核心观点：
　　厂务设备-气体过滤设备：控制颗粒物与AMC的核心洁净室设备，25年预计市场空间150亿元。作用为控制颗粒物与AMC，污染超标会导致硅片腐蚀、光刻异常、镜片雾化、掺杂失控等，从而直接影响良率。预计2025年我国空气过滤器行业市场规模会达到150亿元。关注美埃科技。
　　厂务设备-高纯工艺系统：高纯气体、化学品、液体等物料供应系统，2030年全球市场空间391亿元。向设备连续供应超高纯气体、化学品、液体。包括高纯气体系统、湿化学品系统等。全球清洗设备市场规模将以5.5%的复合年增长率持续扩张，至2030年有望达到391亿元。该领域长期由国际厂商主导，但国内企业在28纳米及以上成熟制程节点已取得显著突破，部分高端机型进入量产阶段，国产替代进程稳步推进。关注至纯科技、正帆科技。
　　厂务设备-废气处理：环保安全控制环节，刚性需求小市场。处理制程排气与化学废气，满足环保与安全。相关设备包括L/S、LOC-VOC、废气治理系统。关注盛剑科技。
　　厂务耗材：电子气体国产化替代进行时。电子大宗气体：包括高纯氮气、氧气、氩气、氢气、氦气，作为环境气、保护气、清洁气、运载气，贯穿生产全流程，供应模式通常为项目现场投建制气站供应。根据至纯科技财报，2025年，中国大陆电子大宗气体市场规模预计达122亿元。电子特种气体：主要为各类氟化物及混合气，用于刻蚀、成膜、清洗、掺杂、光刻等环节的关键反应原料。预计2025年国内电子特气市场规模将达到316.6亿元，近80%产品依赖进口。当前国内企业市场份额逐渐扩大，2025年国产化率将有望提升至25%。其他厂务耗材：EP管、气体管路模组、腔体、阀门、喷淋头、匀气盘等。电子气体领域关注中船特气、华特气体、昊华科技、金宏气体、和远气体、凯美特气，其他耗材领域关注新莱应材。
　　投资建议：长存启动IPO辅导，存储芯片、先进制程逻辑芯片、半导体设备国产替代进行时，继续重视国产存储及先进制程扩产投资机会。洁净室领域：重点推荐柏诚股份、深桑达A，关注亚翔集成、圣晖集成、太极实业、华康洁净。厂务设备&耗材领域：关注美埃科技（广发环保覆盖）、正帆科技（广发机械覆盖）、至纯科技、盛剑科技、金宏气体、华特气体、中船特气、昊华科技、和远气体、凯美特气、新莱应材。
　　风险提示：投资力度不及预期、毛利率不及预期、海外业务拓展风险。