投资要点：毛利率持续提升，2022年前三个季度新签订单达56.40亿元，EPI设备和导体类LPCVD设备/ALD设备在开发中。
　　2022年前三个季度扣非后归母净利润同比增290.43%，盈利能力显著增强。中微公司主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备。公司22Q3单季度实现收入10.71亿元，同比增45.92%；归母净利润3.25亿元，同比增123.91%；扣非后归母净利润2.03亿元，同比增96.69%。2022年Q1-Q3实现收入30.43亿元，同比增46.81%；归母净利润7.93亿元，同比增46.34%；扣非后归母净利润6.44亿元，同比增290.43%，盈利能力大幅增强。
　　刻蚀设备和MOCVD设备的毛利率持续提升。2022年Q1-Q3公司的刻蚀设备实现收入20.01亿元，同比增48.00%；毛利率达46.48%，较去年同期增长2.51pct。其中CCP刻蚀设备实现收入14.51亿元，同比增29.27%；ICP刻蚀设备收入5.51亿元，同比增139.33%。MOCVD设备实现收入3.88亿元，同比增27.70%；毛利率达35.83%，较去年同期增长3.62pct。
　　2022年Q1-Q3新签订单总额56.40亿元，同比增60.24%。公司2022年Q1-Q3新签订单总额56.40亿元，同比增60.24%；截止2022年9月30日，合同负债金额达19.69亿元，较年初增长43.49%；存货额达32.40亿元，较年初增长83.88%。我们认为公司在手订单充足，主要是多年来在高端半导体设备及泛半导体设备研发积累，等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14/7/5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线；MOCVD设备在行业领先客户的生产线上已大规模投入量产。
　　EPI设备和导体类的LPCVD设备/ALD设备在开发中。根据《中微公司2022年9月投资者关系活动记录表》披露，基于在单晶硅外延设备（MOCVD设备）的开发经验，公司目前正在开发硅和锗硅在集成电路领域的EPI设备；此外还在开发导体类的沉积设备（LPCVD设备）、LAD设备，公司从LPCVD设备做到ALD设备都是围绕着硅的金属化合物沉积。我们认为，公司持续进行新产品的研发投入，将对未来几年的成长贡献新的增长点。
　　盈利预测及估值建议。我们预计2022E-2024E收入分别为46.05亿元、58.87亿元、73.25亿元，归母净利润（扣非前）分别为11.86亿元、14.66亿元、18.25亿元。采用PE估值法，结合可比公司估值水平，给予公司2022E（PE）60x-70x估值，对应合理市值区间711.52亿元-830.10亿元，合理价值区间115.46元/股-134.70元/股，维持“优于大市”评级。
　　风险提示：新冠疫情影响宏观经济带来需求下降的风险、技术研发进度不及预期、市场开拓不及预期、下游客户建厂节奏不及预期等。