事件
　　公司2022年前三季度实现营业收入30.43亿元，同比增长46.81%；归母净利润7.93亿元，同比增长46.34%；扣非归母净利润6.44亿元，同比增长290.43%。
　　其中2022年第三季度实现收入10.71亿元，同比增长45.92%；归母净利润3.25亿元，同比增长123.91%；扣非归母净利润2.03亿元，同比增长96.69%。
　　简评
　　Q3整体表现符合预期，公司盈利能力进一步提升
　　①疫后生产交付回归正常公司收入重回高增。2022年前三季度公司营收为30.43亿元，同比+46.81%，其中单三季度公司收入同比+45.92%，较单二季度收入+39.08%有所提振。增速进一步提升主要原因为公司产品交付、确认陆续回归正常。
　　②产品毛利率提升+规模效应费用率下降，公司扣非净利率进一步提升。2022年前三季度公司归母净利率为26.06%，同比基本持平；扣非净利率为21.16%，同比提升13.20pct，扣非净利率大幅提升主要系：1）公司产品毛利水平提升，前三季度毛利率为45.51%，同比提升2.83pct，其中MOCVD设备的毛利率达35.83%，较去年同期提升约3.61pct；2）规模效应下费用率逐步下行，前三季度公司期间费用率达39.04%，同比下降1.36pct。
　　③新签订单+合同负债增幅明显，给未来业绩增长筑下坚实地基。公司前三季度新签订单为56.40亿元，同比增长60.24%；截至三季度末，公司合同负债为19.69亿元，相较于年初增加43.49%。二者均保持较高水准，为公司后续业绩增长提供保障。
　　④美国科技制裁对公司现有经营影响相对有限。美国新一轮科技制裁导致公司部分下游客户先进制程产线扩产受阻，但对公司影响相对较小，主要系：1）公司积极推动客户结构多元化，不存在单一大客户依赖，降低部分客户冲击；2）现阶段公司积极进行零部件国产化替代，降低对海外单一供应商依赖。
　　晶圆处理设备：ICP刻蚀占比进一步提升，薄膜沉积设备呼之欲出
　　①刻蚀设备：刻蚀设备2022年前三季度收入为20.01亿元，同比增长48.00%，占公司总体营收的65.76%，毛利率为46.48%，刻蚀设备仍为公司主要收入来源，其中ICP刻蚀占比进一步提升。公司CCP刻蚀、ICP刻蚀设备不断取得突破的同时，也在加紧大马士革工艺、极高深宽比工艺以及新一代刻蚀设备的研发。
　　CCP刻蚀设备：国内市占率保持领先，先进产品开发在途。前三季度收入14.51亿元，同比增长29.27%，增速略低于整体收入增速主要系设备确收节奏放缓；同时持续加大研发投入水平，持续推进新一代刻蚀设备的研发进度。
　　ICP刻蚀设备：进入快速放量期，已获国内多个头部客户订单。前三季度收入为5.51亿元，同比增长139.33%，主要系该设备经历三年市场拓展阶段后，在多个客户端完成验证并开始放量。产品端，公司已推出Primo nanova、Primo Twin-star、Primo TSV200E以及Primo TSV300E多个产品系列，可覆盖逻辑、Memory、先进封装等多类型下游应用；客户侧，Primo nanova系列已完成超15家客户100多个ICP工艺验证，并持续取得国际先进3DNAND客户批量订单；Primo Twin-star则已在国内领先客户产线完成认证，并进入更多客户端验证。
　　②薄膜设备：LPCVD设备方面，2022年前三季度公司的钨填充CVD设备获得了阶段性进展，该设备能够满足先进逻辑器件接触孔填充应用以及200层以上3DNAND中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，公司正积极推进设备在客户产线进行量产验证，或有望于2023年取得客户重复订单；EPI设备方面，公司主要突破方向为先进制程中锗硅外延生长，来满足28nm及以下的逻辑器件、存储器件和功率器件等领域客户的电性和可靠性需求，该设备目前已进入样机的制造和调试阶段。
　　MOCVD设备：更高毛利率Mini-LEDMOCVD加速放量，带动板块业务盈利提升
　　高毛利新品放量带动整体盈利能力显著上扬。2022年前三季度公司MOCVD设备收入达3.88亿元，同比增长27.70%，毛利率为35.83%，同比显著提升，主要系Mini LEDMOCVD设备迅速放量，抬升整体MOCVD设备的毛利水平。
　　投资建议：公司为本土半导体刻蚀、MOCVD设备龙头供应商，立足刻蚀、MOCVD设备向薄膜沉积、外延等多类型设备拓展。原有设备领域不断进步以及新产品研发与新客户突破成为公司长期增长的重要动力来源，助推公司向平台型半导体设备企业迈进。预计公司2022-2024年实现收入分别为48.03、68.03、89.23亿元，归母净利润分别为11.32、16.23、21.70亿元，同比分别增长11.88%、43.40%、33.72%，对应2022-2024年PE估值分别为59.94、41.80、31.26倍，维持“买入”评级。
　　风险因素：
　　下游扩产不及预期：公司客户包含国内外知名厂商，若疫情、行业周期下行等导致下游投资、扩产意愿降低将影响公司产品销量。
　　贸易摩擦加剧：中美等贸易摩擦加剧可能会对公司海外客户拓展产生不利影响。
　　新产品研发不及预期：若新产品研发不及预期，则会对其后续收入产生负面影响。
　　市场竞争持续加剧：公司竞争对手为国际知名半导体设