆科技和在特气阀门形成竞争优势的新莱应材，建议关注同样布局Gas box的富创精密。
　　风险提示。国外关键设备制裁加剧风险；国内设备验证不及预期风险；国内半导体景气度较弱影响资本开支的风险。
　　

研究报告全文：TablePage跟踪分析机械设备证券研究报告半导体设备跟踪TableTitleTableGrade行业评级买入前次评级买入美光被审如何看待存储领域的设备及零部件机遇报告日期2023-04-04TableSummary相对市场表现TablePicQuote核心观点中国将对美光进行安全审查彰显自主可控决心3月31日根据网14信办官网披露网信办为保障关键信息基础设施供应链安全对美光公7司Micron在华销售的产品实施网络安全审查我们认为实施审查0042206220822102212220223一方面利好国内的存储企业的发展另一方面此举也彰显了我国在存-7储领域实现自主可控的信心利好国内研发进展较快的设备和零部件-14公司-21日本跟进美国限制半导体设备的出口国内零部件等领域国产替代有机械设备沪深300望加速月日根据日本经济新闻网日本政府将限制半导体制331造设备等23种品类的出口是继荷兰之后即将履行与美国达成的限分析师TableAuthor孙柏阳制中国进口用于生产尖端半导体的设备的三方协议在美国制裁中国SAC执证号S0260520080002设备采购之后国内众多制造企业增加了对于日韩零部件和设备的采021-38003680购此次日本的出口限制增加了国内半导体供应链的不稳定性同时也sunboyanggfcomcn将敦促国内的FAB厂和设备公司加强对于国产零部件和设备的验证分析师代川国产替代有望加速SAC执证号S0260517080007半导体设备方面推荐引领存储领域制程进步的设备公司目前128SFCCENoBOS186层3DNAND闪存已进入大生产其制造工艺中刻蚀要在氧化硅和021-38003678氮化硅的叠层结构上加工401到601甚至更高的极深孔或极深daichuangfcomcn的沟槽根据中微公司的年报公司的等离子体刻蚀设备可应用于64请注意孙柏阳并非香港证券及期货事务监察委员会的注层和128层的量产同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高册持牌人不可在香港从事受监管活动深宽比的刻蚀设备和工艺开发的三代CCP高能等离子体刻蚀机已实相关研究TableDocReport现刻蚀601极高深宽比因此我们推荐在极高深宽比方面获得突破的中微公司和广发电子组联合覆盖叉车行业跟踪电动化出口2023-04-03设备零部件方面推荐在特气输送领域形成竞争力的零部件公司3D共振制造业动能修复景气NAND层数的增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比同时增加了刻回升蚀次数对刻蚀设备的需求比例进一步加大且干法刻蚀需要用到大量机械设备行业周报仍在复苏2023-04-02的特气其中的特气阀门要求很高的表面洁净度且需要定期更换需通道后续关注下游去库存求量可观同时特气需要用gasbox进行调配这些零部件均为国产进度替代持续进行的关键领域我们推荐Gasbox订单放量的正帆科技和油气设备与服务跟踪报告三2023-04-02在特气阀门形成竞争优势的新莱应材建议关注同样布局Gasbox的桶油开支目标超额完成未富创精密来扩张持续风险提示国外关键设备制裁加剧风险国内设备验证不及预期风险TableContacts国内半导体景气度较弱影响资本开支的风险识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明14TablePageText跟踪分析机械设备重点公司估值和财务分析表Tableimpcom最新最近合理价值EPS元PExEVEBITDAxROE股票简称股票代码货币评级收盘价报告日期元股2022E2023E2022E2023E2022E2023E2022E2023E正帆科技688596SHCNY399020230115买入4984101142395028102997226612891510新莱应材300260SZCNY699120230112买入8742154219454031923000226924132360中微公司688012SHCNY1639020220813买入1719019023086347126748110734755860数据来源Wind广发证券发展研究中心备注表中估值指标按照最新收盘价计算正帆科技和新莱应材已经公布业绩快报中微公司已经公布年报已更新表中数据识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明24TablePageText跟踪分析机械设备广发机械行业研究小组TableResearchTeam代川首席分析师中山大学数量经济学硕士2015年加入广发证券发展研究中心孙柏阳联席首席分析师南京大学金融工程硕士2018年加入广发证券发展研究中心朱宇航资深分析师上海交通大学机械电子工程硕士2020年加入广发证券发展研究中心范方舟高级分析师中国人民大学国际商务硕士2021年加入广发证券发展研究中心汪家豪高级分析师美国约翰霍普金斯大学金融学硕士2022年加入广发证券发展研究中心王宁高级研究员北京大学金融硕士2021年加入广发证券发展研究中心石城高级研究员上海交通大学船舶与海洋工程硕士2022年加入广发证券发展研究中心蒲明琪研究员纽约大学计量金融硕士2022年加入广发证券发展研究中心姚佳研究员北京大学环境科学硕士2022年加入广发证券发展研究中心广发证券TableRatingIndustry行业投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘内10以上持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于对-1010卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘10以上广发证券TableRatingCompany公司投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘15以上增持预期未来12个月内股价表现强于大盘5-15持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于-55卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘5以上联系我们TableAddress广州市深圳市北京市上海市香港地址广州市天河区马场路深圳市福田区益田路北京市西城区月坛北上海市浦东新区南泉香港德辅道中189号26号广发证券大厦6001号太平金融大街2号月坛大厦18北路429号泰康保险李宝椿大厦29及3047楼厦31层层大厦37楼楼邮政编码510627518026100045200120-客服邮箱gfzqyfgfcomcn法律主体TableLegalDisclaimer声明本报告由广发证券股份有限公司或其关联机构制作广发证券股份有限公司及其关联机构以下统称为广发证券本报告的分销依据不同依据不国家地区的法律法规和监管要求由广发证券于该国家或地区的具有相关合法合规经营资质的子公司资经营机构完成广发证券股份有限公司具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资格接受中国证监会监管负责本报告于中国港澳台地区除外的分投销广发证券香港经纪有限公司具备香港证监会批复的就证券提供意见4号牌照的牌照接受香港证监会监管负责本报告于中国香港地区的分销本报告署名研究人员所持中国证券业协会注册分析师资质信息和香港证监会批复的牌照信息已于署名研究人员姓名处披露重要TableImportant声明Notices识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明34TablePageText跟踪分析机械设备广发证券股份有限公司及其关联机构可能与本报告中提及的公司寻求或正在建立业务关系因此投资者应当考虑广发证券股份有限公司系因此者应当考虑及其关联机构因可能存在的潜在利益冲突而对本报告的独立性产生影响投资者不应仅依据本报告内容作出任何投资决策投资者应自主存潜利益冲突而独性产生影响仅容作出投资决策并自行承担投资风险任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或者口头承诺均为无效本报告署名研究人员联系人以下均简称研究人员针对本报告中相关公司或证券的研究分析内容在此声明1本报告的全部分析结论研究观点均精确反映研究人员于本报告发出当日的关于相关公司或证券的所有个人观点并不代表广发证券的立场2研究人员的部分或全部的报酬无论在过去现在还是将来均不会与本报告所述特定分析结论研究观点具有直接或间接的联系研究人员制作本报告的报酬标准依据研究质量客户评价工作量等多种因素确定其影响因素亦包括广发证券的整体经营收入该等经营收入部分来源于广发证券的投资银行类业务本报告仅面向经广发证券授权使用的客户特定合作机构发送不对外公开发布只有接收人才可以使用且对于接收人而言具有保密义务广发证券并不因相关人员通过其他途径收到或阅读本报告而视其为广发证券的客户在特定国家或地区传播或者发布本报告可能违反当地法律广发证券并未采取任何行动以允许于该等国家或地区传播或者分销本报告本报告所提及证券可能不被允许在某些国家或地区内出售请注意投资涉及风险证券价格可能会波动因此投资回报可能会有所变化过去的业绩并不保证未来的表现本报告的内容观点或建议并未考虑任何个别客户的具体投资目标财务状况和特殊需求不应被视为对特定客户关于特定证券或金融工具的投资建议本报告发送给某客户是基于该客户被认为有能力独立评估投资风险独立行使投资决策并独立承担相应风险本报告所载资料的来源及观点的出处皆被广发证券认为可靠但广发证券不对其准确性完整性做出任何保证报告内容仅供参考报告中的信息或所表达观点不构成所涉证券买卖的出价或询价广发证券不对因使用本报告的内容而引致的损失承担任何责任除非法律法规有明确规定客户不应以本报告取代其独立判断或仅根据本报告做出决策如有需要应先咨询专业意见广发证券可发出其它与本报告所载信息不一致及有不同结论的报告本报告反映研究人员的不同观点见解及分析方法并不代表广发证券的立场广发证券的销售人员交易员或其他专业人士可能以书面或口头形式向其客户或自营交易部门提供与本报告观点相反的市场评论或交易策略广发证券的自营交易部门亦可能会有与本报告观点不一致甚至相反的投资策略报告所载资料意见及推测仅反映研究人员于发出本报告当日的判断可随时更改且无需另行通告广发证券或其证券研究报告业务的相关董事高级职员分析师和员工可能拥有本报告所提及证券的权益在阅读本报告时收件人应了解相关的权益披露若有本研究报告可能包括和或描述呈列期货合约价格的事实历史信息信息请注意此信息仅供用作组成我们的研究方法分析中的部分论点依据证据以支持我们对所述相关行业公司的观点的结论在任何情况下它并不明示或暗示与香港证监会第5类受规管活动就期货合约提供意见有关联或构成此活动权益披露TableInterestDisclosure1广发证券香港跟本研究报告所述公司在过去12个月内并没有任何投资银行业务的关系版权声明TableCopyright未经广发证券事先书面许可任何机构或个人不得以任何形式翻版复制刊登转载和引用否则由此造成的一切不良后果及法律责任由私自翻版复制刊登转载和引用者承担识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明44