核心观点
　　2024Q3公司营收同比增长54.63%，订单持续兑现营收快速增长，费用端改善，同时上半年二级市场股权波动带来的负面影响基本消除，2024Q3公司业绩大幅改善。订单端来看，受益于前期基数相对较低，公司非系统类业务持续高增，新签合同占比创新高，成为公司订单及后续收入增长的重要驱动力；此外，IC行业日益成为公司第一大下游，光伏占比持续下降，有望提振公司估值水平。
　　事件
　　2024前三季度公司实现营业收入35.01亿元，同比增长45.23%；归母净利润3.32亿元，同比增长22.58%；扣非归母净利润3.09亿元，同比增长54.67%。
　　单季度来看，2024Q3公司实现营业收入16.49亿元，同比增长54.63%；归母净利润2.27亿元，同比增长87.72%；扣非归母净利润1.95亿元，同比增长55.63%。
　　简评
　　订单持续兑现营收快速增长，费用管控带动业绩大幅改善
　　2024Q3公司实现营业收入16.49亿元，同比增长54.63%，主要系公司受所处下游行业市场需求增长，叠加公司市场竞争力不断增强，在手合同充足。
　　盈利能力方面，2024Q3公司毛利率27.47%，同比-0.78pct，毛利率略有下降，我们判断主要系工艺介质系统业务价格端有所承压、以及气体新建产能落地后的折旧费用相对较高所致。费用端来看，2024Q3公司期间费用率达13.20%，同比-0.82pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为1.53%、5.17%、5.80%、0.70%，同比分别+0.08pct、-1.17pct、-0.51pct、+0.77pct，营收规模高增背景下，公司费用管控持续推进，运营效率持续提升。2024Q3公司研发费用达2.52亿元，同比增长66.46%，公司持续推进研发团队扩张、技术拓展以及新产业开发，研发费用高增。
　　归结到利润端，2024Q3公司实现归母净利润2.27亿元，同比增长87.72%，对应归母净利率13.75%，同比+2.42pct，受益于营收高增以及费用端改善，同时上半年二级市场股权波动带来的负面影响基本消除，2024Q3公司业绩大幅改善；扣非归母净利润1.95亿元，同比增长55.63%，对应扣非归母净利率11.83%，同比+0.08pct，公司扣非净利润持续保持50%以上同比增长，经营端业绩持续高增。归母净利润增速高于扣非净利润增速，主要由于二级市场股权投资同比由负转正、政府补助增加等因素导致非经常性收益增长所致。
　　非系统类业务新签合同高增，回款力度增强带动现金流改善
　　IC在手订单占比约50%，非系统类业务新签合同高增。公司在手订单充足，IC行业占比约50%；公司非系统类业务（零部件和模组、气体和先进材料、MRO业务）合计新签合同同比增长83%，非系统类业务新签合同占比已超过38%。从存货角度来看，2024Q3末公司存货达36.24亿元，较2023年末增长7.33%，同比增长7.11%。
　　回款力度提升，现金流改善明显。公司前三季度应收款项同比增长25%，收入同比增长45%，应收款项的增幅远低于当期收入的增幅，回款力度大幅提升。公司2024Q3经营性现金流净额2.4亿元，同比+107%，公司经营性现金流较2024年中改善明显，主要系销售收入增长带动回款提升、有效控制原材料库存所致。
　　投资建议
　　预计公司2024-2026年营业收入分别为55.29、76.02、100.81亿元，同比分别增长44.18%、37.50%、32.61%，2024-2026年归母净利润分别为5.48、7.98、11.56亿元，同比分别增长36.56%、45.58%、44.93%，对应2024-2026年PE估值分别为18.21x、12.51x、8.63x，维持“买入”评级。
　　风险分析
　　1）下游扩产不及预期：若行业周期下行、海外设备进口受限等因素导致下游投资、扩产意愿降低，将对公司的业务发展和经营业绩造成不利影响。
　　2）新产品开拓、产能扩张不及预期：若新产品开拓与气体产能扩张不及预期，则会对其未来经营业绩的持续提升产生不利影响。
　　3）技术创新风险：若公司新产品研发无法保持或后续研发投入不足，公司将面临市场竞争力下降的风险。
　　4）供应链持续紧张风险：若公司持续受到供应链紧张影响，则会对公司产能以及收入产生不利影响。
　　5）权益性投资公允价值变动风险：若二级市场价格波动较大，公司权益性投资公允价值下降可能导致非经常性损益下降，对公司业绩造成不利影响。