事件：中微公司发布公告：2025年Q1季度公司实现收入21.73亿元，同比增长约35.40%；归母净利润为3.13亿元，同比增长25.67%。
　　刻蚀薄膜设备产品技术进展顺利：公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升；先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。此外，公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场；公司EPI设备也顺利进入客户端量产验证阶段。
　　加大研发投入力度，积极推出更多新产品：根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。受益于研发费用充裕，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%，研发投入占公司营业收入比例约为31.60%，
　　刻蚀设备取得关键技术突破，进一步巩固领先地位：中微公司通过不断提升反应台之间气体控制的精度，反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A（亚埃级）。这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上，均得到了验证。该精度约等于硅原子直径2.5埃的十分之一，是人类头发丝平均直径100微米的500万分之一，体现了中微公司在技术研发上的深厚积累。
　　投资建议：我们预计公司2025-2027年实现营业收入119.36/147.57/189.97亿元，归母净利润23.68/30.57/41.34亿元。对应PE分别为49.27/38.16/28.22倍，维持“增持”评级。
　　风险提示：国内晶圆厂设备采购放缓；新产品研发进度不及预期；行业竞争加剧；限售股解禁。