投资建议
　　光刻机是代工最关键和核心设备，也是大陆最薄弱环节。光刻机21年全球市场172亿美金，其市场份额在晶圆生产设备中占比为20%，是半导体设备第二大品类。竞争格局上，ASML一家独大，Nikon+Canon占据剩余份额，大陆厂商目前进展较快的有上海微电子。
　　光刻机制裁落地，国产化势在必行。美国对大陆制裁层层升级，23年3月8日光刻机制裁落地，荷兰政府发布新出口管制，ASML需要申请出口许可，才能装运最先进的浸没式DUV系统，光刻机国产化亟待加速。
　　建议关注：
　　光学器件：福晶科技、腾景科技、茂莱光学、炬光科技、苏大维格、晶方科技、奥普光电；
　　洁净设备：美埃科技；
　　结构零部件：富创精密，新莱应材；
　　其他：张江高科。
　　风险提示
　　国产替代技术突破受阻，下游需求不及预期。
　　中美贸易摩擦加剧、研报使用的信息更新不及时的风险、行业数据或因存在主观筛选导致与行业实际情况存在偏差风险。