半导体产业基石，零部件国产替代迎加速期。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。半导体设备零部件是半导体设备的核心技术，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的核心环节之一，为全球电子信息、移动互联网、5G、物联网、大数据、新能源等行业几十万亿美金年产值的重要支撑。今年以来，美国对华半导体产业限制不断升级，不仅扩大了对华半导体产业限制的范围，也对美籍人员在中国半导体产业从事服务进行了限制，中美半导体产业“脱钩”愈演愈烈，预计在新型举国体制之下，国内对半导体产业政策支持或将继续加码，国产替代进程有望加速。此外，根据ETNews报道，全球半导体设备核心零部件供不应求，交货周期从往常的2-3个月延长至6个月以上，国内设备厂商已开始积极配合国内零部件厂商验证，以建立国内自主的供应链系统，为国产零部件厂商提供了更多了试错机会，未来有望打入国内国际半导体设备厂商产业供应链，逐步实现国产替代。
　　下游半导体设备厂商需求旺盛，全球零部件市场空间巨大。半导体设备及零部件行业下游需求与晶圆厂资本开支息息相关，2020年以来，全球半导体行业资本开支节节攀升，尤其在中美科技竞争不断加剧的背景下，晶圆厂作为中美科技竞争的焦点，逆周期投资预计将成为常态，对上游半导体设备和零部件需求构成强支撑。目前，半导体设备厂商在手订单充裕，合同负债和存货水平处于高位，上游零部件行业高景气可期。此外，在半导体设备的成本构成中，零部件的价值占比约50%-55%，为半导体设备核心构成。根据我们测算，2021年全球半导体设备零部件市场规模为535.38亿美元，国内市场规模为175.19亿美元，行业市场空间巨大。
　　半导体设备零部件国产化率尚低，国产替代空间广阔。半导体设备零部件行业属于高精尖技术产业，拥有技术和客户两大核心壁垒，结构复杂，细分品类众多，且各细分领域之间差异性和技术壁垒显著，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定精密零部件产品，因此整个半导体零部件行业竞争格局比较分散，全球前十大半导体设备零部件供应商的市场份额仅50%左右，且以美日欧公司为主导。国内由于半导体产业起步较晚，国产零部件厂商的工艺和技术水平与海外巨头还有显著差异，核心零部件仍以进口为主，国产化率尚处于低位，未来国产替代空间较大。目前，由于美国对华半导体设备限制不断加码，国产半导体设备厂商普遍面临零部件断供的风险，在中美半导体产业“脱钩”愈演愈烈的背景下，国产半导体设备厂商开始重视零部件国产化体系建设，预计2022年将成为国产半导体设备零部件替代元年，未来3-5年将成为国内半导体设备零部件国产替代的高峰期。
　　投资建议：从投资方面看，建议关注在半导体设备零部件领域深耕多年，在细分领域已具备一定市场竞争力，能够进入国际国内主流设备厂商供应链的优秀公司，包括富创精密（工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路）、华亚智能（金属结构件和设备维修件）等。
　　风险因素：半导体行业景气度下滑，晶圆厂扩产进度不及预期，半导体设备及零部件需求降低；国产半导体设备零部件厂商下游客户验证进展不及预期；国产零部件厂商技术突破不及预期，国产化进程不及预期；美国对华半导体产业限制升级；国内政策扶持力度不及预期。