投资要点
　　面板检测龙头拓展半导体、新能源业务，业绩拐点有望出现
　　公司为国内领先的平板显示检测设备龙头，拓展半导体量/检测、新能源设备领域，半导体设备成功供货长江存储、中芯国际等龙头客户。面板行业下行周期，毛利端&研发费用端双向承压，2019年以来公司利润端有所下滑：1）收入端：2021年营收24.09亿元，2013-2021年CAGR达到42%，稳健增长。2）利润端：2018年归母净利润达2.89亿元，2019-2022Q1-Q3持续下滑。2018-2022Q1-Q3销售净利率分别为21.81%、13.33%、10.38%、5.81%和5.63%，整体呈下滑趋势。2022年公司实现扣非后归母净利润1.05-1.25亿元，同比-9.67%-7.54%。受益于半导体、新能源业务放量，我们判断公司业绩有望重回快速增长。
　　半导体量/检测设备国产替代有望加速，公司相关产品将进入放量阶段
　　量/检测设备在半导体设备中价值量占比11%，仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀设备，我们预计2022和2023年中国大陆半导体量/检测设备市场规模分别为290和326亿元。KLA在量/检测设备领域一家独大，全球市占率50%以上，2022年国产化率仍不足3%，是前道国产化率最低的环节之一。短期来看，美国制裁升级影响KLA业务开展，行业将迎来国产替代最佳窗口期。从产品布局来看，公司量/检测设备全面覆盖光学和电子束检测，是国内产品布局最为齐全的企业之一。从产业化进展来看，公司膜厚量测已较为成熟，OCD&电子束设备具备国产稀缺性，并积极布局明场缺陷检测&形貌量测领域。从订单表现来看，2021.12.1至2022.11.11上海精测与同一客户销售合同累计达到3.38亿元，约是2018-2021年营业收入之和的2倍，标志着公司正式进入重复订单放量阶段。展望2023年，看好公司设备在下游客户加速导入，订单加速放量。
　　新显示技术将驱动主业稳步增长，新能源设备受益中创新航扩产浪潮
　　 2022年面板行业经历了史上最长的15个月跌价周期，面板行业已处于底部。我们认为OLED、Mini、Micro LED等新技术路线以及由Module、Cell拓展至前段Array将是公司面板检测设备业务主要增长逻辑，相关业务仍有望实现平稳增长。
　　作为二线锂电龙头，中创新航持续加大产能扩张力度，2025年目标产能500GWh，约是2022年装机量的25倍。公司与中创新航签署《战略合作伙伴协议》，将充分受益于其大规模扩产。公司聚焦中后道工序，其中化成分容已批量出货，切叠一体机已获认证通过，同时布局锂电池视觉检测系统、电芯装配线和激光模切机等新品。2021年公司新能源设备实现收入0.52亿元，2022Q3末在手订单4.23亿元（含税），快速放量。2022年募投项目达产年收入14.65亿元，打开成长瓶颈。
　　盈利预测与投资评级：我们预计2022-2024年公司归母净利润分别为2.73、3.85和5.34亿元，当前市值对应动态PE分别为68、48和35倍。考虑到公司成长性突出，首次覆盖，给予“增持”评级。
　　风险提示：美国制裁风险、下游资本开支不及预期、毛利率下滑等。

研究报告全文：证券研究报告公司深度研究通用设备精测电子300567半导体量检测设备龙头受益于国产替代2023年03月10日加速证券分析师周尔双增持首次执业证书S0600515110002021-60199784TableEPS盈利预测与估值2021A2022E2023E2024Ezhouershdwzqcomcn证券分析师黄瑞连营业总收入百万元2409273934134299同比16142526执业证书S0600520080001归属母公司净利润百万元192273385534huangrldwzqcomcn同比-21424139每股收益-最新股本摊薄元069098138192股价走势股现价最新股本摊薄精测电子沪深300PE9665680648263480关键词TableTag进口替代332619投资要点TableSummary125-2面板检测龙头拓展半导体新能源业务业绩拐点有望出现-9-16公司为国内领先的平板显示检测设备龙头拓展半导体量检测新-23-30能源设备领域半导体设备成功供货长江存储中芯国际等龙头客户20223102022792022117202338面板行业下行周期毛利端研发费用端双向承压2019年以来公司利润端有所下滑1收入端2021年营收2409亿元2013-2021年CAGR达到稳健增长利润端年归母净利润达亿元42220182892019-市场数据持续下滑销售净利率分别为2022Q1-Q32018-2022Q1-Q32181收盘价元668213331038581和563整体呈下滑趋势2022年公司实现扣非后归母净利润105-125亿元同比-967-754受益于半导体新一年最低最高价31776834能源业务放量我们判断公司业绩有望重回快速增长市净率倍595半导体量检测设备国产替代有望加速公司相关产品将进入放量阶段流通A股市值百量检测设备在半导体设备中价值量占比11仅次于薄膜沉积光1381965刻和刻蚀设备我们预计2022和2023年中国大陆半导体量检测设备市万元总市值百万元场规模分别为290和326亿元KLA在量检测设备领域一家独大全球1858561市占率50以上2022年国产化率仍不足3是前道国产化率最低的环节之一短期来看美国制裁升级影响业务开展行业将迎来国KLA基础数据产替代最佳窗口期从产品布局来看公司量检测设备全面覆盖光学和电子束检测是国内产品布局最为齐全的企业之一从产业化进展来每股净资产元LF1123看公司膜厚量测已较为成熟OCD电子束设备具备国产稀缺性并积资产负债率LF5125极布局明场缺陷检测形貌量测领域从订单表现来看2021121至总股本百万股27814上海精测与同一客户销售合同累计达到亿元约是202211113382018-流通A股百万股206822021年营业收入之和的2倍标志着公司正式进入重复订单放量阶段展望2023年看好公司设备在下游客户加速导入订单加速放量相关研究新显示技术将驱动主业稳步增长新能源设备受益中创新航扩产浪潮2022年面板行业经历了史上最长的15个月跌价周期面板行业已处精测电子300567Q3单季于底部我们认为OLEDMiniMicroLED等新技术路线以及由度利润-146看好公司转型ModuleCell拓展至前段Array将是公司面板检测设备业务主要增长逻后成长空间辑相关业务仍有望实现平稳增长作为二线锂电龙头中创新航持续加大产能扩张力度2025年目标2019-10-29产能500GWh约是2022年装机量的25倍公司与中创新航签署战略精测电子3005672019H1合作伙伴协议将充分受益于其大规模扩产公司聚焦中后道工序其业绩预增3210-4062充中化成分容已批量出货切叠一体机已获认证通过同时布局锂电池视分受益OLED国产化加速觉检测系统电芯装配线和激光模切机等新品2021年公司新能源设备2019-07-07实现收入052亿元2022Q3末在手订单423亿元含税快速放量2022年募投项目达产年收入1465亿元打开成长瓶颈盈利预测与投资评级我们预计2022-2024年公司归母净利润分别为273385和534亿元当前市值对应动态PE分别为6848和35倍考虑到公司成长性突出首次覆盖给予增持评级风险提示美国制裁风险下游资本开支不及预期毛利率下滑等127东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究内容目录1精测电子面板检测龙头拓展半导体设备业绩拐点向上511平板显示检测设备龙头横向扩张至半导体新能源领域512持续加大研发投入研发人员占比507132019年以来利润端持续承压业绩拐点有望出现92半导体量检测设备前道弹性最大赛道公司进入放量阶段1121量检测设备价值量占比排第四2023年本土市场规模326亿元1122前道国产化率最低环节之一看好美国制裁升级加速国产替代1223公司量检测设备优势明显有望进入加速放量阶段143面板检测设备静待下游回暖新技术驱动主业稳步增长1631面板行业仍处于下行周期看好新技术路线贡献设备需求增量1632由ModuleCell拓展至Array募投项目打开公司成长空间194新能源设备聚焦中后道工序受益中创新航扩产浪潮215盈利预测与投资建议236风险提示25227东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图表目录图1公司成立十七年来立足平板显示检测不断扩张至半导体新能源检测领域5图2公司各子公司分工明确5图3公司主营产品主要覆盖平板显示半导体新能源三大领域6图42022Q1-Q3公司半导体检测设备收入占比626图5公司平板显示检测以AOI和OLED调测为主6图62019-2022Q1-Q3公司前五大客户收入占比快速降低7图72018-2021年公司研发费用CAGR达到367图82018-2022Q1-Q3公司研发费用率持续上升7图92022Q1-Q3公司研发人员占比达到508图102022年公司再次颁布股权激励计划8图11公司掌握多项平板显示半导体新能源检测核心技术9图122013-2021年公司营业收入CAGR达429图132019年以来公司归母净利润明显下滑9图142018年以来公司销售净利率明显下降10图152018年以来公司期间费用率明显上提10图162022Q3末公司合同负债达到23亿元同比262210图17量检测设备主要包括检测和量测设备两大类11图182020年检测设备在量检测设备中占6311图19量检测设备在半导体设备中价值量约占1112图202020年缺陷检测设备在量检测设备中占比5812图212022和2023年中国大陆半导体量检测设备市场规模分别达到290和326亿元12图222020年KLA在全球半导体检测市场占比达5113图23KLA在部分检测设备领域全球市占率超过7013图242020年KLA在本土量检测设备市占率达5513图252022年华虹无锡量检测设备国产化率仅为213图262021年三大量检测设备企业在本土市场份额合计不足314图272022财年KLA在中国大陆收入达266亿美元14图282022财年KLA对中国大陆收入占比达到2914图29公司在量检测设备领域的产品布局较为全面15图30公司量检测设备产业化进程在本土企业中保持领先地位15图312018-2021年上海精测营业收入CAGR达到25016图322022年全球显示面板出货量同比下降916图332020年以来全球面板行业设备投资持续承压16图342019-2022年全球MiniLED出货量CAGR60117图352022年国内MiniMicroLED产业化快速推进17图36检测系统应用贯穿面板生产ArrayCell和Module三大制程18图37我们预估2022年全球显示面板检测设备市场规模约167亿元18图38新显示技术对于检测设备的需求量和精度要求更高19图39公司在AMOLED行业CellModule制程检测设备领域布局完善19图402021年公司在中国大陆AMOLEDCellModule检测设备领域市场占比2320图412021年公司在中国大陆AMOLEDArray检测设备领域市场占比320图422025年全球锂电设备需求将达到2690亿元21图432022年中创新航动力电池装机量全球占比3922327东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图44中创新航已有产能规划达到410GWh22图45公司在锂电设备领域聚焦中后道核心设备环节22图462022年公司新能源设备募投项目达产产值约1465亿元23图47可比公司估值PE截至20230309收盘股价25表1公司分业务收入预测百万元24427东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究1精测电子面板检测龙头拓展半导体设备业绩拐点向上11平板显示检测设备龙头横向扩张至半导体新能源领域精测电子成立于2006年专注于平板显示半导体及新能源检测系统业务经过多年的技术积累和自主创新公司成功研发多项平板显示测试系统集合光机电软算一体化系统优势在平板显示测试领域处于行业领先水平在平板显示领域的业务基础上2018年公司先后成立武汉精鸿武汉精能上海精测等子公司正式切入新能源半导体量检测领域形成平板显示半导体新能源的业务布局图1公司成立十七年来立足平板显示检测不断扩张至半导体新能源检测领域数据来源公司官网东吴证券研究所截至2022Q3末彭骞先生直接间接持有公司2608股份担任公司董事长兼总经理为实际控制人公司各子公司分工明确分业务来看平板显示检测主要依托武汉精立苏州精濑等开展新能源业务主要依托常州精测等开展半导体量检测设备主要依托上海精测开展半导体后道ATE测试设备主要依托武汉精鸿开展图2公司各子公司分工明确数据来源公司公告东吴证券研究所527东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究公司主营产品包括平板显示检测半导体检测和新能源检测设备三大类其中半导体领域覆盖前道量检测和后道测试设备1前道量检测设备覆盖膜厚量测光学关键尺寸检测OCD电子束缺陷复查和检测设备明场光学缺陷检测设备等尤其在膜厚量测和OCD领域具备较强市场竞争力2后道测试设备主攻存储领域包括老化Burn-In测试设备晶圆探测设备CPATE和终测设备FTATE等图3公司主营产品主要覆盖平板显示半导体新能源三大领域数据来源公司公告东吴证券研究所平板显示检测设备仍为主要收入来源半导体领域收入占比快速提升12019-2022Q1-Q3公司平板显示检测设备收入占比分别为972912908789虽然逐步降低但仍为主要收入来源与此形成对比的是公司半导体和新能源业务快速放量2022Q1-Q3收入占比分别达到62和1222在平板显示检测业务中AOI和OLED调测系统构成收入主体2022Q1-Q3收入占比分别为441和240图42022Q1-Q3公司半导体检测设备收入占比62图5公司平板显示检测以AOI和OLED调测为主平板显示自动化设备调测系统其他新能源设备半导体检测设备平板显示检测设备OLEDAOI光学检测系统信号检测系统10010002579031122902408062803597070370388606050504419729129084078940405408303036420202821010167106135002019202020212022Q1-Q32019202020212022Q1-Q3数据来源公司公告东吴证券研究所数据来源公司公告东吴证券研究所公司成功供货平板显示半导体新能源龙头客户客户集中度逐年降低1平627东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究板显示检测公司覆盖京东方华星光电惠科股份天马微等龙头面板厂商2半导体前道量检测公司成功供货广州粤芯长江存储中芯国际等龙头客户彰显公司在前道量检测设备领域的市场竞争力3新能源设备公司深度绑定中创新航二者签署战略合作伙伴协议常州精测参与中创新航港股发行2019-2022Q1-Q3公司前五大客户收入占比分别为861755717624客户集中度明显下降图62019-2022Q1-Q3公司前五大客户收入占比快速降低2022年1-9月2021年序号客户名称销售金额万元占营业收入比例序号客户名称销售金额万元占营业收入比例1京东方544515229911惠科股份714630529672TCL204360111232京东方544515522603致茂电子17002659343TCL266832011084Apple12482336864天马微10186074235和辉光电9136335025Apple992231412合计113508846236合计1727061771692020年2019年序号客户名称销售金额万元占营业收入比例序号客户名称销售金额万元占营业收入比例1京东方634984530581京东方869700444582惠科股份372275817932TCL311895515993TCL355225817113惠科股份267073013694维信诺10518795074中国电子12498116415Apple10036844835天马微1058159542合计156804247551合计167946588609数据来源公司公告东吴证券研究所12持续加大研发投入研发人员占比50公司持续加大研发投入力度研发费用率持续提升2021年公司研发费用约426亿元2018-2021年CAGR达到362022Q1-Q3研发费用为377亿元同比422018-2022Q1-Q3公司研发费用率分别为1240136315511770和2072公司持续加大研发投入力度为产业扩张和技术进步打下坚实基础图72018-2021年公司研发费用CAGR达到36图82018-2022Q1-Q3公司研发费用率持续上升研发费用百万元同比精测电子华兴源创凌云光华峰测控2545060400503502030040250153020015020101001050005020182019202020212022Q1-Q3数据来源Wind东吴证券研究所数据来源Wind东吴证券研究所727东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究公司高度重视研发团队建设研发人员占比达到50截至2022年9月公司研发人员达到1597人人员占比上升至50此外公司分别于2017年和2022年两次实施授予限制性股票激励计划有利于稳定核心技术团队并调动研发人员积极性图92022Q1-Q3公司研发人员占比达到50图102022年公司再次颁布股权激励计划占本次激励计占授予权益总研发人员人占比获授权益数划公告时股本序号姓名职务数的比例180051量万股总额比例15971600139350140049一董事高级管理人员10751刘荣华董事副总经理1000317400412001008482孙胜董事5000870021000819473杨慎东副总经理500087002副总经理董事800464刘炳华50008700260045会秘书5游丽娟财务负责人50008700240044小计3000352201220043二其他激励对象核心管理核心技术业务04254500947819620182019202020212022Q3人员共计321人合计575003100207数据来源公司公告东吴证券研究所数据来源公司公告东吴证券研究所长期高研发投入下公司已掌握平板显示半导体新能源领域多项核心技术截至2022Q3公司专利达到1799项其中发明专利708项实用新型专利769项在平板显示检测半导体检测新能源领域合计掌握25项核心技术在半导体前道检测设备领域公司是国内少有的同时掌握光学检测技术和电子束检测技术的企业827东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图11公司掌握多项平板显示半导体新能源检测核心技术核心技术技术来源具体应用产品类别DP解码及分辨率自适应技术自主研发模组自动化检测系统多路信号老化检测系统信号扩展检测设备高清静态图像信号编解码技术自主研发模组自动化检测系统多路信号老化检测系统辅助功能设备ShortingBar探针短接式信号检测技术自主研发面板自动化检测系统LVDS-to-V-BY-ONE信号扩展检测电路自主研发模组自动化检测系统多路信号老化检测系统信号扩展检测设备精密数字可编程恒流恒压电源自主研发OLED调测系统基于机器视觉的LCD屏缺陷自动光学检测AOI技术引进自主研发AOI检测系统OPENSHORT检测技术自主研发TouchPanel检测系统In-lineOff-line自动化设备自主研发平板显示自动化设备双模式MIPI超高分辨率显示检测技术自主研发模组自动化检测系统多路信号老化检测系统信号扩展检测设备平板显示检MIPI图像信号压缩与传输技术自主研发模组自动化检测系统信号扩展检测设备测设备显示模组动态显示检测技术自主研发模组自动化检测系统多路信号老化检测系统辅助功能检测系统DeMura修复技术自主研发AOI检测系统基于CPUGPUFPGA架构的自动光学检测技术自主研发模组自动化检测系统面板自动化检测系统AOI检测系统MiniMicroLED检修与调校技术自主研发MicroLED缺陷检测系统OpencellOLED全自动老化测试技术自主研发电子产品运送技术领域电子产品测试技术领域多类型图像信号接收技术自主研发图像传感器信号采集系统图像传感器老化系统工业质检AI云服务技术平台自主研发泛外观检测领域MiniMicroLED缺陷检测系统显示屏亮色度光谱检测系统显微成基于光谱成像的高精度面阵亮色度检测技术自主研发像与光谱测量系统薄膜椭偏测量技术自主研发高性能膜厚量测设备半导体检测光学关键尺寸测量技术自主研发高精度光学关键尺寸量测设备设备高分辨率电子束检测技术自主研发先进的晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备双目视觉对位与纠偏技术自主研发柔性OLEDArray段切叠一体机卷材收放卷张力控制技术自主研发切叠一体机新能源设备基于网络的分布式存储与分布式事件处理系统自主研发切叠一体机电芯装配线等双向大电流电源充放电技术自主研发化成分容测试系统数据来源公司公告东吴证券研究所132019年以来利润端持续承压业绩拐点有望出现公司收入端稳健增长利润端短期承压1收入端2013年公司营业收入仅为144亿元2021年达到2409亿元期间CAGR达到422022Q1-Q3公司实现营业收入1820亿元同比3增速有所放缓主要系面板行业景气下行影响但半导体新能源业务放量对面板业务实现有效对冲2利润端2018年公司归母净利润为289亿元达到历史新高2019-2022Q1-Q3公司归母净利润持续下滑利润端有所承压图122013-2021年公司营业收入CAGR达42图132019年以来公司归母净利润明显下滑营业收入亿元同比归母净利润亿元同比3090358080325706020602540215502040151030102051005-20000-40数据来源Wind东吴证券研究所数据来源Wind东吴证券研究所927东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究反映到盈利水平上2018-2022Q1-Q3公司销售净利率分别为218113331038581和563整体呈下滑趋势1毛利端受产品结构变化及部分原材料价格上升行业景气度下降等影响2018年以来明显下降然而公司半导体检测设备毛利率快速提升2019-2022Q1-Q3分别为303837和522费用端2018年以来期间费用率持续提升进一步压制利润端表现主要系加大半导体和新能源研发投入2018-2022Q1-Q3研发费用率分别达到12141618和21图142018年以来公司销售净利率明显下降图152018年以来公司期间费用率明显上提销售净利率扣非销售净利率销售毛利率期间费用率4070356030502540203015201051000数据来源Wind东吴证券研究所数据来源Wind东吴证券研究所半导体新能源业务进入放量阶段公司业绩拐点有望出现根据2022年业绩预告2022年公司实现归母净利润265-285亿元同比3781-4821实现扣非后净利润105-125亿元同比下降967-754截至2022Q3末公司合同负债与存货分别为23和136亿元分别同比增长2622和464在手订单达到219亿元展望2023年随着新能源和半导体业务持续放量公司业绩有望重回高速增长通道图162022Q3末公司合同负债达到23亿元同比2622合同负债亿元存货亿元16136141294108886464212320802019202020212022Q3数据来源Wind东吴证券研究所1027东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究2半导体量检测设备前道弹性最大赛道公司进入放量阶段21量检测设备价值量占比排第四2023年本土市场规模326亿元量检测是半导体制造重要的质量检查工艺包括量测和检测设备两大类量检测设备在硅片和晶圆制造中广泛应用涉及膜厚折射率等参数测量各类缺陷检测等需求对硅片厂晶圆厂保障产品良率产品一致性降低成本等至关重要根据应用场景不同量检测设备主要分为量测检测两大类其中检测设备占比高达631检测设备主要用于检测晶圆结构中是否出现异质情况如颗粒污染表面划伤开短路等特征性结构缺陷2量测设备指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述如薄膜厚度关键尺寸刻蚀深度表面形貌等物理参数的测量图17量检测设备主要包括检测和量测设备两大类图182020年检测设备在量检测设备中占63其他设备量测设39备335检测设备626数据来源中科飞测招股说明书东吴证券研究所数据来源中科飞测招股说明书东吴证券研究所量检测设备在半导体设备中价值量占比排第四2019年销售额占比达到11仅次于三大核心设备薄膜沉积光刻和刻蚀明显高于清洗涂胶显影CMP等环节细分设备类别来看2020年各类缺陷检测类设备占据量检测设备近六成市场份额其中纳米图形晶圆缺陷检测设备掩模版缺陷检测设备无图形缺陷检测设备图形缺陷检测设备价值量占比分别达到24711397和63此外关键尺寸量测设备也是前道量检测设备重要组成部分2020年价值量占比达到1021127东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图19量检测设备在半导体设备中价值量约占11图202020年缺陷检测设备在量检测设备中占比582020年全球销售额占比类别技术设备类型氧化扩散离子注入退火2其他检测光学纳米图形晶圆缺陷检测设备247CMP29检测光学掩膜版缺陷检测设备1133薄膜沉积量测光学关键尺寸量测设备102涂胶显影22检测光学无图形晶圆缺陷检测设备97量测电子束电子束关键尺寸量测设备814量测光学套刻精度量测设备73清洗检测光学图形晶圆缺陷检测设备63量检测检测电子束电子束缺陷检测设备575检测电子束电子束缺陷复查设备4911量测光学晶圆介质薄膜量测设备30光刻量测X光X光量测设备22刻蚀21量测光学掩膜版关键尺寸量测设备13量测光学三维形貌量测设备0921量测光学晶圆金属薄膜量测设备05其他39数据来源SEMI东吴证券研究所注2019年数据来源中科飞测招股书东吴证券研究所受益中国大陆晶圆厂逆周期扩产需求我们预计2023年中国大陆量检测设备市场规模将达到326亿元其中纳米图形晶圆缺陷检测设备掩模版缺陷检测设备关键尺寸量测设备无图形晶圆缺陷检测设备市场规模将分别达到80373332亿元图212022和2023年中国大陆半导体量检测设备市场规模分别达到290和326亿元2016201720182019202020212022E2023E全球半导体设备销售额亿美元41245662645359757121026411751209中国大陆半导体设备销售额亿美元6468231281345187296376423中国大陆半导体设备销售额全球占比1615202326293235中国大陆半导体检测和量测设备市场规模亿美元7084125169210326414465中国大陆半导体检测和量测设备市场规模亿元495988118147228290326同比20493524552713检测和量测设备价值量占比10810298126112110110110纳米图形晶圆缺陷检测设备亿元2471215222936567280掩膜版缺陷检测设备亿元11367101317263337关键尺寸量测设备亿元1025691215233033其中无图形晶圆缺陷检测设备亿元975681114222832电子束关键尺寸量测设备亿元814571012182326套刻精度量测设备亿元73446911172124其他设备亿元2871417253442658394数据来源SEMIVLSIResearchQYResearch东吴证券研究所测算注人民币美元取70122前道国产化率最低环节之一看好美国制裁升级加速国产替代全球范围内来看KLA在半导体量检测设备领域一家独大前道晶圆量检测设备技术壁垒较高全球市场长期由KLAAMATHitachi等海外龙头主导其中KLA一家独大2020年全球市场份额高达51尤其是在晶圆形貌检测无图形晶圆检测有图形晶圆检测领域KLA在全球的市场份额更是分别高达8578721227东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图222020年KLA在全球半导体检测市场占比达51图23KLA在部分检测设备领域全球市占率超过70100859078ASML其他8072566651270605045创新科技5064030雷泰光电KLA2061051Hitachi09AMAT11数据来源中科飞测招股说明书东吴证券研究所数据来源Gartner东吴证券研究所注按销售注按销售额额量检测设备是前道国产化率最低的环节之一2022年国产化率仍不足31从收入口径来看中科飞测上海精测上海睿励三家企业2021年销售收入合计约为513亿元对应市场份额不足32若以批量公开招标的华虹无锡为统计标本据我们不完全统计2022年华虹无锡完成量检测设备招标47台国产设备中标1台对应国产化率仅为2远低于去胶机刻蚀设备CMP设备清洗设备等环节图242020年KLA在本土量检测设备市占率达55图252022年华虹无锡量检测设备国产化率仅为22022年国产化率9080其他802270ASML603504033雷泰光学3023KLA15114201065510200Hitachi07AMAT9数据来源中国国际招标网东吴证券研究所注仅数据来源中科飞测招股说明书东吴证券研究所考虑公开招投标没有考虑二手翻新外贸厂商1327东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图262021年三大量检测设备企业在本土市场份额合计不足32018201920202021单位亿元销售收入市场占有率销售收入市场占有率销售收入市场占有率销售收入市场占有率上海睿励027031012010020015041018上海精测003003004003057042111049中科飞测030035056047238174361158合计060069072060315231513225数据来源中科飞测招股说明书SEMI东吴证券研究所测算注按销售额美国制裁升级影响KLA业务开展量检测设备将迎来国产替代最佳窗口期2022年10月7日美国对中国大陆半导体制裁升级尤其对128层及以上3DNAND18nm及以下DRAM14nm及以下逻辑芯片相关设备进一步管控据路透社消息KLA自2022年10月12日起停止向中国大陆客户提供销售和服务我们看好在制裁升级背景下本土晶圆厂加速国产设备导入二者协同合作解决先进制程工艺产业化瓶颈量检测设备作为前道国产化率最低的环节之一有望迎来国产替代最佳机遇图272022财年KLA在中国大陆收入达266亿美元图282022财年KLA对中国大陆收入占比达到29其他亚洲国家欧洲和以色列中国大陆KLA中国大陆收入亿美元同比韩国日本北美30100中国台湾266100258090801412161832725262920607014660151224050106420404341305020100-20020162017201820192020202120222016201720182019202020212022数据来源Wind东吴证券研究所横轴为财年数据来源Wind东吴证券研究所横轴为财年23公司量检测设备优势明显有望进入加速放量阶段从产品布局来看公司量检测设备全面覆盖光学和电子束检测是国内量检测设备产品布局最为齐全的企业之一1光学检测包括膜厚量测光学关键尺寸测量OCD有图形晶圆缺陷检测晶圆外观缺陷检测硅片形貌及应力测试设备等2电子束检测包括电子束晶圆缺陷复查ReviewSEM设备FIB-SEM双束系统等1427东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图29公司在量检测设备领域的产品布局较为全面关键尺寸无图形晶圆有图形晶圆公司电子束膜厚形貌应力套刻误差OCD缺陷检测缺陷检测上海精测中科飞测睿励科学东方晶源上海微电子埃芯半导体南京中安数据来源各公司官网中科飞测招股说明书东吴证券研究所注公开信息搜集梳理可能存在误差从产业化进展来看公司膜厚量测已较为成熟OCD电子束设备具备国产稀缺性并积极布局明场缺陷检测形貌量测领域膜厚量测设备为公司基本盘2020年1月即中标长江存储膜厚量测设备批量订单现已获得多家一线客户批量订单市场竞争力较强公司OCD设备已通过多家一线客户验证电子束量测设备已取得国内一线客户批量订单均是国内稀缺供应商此外公司明场光学缺陷检测设备也已取得突破性订单半导体硅片应力测量设备也取得客户订单多品类产业化快速突破图30公司量检测设备产业化进程在本土企业中保持领先地位企业设备种类制程进度膜厚测量设备EFILM28nmFEOL14nmBEOL取得一线客户批量订单关键尺寸测量设备OCD28nm多家客户验证通过并成功交付光学形貌量测设备TG300IF2022年9月成功交付大客户上海精测电子束缺陷复检设备Review-SEM1Xnm取得一线客户批量订单有图形光学缺陷检测设备BFI10065-180nm2022年12月成功交付客户晶圆外观缺陷光学检查设备2021年8月成功交付客户半导体硅片应力测试设备获得客户订单多台设备28nm通过验收中科飞测十八型号设备1Xnm正在研发十七型号设备2Xnm以下生产线验证并取得订单已应用在65554028nm逻辑产线并在进行65554028nm逻辑64L光学薄膜测量设备14nm工艺验证存储产线支持64层3D3DNAND上海睿励NAND正在验证96层3DNAND关键尺寸测量设备OCD研发中有图形无图形外观缺陷检测设备100nm取得一线客户批量订单关键尺寸量测设备CD-SEM2022年6月成功交付上海客户东方晶源电子束缺陷检测设备EBI28nm2022年6月成功交付上海客户电子束复检设备DR-SEM28nmAlpha机通过验证已取得订单数据来源各公司官网各公司公告东吴证券研究所注公开信息搜集梳理可能存在误差公司量检测设备业务快速增长看好2023年加速放量2021年上海精测实现营1527东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究收111亿元2018-2021年收入CAGR高达2502021121至20221111上海精测与同一客户销售合同累计达到338亿元约是2018-2021年上海精测营业收入之和的2倍标志着公司正式进入重复订单放量阶段展望2023年在美国制裁升级KLA中国大陆业务受阻的背景下看好公司设备在下游客户加速导入订单加速放量图312018-2021年上海精测营业收入CAGR达到250营业收入百万元同比1201106214001001200801000567480060511760040400202594132000020182019202020212022H1数据来源Wind东吴证券研究所3面板检测设备静待下游回暖新技术驱动主业稳步增长31面板行业仍处于下行周期看好新技术路线贡献设备需求增量整体来看面板行业仍处在下行周期静待需求回暖释放弹性空间1从出货量来看2022年面板行业经历了史上最长的15个月跌价周期面板厂商被迫控产稳价据奥维睿沃数据2022年全球显示器面板出货16亿片同比下降92从设备投资来看行业下行周期背景下面板厂投资趋于谨慎据DSCC数据2022年全球面板设备投资额约119亿美元同比-10展望未来随着疫情放开后消费需求快速复苏我们看好面板终端需求逐步回暖进而带动设备投资上行图322022年全球显示面板出货量同比下降9图332020年以来全球面板行业设备投资持续承压显示面板出货百万片同比全球面板设备投资亿美元同比1801525030131117010200201606510150150-100100140-5-5-10130-9-1050-20120-150-30201820192020202120222023E2016201720182019202020212022E数据来源奥维睿沃东吴证券研究所数据来源DSCC东吴证券研究所1627东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究细分技术路线来看LCD具备大型化产能向中国大陆转移趋势进入存量调整阶段OLEDMiniMicroLED等新技术路线贡献增量需求1LCD三星于2022年6月彻底退出LCD市场LGD也于2022年底前结束坡州P7产线的生产LCD面板产能具备向中国大陆转移的趋势此外为应对更大尺寸电视需求2021年京东方TCL华星和广州超视界相继宣布105代产线扩产计划三家合计产能扩充可达155万片面板大型化趋势下LCD扩产需求有望放大2新型显示1OLEDFrostSullivan预计OLED面板全球出货量将由2020年970万平方米增长至2025年2510万平方米年均复合增速162MiniLED已进入量产初期MillionInsights预计2025年全球MiniLED市场规模将达59亿美元2019-2025年均复合增长率达873MicroLED尚处于产业化初期DSCC预计2027年在可穿戴应用市场出货有望突破1000万片在VRAR市场出货将达到670万片成长空间较大根据高工LED不完全统计2021年国内MiniMicro-LED等领域新增投资超过750亿元已成为面板行业重要增长点图342019-2022年全球MiniLED出货量CAGR601图352022年国内MiniMicroLED产业化快速推进MiniMiniLEDLED出货百万台出货百万台时间企业金额项目新型全色MiniMicroLED高性能外202022年1月华灿光电15亿元1725延与芯片的研发及生产化项目玻璃基材的MiniMicroLED基板生2022年2月沃格光电165亿元15产项目MiniMicro高光效LED芯片研发2022年3月乾兆光电15亿元及制造项目93510对现有基于COB的MicroLED显示2022年4月雷曼光电689亿元产品产能扩产提高供货能力瑞丰光电MiniMicroLED湖北生产2022年5月瑞丰光电15亿元5基地项目MiniMicroLED芯片研发及制造扩005012022年6月聚灿光电12亿元0建项目2022年12月三安光电79亿元MiniMicro显示产业化项目2019202020212022数据来源Display东吴证券研究所数据来源OFweek东吴证券研究所平板显示检测贯穿面板生产ArrayCell和Module三大制程1Array检测系统主要包括Array测试机CF测试机PS检测系统CF阶差系统TotalPitch检测系统AOI光学检测系统等2Cell检测系统主要包括亮点检测系统AOI光学检测系统配向检测系统等3Module主要包括点灯检测系统老化检测系统等1727东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图36检测系统应用贯穿面板生产ArrayCell和Module三大制程数据来源公司公告东吴证券研究所我们预估检测设备在面板设备投资中约占20对应2016-2022年全球显示面板检测设备市场规模分别约259325279204218185和167亿元图37我们预估2022年全球显示面板检测设备市场规模约167亿元2016201720182019202020212022E全球面板设备投资亿美元185232199146156132119同比25-14-277-15-10全球面板设备投资亿元12951624139310221092924833检测设备价值量占比20202020202020全球面板检测设备投资亿元259325279204218185167数据来源DSCC东吴证券研究所测算展望未来新显示技术路线对于检测设备的需求度明显提升核心体现在1新显示技术解析度刷新率和信号传输速度更高对于检测系统的性能集成度和检测效率要求更高2MiniMicroLED采用硅基工艺需要显示晶圆及芯片段等中后道检测产品3新型显示器件对产线良率的要求更为严苛面板工艺标准逐渐向晶圆级靠拢对检测设备的需求量和精度要求更高将为检测设备市场需求贡献新增量1827东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图38新显示技术对于检测设备的需求量和精度要求更高数据来源京东方公告和辉光电公告华兴源创公告东吴证券研究所32由ModuleCell拓展至Array募投项目打开公司成长空间细分制程来看Cell和Module检测设备已基本实现国产化公司产品覆盖面行业领先2021年中国大陆AMOLEDCellModule检测设备销售额前三名分别为华兴源创精测电子和精智达市场占比分别达到322313CellModule检测设备国产化率高达86公司全面覆盖AVIAPIDemura等核心工序产品覆盖度行业领先图39公司在AMOLED行业CellModule制程检测设备领域布局完善设备商AVIAPIDemuraOTPAgingPG精测电子华兴源创中国精智达凌云光YoungWoo韩国ANI数据来源CINNOResearch东吴证券研究所1927东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分公司深度研究图402021年公司在中国大陆AMOLEDCellModule检测设备领域市场占比23其他境外华兴源创1032其他境内8ANI4凌云光10精智达精测电子1323数据来源CINNOResearch东吴证券研究所在Array检测领域公司是本土稀缺国产供应商具备较大国产替代空间在稳固CellModule段市场竞争力的同时公司不断向前段Array领域扩展是国内少数能全面覆盖平板显示三大制程检测系统的企业之一2021年中国大陆AMOLED行业Array检测设备国产化率仅为8公司市场占比约3排名第一国产替代空间较大图412021年公司在中国大陆AMOLEDArray检测设备领域市场占比3精测电HB其他境Technology子其他境内外213528YangElectronicKeysight154V-techThermoFisherDITOrbotech44106数据来源CINNOResearch东吴证券研究所2021-2022年两次募投加码高端平板显示检测业务公司主业仍有较大成长空间12021年公司拟募集30亿元用于Micro-LED显示全制程检测设备的研发及产业化项目聚焦MiniMicro-LED光学检测领域22022年公司拟募集485亿元用于高端显示用电子检测系统研发及产业化项目主要应用于中大尺寸OLED和MiniMicro-LED领域聚焦电子检测领域达产年收入105亿元2027东吴证券研究所请务必阅读正文之后的免责声明部分