泛半导体行业废气治理龙头，看好长期成长性
　　公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于中芯国际、华虹半导体、京东方和华星光电等业内领军企业。公司的主要产品为废气治理系统及设备，在面板显示和集成电路等行业都有着较强的竞争力，公司业绩有望持续释放，迎来新一轮成长。我们预计公司2022-2024年归母净利1.5/2.2/3.2亿元，参考可比公司2023年Wind一致预期23.7x，考虑到公司与下游行业多家龙头公司具有深入合作，湿电子化学品业务成长空间广阔，给予2023年30.8xPE，目标价53.90元，首次覆盖给予“买入”评级。
　　“集成电路+面板显示”两翼齐飞
　　公司以技术和服务创新进入高端项目，通过标杆项目打开市场空间，集成电路和面板显示为公司下游主要行业。根据《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》编制说明，面板显示行业环保投资占比2.5%-3%，其中废气处理投资占比达34%，我们测算2023年面板行业废气治理系统市场规模约8亿元，公司面板显示收入有望维持稳定。集成电路有望在2023年下半年结束下行周期，单个项目环保投资可达数亿元，我们测算集成电路废气治理系统23-24年市场规模稳定在23-25亿元，公司1H22集成电路领域收入3.1亿元，同比增长62%，收入占比同比+14pct至57%，基本实现国内半导体头部客户全覆盖，市占率有望快速提升。
　　“系统+设备”双轮驱动
　　泛半导体行业废气污染物直接影响到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康，废气治理系统和单体治理设备均属于泛半导体工艺制程不可或缺的一部分。单体治理设备国产化率低，毛利率较高，竞争者主要为售价较高的国外供应商，公司发挥本土优势，国产替代有望加速。我们测算晶圆产能扩张贡献23-25年L/S设备市场规模总计超150亿元。公司深度绑定下游集成电路行业龙头企业北方华创，有望维持领先地位。
　　布局湿电子化学品业务打开成长空间，三重因素共振驱动新一轮成长
　　湿电子化学品业务1H22实现收入8,230万元，同比增长49%，其运营服务模式有望为公司带来稳健且持续增长的业绩表现。考虑到电子行业或将于2023年下半年开始结束下行周期，当前公司估值处于上市以来底部区间，23-24年归母净利增速42%/45%，我们认为业绩高增、估值修复和电子行业结束下行周期三重因素共振，公司有望进入新一轮上行通道。
　　风险提示：下游行业投资不及预期，市占率提升不及预期，原材料价格波动，疫情反复影响公司经营。
　　

研究报告全文：证券研究报告盛剑环境603324CH系统稳健设备成长湿电子出奇兵华泰研究首次覆盖投资评级首评买入2023年3月19日中国内地废物管理目标价人民币5390研究员王玮嘉泛半导体行业废气治理龙头看好长期成长性SACNoS0570517050002wangweijiahtsccomSFCNoBEB090862128972079公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年持续服务于中芯国际华虹半导体京东方和华星光电等业内领军企业公司的主要产品为废气治理系统及研究员黄波设备在面板显示和集成电路等行业都有着较强的竞争力公司业绩有望持SACNoS0570519090003huangbohtsccom续释放迎来新一轮成长我们预计公司2022-2024年归母净利152232SFCNoBQR1228675582493570亿元参考可比公司2023年Wind一致预期237x考虑到公司与下游行联系人李雅琳业多家龙头公司具有深入合作湿电子化学品业务成长空间广阔给予2023SACNoS0570121040031liyalin018092htsccom年308xPE目标价5390元首次覆盖给予买入评级SFCNoBTC420862128972228联系人胡知集成电路面板显示两翼齐飞SACNoS0570121120004huzhi019072htsccom公司以技术和服务创新进入高端项目通过标杆项目打开市场空间集成电862128972228路和面板显示为公司下游主要行业根据电子工业污染物排放标准二次征求意见稿编制说明面板显示行业环保投资占比25-3其中废气基本数据处理投资占比达我们测算年面板行业废气治理系统市场规模约342023目标价人民币53908亿元公司面板显示收入有望维持稳定集成电路有望在2023年下半年收盘价人民币截至3月17日3674结束下行周期单个项目环保投资可达数亿元我们测算集成电路废气治理市值人民币百万4595系统23-24年市场规模稳定在23-25亿元公司1H22集成电路领域收入6个月平均日成交额人民币百万730631亿元同比增长62收入占比同比14pct至57基本实现国内半52周价格范围人民币2752-4978人民币导体头部客户全覆盖市占率有望快速提升BVPS1106股价走势图系统设备双轮驱动泛半导体行业废气污染物直接影响到客户的产能利用率产品良率员工职盛剑环境人民币相对沪深300业健康废气治理系统和单体治理设备均属于泛半导体工艺制程不可或缺的5012一部分单体治理设备国产化率低毛利率较高竞争者主要为售价较高的447国外供应商公司发挥本土优势国产替代有望加速我们测算晶圆产能扩392张贡献23-25年LS设备市场规模总计超150亿元公司深度绑定下游集成电路行业龙头企业北方华创有望维持领先地位334279Mar-22Jul-22Nov-22Mar-23布局湿电子化学品业务打开成长空间三重因素共振驱动新一轮成长湿电子化学品业务1H22实现收入8230万元同比增长49其运营服资料来源Wind务模式有望为公司带来稳健且持续增长的业绩表现考虑到电子行业或将于2023年下半年开始结束下行周期当前公司估值处于上市以来底部区间23-24年归母净利增速4245我们认为业绩高增估值修复和电子行业结束下行周期三重因素共振公司有望进入新一轮上行通道风险提示下游行业投资不及预期市占率提升不及预期原材料价格波动疫情反复影响公司经营经营预测指标与估值会计年度202020212022E2023E2024E营业收入人民币百万937741233135318552564-587314997237093823归属母公司净利润人民币百万1216115235154482186931615-726252814041574456EPS人民币最新摊薄097122124175253ROE18941460107413861757PE倍37793016297521011453PB倍654332308276238EVEBITDA倍27282076207115031005资料来源公司公告华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读1盛剑环境603324CH正文目录投资概要3区别于市场的观点3三重因素共振新一轮成长可期3盛剑环境泛半导体废气治理龙头5专注泛半导体行业废气治理全产业链覆盖5业绩稳步增长毛利率保持高位7直接影响下游利用率和良率泛半导体废气治理不可或缺9集成电路面板显示两翼齐飞10打造面板行业高端项目市占率有望维持在50以上10集成电路资本开支高景气成长空间广阔13系统设备双轮驱动16系统设备满足半导体废气治理需求16单体治理设备市场广阔深度绑定下游龙头企业18产业链纵向延伸布局湿电子化学品业务22盈利预测分析25关键假设25估值方法26风险提示27免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读2盛剑环境603324CH投资概要业绩释放有望驱动公司进入新一轮成长周期公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年在面板显示和集成电路等行业都有着较强的竞争力我们预计公司2022-2024年归母净利152232亿元23-24年归母净利增速4245公司成功打造研发设计装备制造系统解决方案投资运营关键零部件及材料五位一体的产业价值生态链树立京东方和中芯国际等标杆项目基本实现国内半导体头部客户全覆盖同时单体治理设备和湿电子化学品业务发展势头强劲公司业绩有望持续释放迎来新一轮成长区别于市场的观点市场尚未充分认识到公司业绩成长潜力我们认为公司23-24年收入同比增速有望达3738我们拆分公司收入构成其增速来源主要为三部分1废气治理系统业务仍然是未来的重点业务23-24年贡献增速36352废气治理设备业务主要包括风管LS设备和LOC-VOC设备将成为新的业绩增长引擎23-24年增速有望达36353湿电子化学品业务成长空间广阔预计22-24收入增速达305274目前公司23-24年归母净利复合增速43对应22年PEG仅为069我们认为公司业绩成长可见性强具备较高投资价值市场对公司国产替代和新技术新业务拓展前景尚未引起足够重视目前集成电路废气治理系统和设备湿电子化学品业务均由海外厂商主导国产化率程度低我们测算集成电路废气治理系统23-24年市场规模稳定在23-25亿元晶圆产能扩张贡献23-25年LS设备市场规模总计超150亿元公司发挥技术和本土服务优势有望快速提升市占率加速国产替代此外我们认为公司研发湿电子化学品回收技术将突破从0到1的技术壁垒公司有望获得高成长带来的高估值迎来戴维斯双击三重因素共振新一轮成长可期业绩成长和湿电子业务空间驱动估值抬升上市至2021年8月股价表现超同期电子指数从市场表现来看2021年4月公司上市新股热度高带动股价短期上涨此后公司连续中标厦门士兰微青岛芯恩苏州英诺赛科无锡华虹和华为海思等多个项目订单数量和结构表现优异市场对公司业绩成长和湿电子业务想象空间预期较高估值迅速抬升带动股价大幅上扬由首发2861元股上升至最高8280元股2021年8月9日公司发布股权激励计划业绩考核目标为21-23年营业收入年复合增速30股价维持高位2021年8月起公司股价和电子指数表现趋势接近2021年8月25日公司公告1H21归母净利同比仅增长4大幅低于市场预期股价从高位快速回落自2021年底起电子行业周期见顶在俄乌冲突通胀压力和疫情散发等多因素冲击下电子指数大幅下跌公司股价同步下滑2022年5月起复工复产带来产业链供需修复预期电子指数回暖同时公司中标多个半导体和新能源项目股价震荡上行9月开始欧美陆续颁布针对中国企业相关法案同时电子行业需求疲软库存上升指数和公司股价承压根据华泰电子团队2023年1月4日报告2023关注内需创新安全三条主线半导体行业从2022年年中开始进入去库存周期2023年下半年开始行业恢复到需求和供给匹配的阶段结束下行周期2023年以来疫情防控政策优化生产经营复苏电子指数触底回升公司股价蓄势启动三重因素共振新一轮成长可期考虑到电子行业或将于2023年下半年开始结束下行周期当前公司估值处于上市以来底部区间23-24年归母净利增速4245我们认为业绩高增估值修复和电子行业结束下行周期三重因素共振公司有望进入新一轮上行通道免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读3盛剑环境603324CH图表1盛剑环境股价表现复盘元90发布股权1H21业绩不盛剑环境收盘价电子申万收盘价6000激励计划及市场预期80欧美陆续颁布针对中国电子行业周5000企业相关法案电子行70期见顶业需求疲软库存上升6040005030004030市场看好业绩2000俄乌冲突通胀压力和复工复产带来产业成长和湿电子疫情防控优化生产公司连续中标厦门疫情散发等多因素冲击链供需修复预期20业务想象空间经营复苏电子行业士兰微和青岛芯恩下电子指数大幅下跌公司中标多个半导供需或将复苏股价1000等多个项目估值抬升公司股价同步下滑10体和新能源项目蓄势启动002021-11-072021-05-072021-06-072021-07-072021-08-072021-09-072021-10-072021-12-072022-01-072022-02-072022-03-072022-04-072022-05-072022-06-072022-07-072022-08-072022-09-072022-10-072022-11-072022-12-072023-01-072023-02-072023-03-072021-04-07注数据截至2023年3月18日资料来源公司公告Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读4盛剑环境603324CH盛剑环境泛半导体废气治理龙头专注泛半导体行业废气治理全产业链覆盖泛半导体废气治理龙头进入快速发展期盛剑环境成立于2005年于2021年在上交所主板上市是中国泛半导体产业提供工艺废气治理系统解决方案的国内领军企业公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年持续服务于中芯国际华虹半导体京东方华星光电和辉光电等业内领军企业从发展历程上看公司发展主要分为三个阶段1业务初创期2005-2011年公司凭借早期执行主体盛剑通风以制造销售螺旋和工艺排气管道为主客户涵盖大型展馆医疗机构食品饮料汽车制造光伏发电集成电路和光电显示等行业在服务工业客户过程中公司意识到国家发展泛半导体产业的决心和对环保产业的重视并初步掌握了进军泛半导体工艺废气治理领域的核心产品2业务成型期2012-2016年公司开始进军泛半导体工艺废气治理领域独立设计并整体承接泛半导体工艺废气治理业务2012年上海集成电路研发中心废气处理系统成为公司首单整体承接的工艺废气治理系统项目此后公司逐步取得了京东方华星光电天马微电子维信诺中电熊猫信利光电惠科光电中电系统等业内知名客户高度认可3快速发展期2017年至今公司LS单体治理设备研制成功并取得订单标志着公司业务从中央治理端拓展至源头控制端具备了泛半导体工艺废气全面系统解决能力公司设立子公司北京盛科达专注于湿电子化学品供应与回收再生系统服务进一步挖掘泛半导体行业客户需求实现产业价值链纵向延伸图表2盛剑环境发展历程资料来源公司公告华泰研究打造产业价值生态链公司紧随国家工业绿色转型的步伐把握绿色环保与泛半导体产业国产化国家战略带来的市场机遇打造研发设计装备制造系统解决方案投资运营关键零部件及材料五位一体的产业价值生态链公司的工艺废气治理系统解决方案综合应用了中央治理和源头控制技术公司根据不同客户的产品工艺流程废气成分空间布局等因素定制化设计治理方案设备选型控制系统排放布局等以实现中央治理系统与客户工艺设备的深度整合并安全稳定地自动化运行历经多年积淀公司已全面掌握了酸碱废气处理有毒废气处理VOCs处理一般排气等中央治理技术公司股权较为集中实际控制人持股比例较高截至2022年三季报公司实际控制人张伟明汪哲夫妇直接持有公司6074的股权并通过上海昆升企业管理合伙企业有限合伙间接持有公司320的股权合计持有公司6394的股份免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读5盛剑环境603324CH图表3公司股权结构图截至2022年三季报资料来源公司公告Wind华泰研究股权激励绑定优秀人才共享公司成长红利2021年8月公司发布2021年股权激励计划最终确定拟向公司董事高管核心及骨干人员共计86人授予权益总计32187万股约占公告时公司股本总额的260限制性股票授予价格为3863元股授予的股票期权的行权价格为5794元份业绩考核目标为以公司2020年营业收入为基数2021-2023年营业收入年复合增速302023年2月因市场环境及相关政策发生较大变化公司终止第一期员工持股计划不涉及公司经营变化我们认为公司股权激励计划已经覆盖核心及骨干人员业绩目标合理彰显发展信心同时有利于调动公司上下的积极性绑定优秀人才共享公司成长红利图表42021年股权激励限制性股票分配情况姓名职位获授的限制性股票数量万股占拟授予权益总量的比例占本激励计划公告日总股本的比例许云董事副总经理600186005章学春副总经理900280007聂磊副总经理600186005金明财务负责人300093002核心及骨干人员董事会认为需96853009078要激励的其他人员82人合计120853755098资料来源公司公告华泰研究图表52021年股权激励股票期权分配情况姓名职位获授的股票期权数量万份占拟授予权益总量的比例占本激励计划公告日总股本的比例许云董事副总经理900280007章学春副总经理1200373010聂磊副总经理900280007金明财务负责人450140004核心及骨干人员董事会认为需102153174082要激励的其他人员82人合计136654246110资料来源公司公告华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读6盛剑环境603324CH业绩稳步增长毛利率保持高位公司16-21年归母净利复合增速38受益于中国泛半导体产业在国产替代进程中高速增长及建立健全绿色环保低碳循环发展经济体系的宏观因素影响2016年至2021年公司营业收入由212亿元持续增长至1233亿元年均复合增长率4221归母净利润由030亿元增长至152亿元年均复合增长率38342022年前三季度公司实现营业收入961亿元同比增长2142实现归母净利润110亿元同比增长2441公司毛利率水平稳定在27以上公司2017年降低部分大型项目报价以快速抢占市场份额废气系统毛利率水平为22使得整体毛利率水平出现一定程度的下滑2018-2021年公司业内地位逐渐稳固公司毛利率水平稳定在27以上随着业务的逐步推进公司强化竞争优势整体毛利率仍有提升空间图表62016-2021年公司营收和归母净利情况图表72016-2021年公司销售毛利率和净利率情况收入亿元归母净利销售毛利率收入同比增速右轴40归母净利同比增速右轴销售净利率1440035350123030010252502082006150151001045052000-50201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源公司公告Wind华泰研究资料来源公司公告Wind华泰研究废气治理系统和设备合计收入贡献超90从业务结构来看2021年公司废气治理系统废气治理设备湿电子化学品供应与回收再生系统分别实现营业收入837291086亿元分别占当期营收的67882360697分别实现毛利润225083021亿元分别占当期毛利润的66962470625废气治理系统和废气治理设备共计对公司营业收入和毛利润的贡献超过90图表82016-2021年公司主要产品营业收入情况图表92016-2021年公司主要产品毛利润情况亿元废气治理系统亿元废气治理系统25废气治理设备10废气治理设备湿电子化学品供应和回收再生系统湿电子化学品供应和回收再生系统20其他8其他156104052000201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源公司公告Wind华泰研究资料来源公司公告Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读7盛剑环境603324CH2018年以来系统和设备业务毛利率均稳定在25以上湿电子业务因开拓市场毛利率有所波动当前公司废气治理系统和废气治理设备毛利率水平稳定2018年以来保持在26以上公司整体有着较强的盈利能力湿电子化学品业务处于前期开拓阶段公司为建立市场地位在新领域项目中提供了更具有竞争力的报价毛利率有所波动后期基于公司服务的一致性和稳定性优势毛利率有望提升生产结算周期较长致2021年应收账款占收入比56但1年以内应收账款占比74公司废气治理系统业务的生产结算周期较长导致公司应收账款占比较高2021年由于公司业绩向好销售收入增长应收账款余额687亿元同比增长8076占总资产的比例达到3060近年应收账款占营业收入的比例较为平稳保持在50附近从账龄分析当前公司应收账款中账龄1年以内应收账款占比74423年以上应收账款占比仅为088账龄结构合理图表102016-2021年公司主要产品毛利率情况图表112016-2021年公司应收账款及在营业收入中占比情况废气治理系统应收账款亿元50废气治理设备14营业收入60湿电子化学品供应和回收再生系统12占营业收入比例右轴40其他5010403083020620410210000201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源公司公告Wind华泰研究资料来源公司公告Wind华泰研究2016-2021年公司期间费用率整体呈下降趋势公司期间费用总额为039085113128109141亿元占营业收入的比例分别为1846164612911441115911412021年销售费用同比增长5608主要由于职工薪酬和售后维护费增加管理费用同比增长3708主要原因是职工薪酬和股份支付增加研发费用同比增长4436主要是因为加大研发投入相应职工薪酬和直接材料增加以及股份支付增加自2019年起财务费用连续降低主要原因是贷款利息支出减少同时由于下游泛半导体领域客户需求持续保持旺盛以及公司积极开拓工艺废气治理等相关业务2021年营业收入大幅增加推动2021年期间费用率同比下降018个百分点图表122016-2021年公司期间费用构成情况图表132016-2021年公司费用支出占总营收情况百万元销售费用管理费用销售费用管理费用研发费用财务费用研发费用财务费用60期间费用率右轴2010185081640146123010420821064002100-2201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源公司公告Wind华泰研究资料来源公司公告Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读8盛剑环境603324CH直接影响下游利用率和良率泛半导体废气治理不可或缺泛半导体行业持续产生复杂工艺废气泛半导体行业主要包括光电显示器件和集成电路制造企业生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体生产环节持续产生成分复杂的工艺废气光电显示器件主要包含LCDOLED等其中TFT-LCD的生产工艺流程主要包括阵列彩膜成盒和模组工序AMOLED的生产工艺流程主要包括阵列蒸镀切割和模组工序集成电路制造的核心工艺流程主要包括掺杂光刻刻蚀和薄膜工艺每个流程均会产生若干种污染物图表14光电显示器件的主要生产工序及主要废气污染物类别生产工序主要污染物TFT-LCD的主要生产工序及主要废气污染物酸性废气阵列彩膜磷酸H3PO4乙酸CH3COOH硝酸HNO303C2H2O42H2O01HClHNO3碱性废气阵列彩膜CH34NOHKOH有机废气阵列彩膜成盒模组VOCs有害废气阵列氟化物NH3PH3AMOLED的主要生产工序及主要废气污染物酸性废气阵列氮氧化物氟化物磷酸乙酸氯化氢氯化氢碱性废气阵列氨气有机废气阵列模组NMPN-甲基吡咯烷酮丙二醇单甲醚乙酸酯PGMEA丙二醇单甲醚PGME羟乙基哌嗪HEP乙二醇丁醚BDGMMF吗替麦考酚酯异丙醇酒精工艺尾气阵列氯气氯化氢氟化物氮氧化物氨气硅烷磷烷氟化物氮氧化物厂房排气阵列模组少量酒精异丙醇资料来源公司公告华泰研究图表15集成电路制造工艺主要废气污染物类别污染物来源主要污染物酸性废气硅片清洗盐酸挥发氧化HCl二氧乙烷转化湿法腐蚀磷酸硫酸挥发干法腐蚀硝酸盐酸挥发碱性废气硅片清洗氨水挥发干法腐蚀氨水挥发有机废气硅片清洗丙酮异丙酮等有机溶剂废气干法腐蚀工艺废气离子注入掺杂气体尾气干法腐蚀特殊气体尾气扩散掺杂气体尾气化学气相沉积CVD掺杂气体尾气资料来源公司公告华泰研究废气治理系统及设备不可或缺泛半导体行业废气污染物将会直接影响到客户的产能利用率产品良率员工职业健康及生态环境工艺废气需要与生产工艺同步进行收集治理和排放废气治理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分1影响产能利用率泛半导体生产工艺是高度自动化的连续工序大部分环节对工艺设备的排气压力存在较高要求工艺废气治理系统发生故障会导致连续工序中断直接影响客户产线的稳定运行从而影响产能利用率2影响产品良率泛半导体生产工艺精密度极高对生产环境的洁净度要求严格生产过程均在高等级洁净室内进行工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后如因工艺废气治理系统故障导致负压不稳定或者工艺排气管道泄漏致使洁净室内空气环境改变可能导致产品良率下降乃至报废3危及员工职业健康泛半导体生产工艺中产生的挥发性有机物及其光化学反应产物等对人体健康有直接危害4破坏生态环境泛半导体生产工艺通常是高能耗高水耗高频率产生和排放有毒有害污染物的过程会排放酸性碱性有机有毒和含尘废气等免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读9盛剑环境603324CH集成电路面板显示两翼齐飞打造面板行业高端项目市占率有望维持在50以上新型显示技术驱动面板行业增长OLED2022年全球产能同比增长25从LCD到OLED再到MiniLEDMicroLED光电显示行业新技术持续迭代以不断满足市场的消费需求产业规模持续增长以OLED为例2022年全球产能同比增长25至5010万平方米全球显示面板企业未来将加大在OLEDMiniLEDMicroLED其他新型显示领域的研发和生产投入其中以京东方华星光电等为代表的中国面板龙头将在带动全产业链稳健发展图表16全球OLED面板产能OLED面板产能百万平米OLED面板产能增长率60807050604050304030202010100020122013201420152016201720182019202020212022资料来源iFinD华泰研究中国大陆的面板显示行业产能占比将有进一步提升自2010年起光电显示行业产能逐步由日本韩国中国台湾向中国内地转移LCD显示器方面随着以韩国为首的海外企业在LCD高世代线投资的放缓未来全球新增高世代线建设将以中国内地企业为主导OLED显示器方面中国内地企业在OLED产线的投资规模及布局仅次于韩国2017年起国内面板厂商开始大量投资OLED显示器产线由于韩国厂商先后宣布退出LCD将业务转向OLED全球LCD产能进一步聚集于中国大陆2020年我国LCD产能已经位居全球第一大尺寸LCD产能占比达到50光电显示行业在国家政策和产业转移的驱动下持续保持高额投入预计未来数年中国大陆的面板显示行业产能占比将有进一步提升图表171990-2025年全球LCD产能区域结构分布情况图表182022年全球大尺寸LCD面板市场份额按出货面积日本韩国中国台湾中国大陆其他10090221080271070601020501090177040123020100京东方华星光电LG惠科群创光电其他200020052010201520202025资料来源Wind各公司公告华泰研究资料来源IDC华泰研究大客户产能扩张助推公司业绩中国LCD生产厂商在高世代LCD上进一步布局2020-2022年京东方华星光电惠科CEC陆续在中国大陆投产共计9条7代以上的重要生产线这些龙头厂商中的大部分均为公司重要客户产能扩张有助于公司业绩进一步发展免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读10盛剑环境603324CH图表192020-2022年中国大陆厂商布局7代以上LCD重要生产线企业产线开始投产时间新增产能前片季新增产能面积万平方米季京东方合肥105代线B92020Q24545武汉105代线B172020Q3180178华星光电深圳11代线T72020Q3180178深圳11代线T72021Q39089广州86代线T92022Q3540-惠科滁州86代线H22020Q2225132绵阳86代线H42020Q2360211长沙86代线H52021Q2369232CEC咸阳86代线H52020Q23621资料来源HIS前瞻产业研究院华泰研究图表202018-2022年国内部分光电显示厂商的募投项目计划总投资计划投入募厂商项目名称亿元资亿元京东方收购武汉京东方光电2406的股权6565对重庆京东方显示增资并建设京东方重庆第6代AMOLED柔性生产线项目46560对云南创视界光电增资并建设12英寸硅基OLED项目3410对成都京东方医院增资并建设成都京东方医院项目605TCL购买武汉华星光电技术有限公司部分股权2020天马微电子武汉天马第6代LTPSAMOLED生产线二期项目14573维信诺合资设立江苏维信诺并投资第55代有源矩阵有机发光显示器件AMOLED扩产项目453132第6代有源矩阵有机发光显示器件AMOLED面板生产线项目26214110第6代有源矩阵有机发光显示器件AMOLED模组生产线项目1869715资料来源Wind各公司公告华泰研究以技术和服务创新进入高端项目通过标杆项目打开市场空间公司深耕泛半导体工艺废气治理行业多年为京东方华星光电天马微电子维信诺信利光电惠科光电中电系统等业内领军企业持续提供工艺废气治理产品2013年公司凭借湿式多级洗涤塔处理氮氧化合物技术方案中标京东方B6项目酸碱废气系统该项目是国内第一条国际第二条第55代AMOLED有机发光显示器件生产线是公司打开泛半导体行业高端客户的标杆性项目2014年公司凭借湿式除尘技术方案中标京东方B8项目酸碱有毒废气处理系统2015年公司凭借剥离液废气冷凝过滤回收技术方案中标华星光电T2第二阶段特殊废气处理系统2016年公司凭借沸石浓缩转轮及蓄热式焚化炉处理技术方案中标京东方B7项目VOCs废气处理系统图表21公司在光电显示行业部分标志性项目资料来源公司公告华泰研究废气处理投资占总投资1左右根据电子工业污染物排放标准二次征求意见稿编制说明光电显示行业环保投资一般占总投资包括生产设备购置费和工程建设费的25-3其中废气处理废水处理化学品回收投资分别占343131可见废气处理投资占比最高达到总投资1左右免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读11盛剑环境603324CH2023年面板行业废气治理系统市场规模约8亿元据DSCC预测2023年中国大陆面板设备支出为44亿美元以面板设备支出占总投资额约70估算根据产线建设节奏考虑订单陆续释放和设备交付期影响假设废气系统订单在建设当年和次年等量释放2023年调整后面板资本开支为808亿元以废气治理占行业资本开支1估算2023年面板行业废气治理系统市场规模为8亿元左右图表22面板行业废气治理系统市场规模测算单位202120222023E2024E中国大陆面板设备支出百万美元132001200044008300中国大陆面板资本开支百万美元1885717143628611857中国大陆面板资本开支百万元1301141182864337181814调整后面板资本开支百万元1242008082962593环保投资总投资303030废气系统投资环保投资340340340废气系统投资总投资101010面板行业废气治理系统市场百万元1267824638注美元兑人民币汇率取69资料来源DSCC电子工业污染物排放标准二次征求意见稿编制说明华泰研究预测1H22面板显示收入同比增长137公司市占率维持50以上公司2021年面板显示领域收入53亿元同比下滑172主要系面板显示行业投资下滑所致据DSCC统计21-22年面板设备支出132120亿美元同比下滑169尽管面板显示行业整体资本性支出存在一定的周期性波动公司凭借在该领域深厚的客户基础和项目经验优势1H22实现收入21亿元同比增长137实现逆势增长由于公司集成电路领域业务扩张1H22面板显示收入占比同比下降4个百分点至372021年面板显示毛利率同比下降12个百分点至259公司为绝大部分国内主要光电显示厂商产线提供了产品或服务具备较强的市场竞争力根据我们调研公司在中国大陆面板行业废气治理系统市占率维持在50以上我们认为通过加强核心客户和核心项目转化公司有望维持稳健的面板领域收入图表23公司面板显示领域收入图表24公司面板显示领域收入占比百万元面板显示收入yoy右轴面板显示收入占比70020639806860015705291060500550434004137040300206-530181200-1020100-15100-2002020202121H122H12020202121H122H1资料来源公司公告华泰研究资料来源公司公告华泰研究品牌定制化设计供应链和研发优势持续强化公司竞争能力公司积累了良好的口碑和品牌优势废气治理系统及设备出现故障可能会导致客户停产甚至造成重大经济损失因此客户倾向与优质供应商形成长期合作关系光电显示行业前十名厂商占据了行业的绝大部分产能这些厂商的供应商准入标准严格通常会选择经验丰富历史业绩杰出行业内领先的供应商进行合作供应商选定后一般不会随意更换依靠丰富的行业经验公司能够根据客户的不同需求实现定制化设计同时具备完善的供应链公司在发展过程中实现了沸石浓缩转轮焚化炉等中央治理系统关键设备的自主制造具备持续的技术研发优势免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读12盛剑环境603324CH持续获取面板显示行业重点项目公司竞争优势明显2023年2月公司中标厦门天马光电子有限公司第86代新型显示面板生产线项目工艺排气系统工程一标段施工项目订单金额约13亿元2022年上半年公司中标深圳华星光电t6t7产能扩充项目武汉华星光电第6代半导体新型显示器件生产线扩产项目苏州华星光电t10屋顶有机排气技改项目京东方重庆第6代AMOLED柔性生产线项目等行业重点项目2021年公司承接了厦门天马显示科技有限公司第6代柔性AMOLED生产线项目工艺排气系统工程项目深圳华星T9VOC系统包绵阳惠科第86代薄膜晶体管液晶显示器件项目210K工艺废气系统扩建上海和辉项目45K扩产废气系统包等行业重点项目图表252021年起公司部分面板显示订单订单金额时间客户项目名称百万元2021年天马微电子厦门天马显示科技有限公司第6代柔性AMOLED生产线项目工艺排气系统工程项目2021年华星光电深圳华星T9VOC系统包2021年惠科光电绵阳惠科第86代薄膜晶体管液晶显示器件项目210K工艺废气系统扩建2021年和辉光电上海和辉项目45K扩产废气系统包等行业重点项目2022年4月7日武汉华星光电第6代半导体新型显示器件生产线扩产项目工艺排气系统包95技术有限公司2022年上半年华星光电深圳华星光电t6t7产能扩充项目2022年上半年华星光电武汉华星光电第6代半导体新型显示器件生产线扩产项目2022年上半年华星光电苏州华星光电t10屋顶有机排气技改项目2022年上半年京东方京东方重庆第6代AMOLED柔性生产线项目2023年2月28日厦门天马光电厦门天马光电子有限公司第86代新型显示面板生产线项目工艺排气系统工程一标126子有限公司段施工资料来源公司公告华泰研究集成电路资本开支高景气成长空间广阔2023年全球半导体市场将达到5566亿美元中国集成电路产业快速发展近年来随着人工智能智能驾驶5G等新兴市场的不断发展全球集成电路行业市场规模整体呈现增长趋势根据WSTS预测2023年全球半导体市场将达到5566亿美元近年来凭借着巨大的市场需求丰富的人口红利稳定的经济增长及有利的产业政策环境等众多优势条件中国集成电路产业实现了快速发展市场增速明显高于全球水平图表26全球半导体市场规模图表272013-2021年中国集成电路产业销售额及增长率半导体市场规模亿美元销售额亿元增长率700030半导体市场规模增长率12000302560002010000255000158000204000106000153000502000400010-5100020005-100-1500201720182019202020212022201320142015201620172018201920202021资料来源WSTS华泰研究资料来源中国半导体行业协会华泰研究2021年全球晶圆代工销售额达1101亿美元行业或将于2023年下半年结束下行周期据ICInsights数据2021年全球晶圆代工销售额达1101亿美元根据华泰电子团队2023年1月4日发布的2023关注内需创新安全三条主线全球晶圆厂设备资本开支WFEwaferfabequipment预计2023年下滑232024年增长30从2022年年中开始半导体行业进入去库存周期从2023年下半年开始行业恢复到需求和供给匹配的阶段结束下行周期免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读13盛剑环境603324CH2021年中国纯晶圆代工销售额约75亿美元国产替代是产业升级主线目前国内整体纯晶圆代工规模表现为稳步增长趋势2021年国内新能源汽车销量爆发叠加智能手机需求回暖国内晶圆需求爆发式增长产能持续偏紧价格高涨下销售额增长409规模约在75亿美元左右就趋势而言先进制程和尖端产品整体价格和利润更高同时传感器电源管理芯片等成熟制程整体需求在短期仍将保持高位国产企业仍存在较大扩张空间长期来看通过技术突破实现国产替代提升全球范围内晶圆代工竞争力仍是国内产业升级主线图表282016-2021年中国纯晶圆代工销售额及增长率销售额亿美元增长率80457040356030502540203015201010500201620172018201920202021资料来源ICInsights华泰研究集成电路资本开支维持高景气度单个项目环保投资可达数亿元近年来国内集成电路行业资本性开支依然保持较高景气度由于集成电路是资金密集型行业生产线本身投资巨大其在环保方面的投入往往达到上千万甚至上亿元人民币根据电子工业污染物排放标准对典型项目的统计单个项目环保投资从1400万元到83亿元不等半导体废气治理行业将随着国内厂商的投资扩产延续上升周期公司业绩的增长也将从中持续受益图表29全球晶圆代工厂扩产情况公司扩产地点投资金额扩产情况月增产能预估产能释放时间闻泰科技上海120亿元新建3-4万片12英寸2022-2023德州仪器美国扩建12英寸2023-2025中芯国际深圳235亿元新建4万片12英寸28纳米及以上2022-2023北京76亿美元新建10万片12英寸28纳米及以上2024-2025晶合集成合肥新增N2厂4万片12英寸55-40纳米2022-2023合肥新建N3厂16万片12英寸宁波中芯宁波新增3万片8英寸2022-2023台积电南京2887亿美元新建2万片12英寸28纳米及以上2023美国120亿美元新建2万片12英寸5纳米2024-2029台湾270亿美元扩增3纳米5纳米和7纳米等核心工艺2023台南30亿美元3万片12英寸28纳米2023-2024力积电铜锣2780亿新台币10万片12英寸1x-50纳米2023-2024世界先进新竹新建4万片8英寸2023-2024格芯美国扩建Fab8晶圆厂2023-2024三星美国170亿美元扩增3万片12英寸7-5纳米2023-2024英特尔美国200亿美元扩建12英寸产能部分代工资料来源各公司公告华泰研究集成电路废气治理系统市场规模稳定在20亿元以上据Omdia和各集成电路公司公告23-24年中国大陆集成电路资本开支为204252亿美元根据产线建设节奏考虑订单陆续释放和设备交付期影响假设废气系统订单在建设当年和次年等量释放23-24年调整后资本开支为16301571亿元根据电子工业污染物排放标准二次征求意见稿编制说明集成电路制造业环保投资占总投资比例一般不超过5假设废气系统投资占总投资比为15测算得到22-24年集成电路废气治理系统市场规模均为2325亿元免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读14盛剑环境603324CH图表30集成电路废气治理系统市场规模测算单位202120222023E2024E中国大陆集成电路资本开支百万美元19798268672037525152中国大陆集成电路资本开支百万元136606185382140588173549调整后集成电路资本开支百万元160994162985157068废气系统投资占比151515集成电路废气治理系统市场百万元241524452356注美元兑人民币汇率取69资料来源Omdia各集成电路公司公告电子工业污染物排放标准二次征求意见稿编制说明华泰研究预测公司1H22集成电路领域收入31亿元同比增长620公司与集成电路行业的领军企业建立了良好的合作关系2021年公司集成电路领域实现收入572亿元同比增长281占营业收入总额464毛利率同比提升25个百分点至2902022年上半年公司集成电路领域实现收入313亿元同比增长620占营业收入总额比重由上年同期的434进一步提升至568集成电路领域业务突破成效显著图表31公司集成电路领域收入快速提升图表32公司集成电路领域收入占比快速提升百万元集成电路收入yoy右轴集成电路收入占比700300605716005722505046435002004040031315030300193100201620015010050100002020202121H122H12020202121H122H1资料来源公司公告华泰研究资料来源公司公告华泰研究加速突破头部客户布局特色工艺产线集成电路行业知名企业如中芯国际华虹半导体北京集电和中电系统等均已成为公司客户公司一方面凭借品牌技术与服务优势加速突破头部晶圆厂另一方面把握集成电路行业结构变化成熟制程产能提升的机会加强功率芯片模拟芯片和存储芯片等特色工艺产线布局双管齐下实现持续扩张1H22新增订单63亿元拓展细分领域合作2022年上半年公司集成电路领域新增订单63亿元成功中标青岛芯恩崂山项目FabA废气处理设备芯卓半导体产业化建设项目二期工艺废气系统设备以及国内某半导体公司的某集成电路项目工艺排气系统分包工程项目订单金额17亿元等2021年公司中标格科半导体上海有限公司12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目工艺排风系统和国内头部12寸存储芯片化学品供应系统项目参与一批国内知名的8寸线12寸线的项目建设与北京集电存储芯片卓胜微射频SAW滤波器芯片和射频模组格科微12寸图像传感器芯片长电科技先进封装等各细分领域领先企业开展项目合作图表332021年起公司部分集成电路订单时间客户项目名称订单金额百万元2021年6月23日信息产业电子第十一设计研究格科半导体上海有限公司12英寸CIS集成电路80院科技工程股份有限公司特色工艺研发与产业化项目工艺排风系统2022年上半年青岛芯恩青岛芯恩崂山项目FABA废气处理设备2022年上半年卓胜微芯卓半导体产业化建设项目二期工艺废气系统设备2022年7月8日国内某半导体公司华南地区某集成电路项目工艺排气系统分包工程170资料来源公司公告华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读15盛剑环境603324CH系统设备双轮驱动系统设备满足半导体废气治理需求公司的主要产品为废气治理系统及设备以及湿电子化学品业务废气治理以定制化的研发设计加工制造系统集成及运维管理为主要生产模式泛半导体工艺废气治理系统按照处理废气种类分为酸碱废气处理系统有毒废气处理系统VOCs处理系统一般排气系统并可按照废气成分进行综合配置同时公司逐步为客户提供湿电子化学品供应与回收再生系统及服务图表34公司废气治理系统介绍名称概述应用领域公司设计或生产制造的核心设备酸碱废气通过控制洗涤塔中水的酸碱度电导度等参数使废气在洗光电显示集二次配排气风管支管主风管处理系统涤塔中与循环水进行充分接触通过中和反应吸收废气中成电路等泛半单级洗涤塔现场控制盘隔离开的酸性或碱性物质导体行业关盘等有毒废气LS作先行处理再送至中央治理系统经除尘设备除去含氟光电显示集二次配排气风管主风管湿式电处理系统粉尘后进行多级洗涤处理再排入大气成电路等泛半除尘集尘器多级洗涤塔等导体行业VOCs处蓄热燃烧式将大风量低浓度废气经转轮浓缩成小风量高浓光电显示集二次配排气风管支管主风管理系统度废气再通入蓄热式燃烧装置利用高温使有机化合物裂成电路等泛半蓄热式直燃式焚烧炉转轮系统等解为CO2以及H2O处理后的有机废气可达标排放导体行业及其冷凝处理式降低系统温度或提高系统压力使高沸点有机他涉及VOCs物从气态转变为液态凝结成液滴靠重力作用落到凝结区排放的行业下部的储液槽中一般排气泛半导体生产工艺中一些设备局部会产生大量的热或产生涉及无毒无害非涂层风管等系统会对高洁净度生产环境造成影响的含尘气体可以直接排放气体排放行业至大气环境不需做任何处理为无害排放资料来源公司公告华泰研究国际供应商具有先发优势我国泛半导体产业起步晚于美国日韩和中国台湾地区对应的工艺废气治理业务发展相对滞后市场目前由国际供应商主导主要以VerantisEnvironmentalSolutionsGroup天和上海半导体制程排气工业有限公司晃谊科技股份有限公司KankenTechno华懋科技股份有限公司为代表国际供应商具有先进的技术和工艺水平伴随下游客户产能转移将业务扩展至中国内地在工艺技术经验积累客户资源品牌影响力等方面具有先发优势图表35国际泛半导体废气治理供应商基本情况公司名称基本情况维朗帝斯一家专业为废气废物排放提供专业的解决方案的环境工程公司总部位于美国为客户提供从焚烧VerantisEnvironmental至废气废水净化从能量回收至副产品回收从设计至设备供应的整套综合解决方案SolutionsGroup天和上海半导体制程一家专精于制程排气工艺的专业厂商提供管件生产系统规划设计施工测试及平衡调整排气工业有限公司于2001年5月正式在上海投资设厂晃谊科技股份有限公司一家中国台湾专业技术工程公司从管材代理销售商转型成为工程系统整合厂商及空污排放系统供货商康肯技术成立于1978年主营内容为环保相关设备的设计制造施工KankenTechno华懋科技股份有限公司成立于1979年为中国台湾率先投入半导体产业VOCs处理制程废气处理及污染防治设备研发的专业公司资料来源公司公告华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读16盛剑环境603324CH发挥本土优势公司集成电路废气治理系统领域市占率达到20左右随着国内泛半导体行业的迅速发展行业内的设备国产化程度也在逐渐提高废气治理系统和设备作为泛半导体生产工艺不可分割的组成部分存在大量的国产化需求公司根据不同客户的产品工艺流程废气成分空间布局等因素定制化设计治理方案设备选型控制系统排放布局等实现中央治理系统与客户工艺设备的深度整合并安全稳定地自动化运行历经多年积淀公司已全面掌握了酸碱废气处理有毒废气处理VOCs处理一般排气等中央治理技术持续服务于业内领军企业在保障产品性能基础上公司发挥本土优势提高设备自产率降低成本加强客户服务响应根据我们测算公司在集成电路废气治理系统领域市占率达到20左右未来有望进一步提升核心设备实现自产废气治理系统自产率达到70左右公司早期自产设备以工艺排气管道为主2017年和2018年公司设备自产率为2521产能限制导致自产率较低2018年下半年江苏盛剑厂房建成投产公司设备制造能力大幅提升201920H1设备自产率达到4548公司持续研发四川广汉和湖北孝感制造基地建成投产目前主要核心设备实现自产废气治理系统自产率达到70左右公司实现了焚烧炉转轮系统工艺排气管道除尘器脱硫塔等单体设备的自产化使得废气治理系统中采用公司自产单体设备的比例和种类都有所增加综合设备采购成本有所下降图表36公司废气治理系统的核心设备取得方式类型核心设备名称应用的系统备注外购设备集尘机有毒废气处理系统公司提出工艺需求供应商负责加工定制化设计及制造单级洗涤塔酸碱废气处理系统有毒废气处公司提出工艺需求核心设计参数技术规的设备多级洗涤塔理系统范等供应商负责机械设计与加工湿式电除尘SCR脱硝烟气净化系统湿法脱硫塔GGH换热器自产设备蓄热式直燃式焚烧炉VOCs处理系统2019年起采用自产形式转轮系统工艺排气管道酸碱废气处理系统有毒废气处采用自产形式现场控制盘理系统VOCs处理系统烟气自产和外购结合隔离开关盘净化系统电源柜可编程逻辑控制器活性炭塔烟气净化系统自产和外购结合SDA脱硫塔除尘器资料来源公司公告华泰研究图表37废气治理系统自产率持续提升自产设备成本定制化设计的外购设备成本核心设备成本100908070605040302010020172018201920H1资料来源公司招股书华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读17盛剑环境603324CH国产替代趋势助力公司扩张公司持续进行产品研发和技术创新掌握了工艺废气治理核心技术与泛半导体行业领军企业建立了良好稳定的合作关系同时公司持续进行废气治理设备的自主研发设计和制造在工艺排气管道的基础上实现了LSLOC-VOC等设备的研发设计生产和销售并实现了沸石浓缩转轮焚化炉等用于废气治理系统的关键设备的自产随着公司产能的增长自产设备占比整体呈上升趋势具有一定的成本优势公司成功进入京东方华星光电中芯国际士兰微华虹半导体等本土厂商供应链是少数能够承接面板和集成电路项目的本土厂商之一国产替代趋势下公司有望持续扩大市场份额公司生产的废气治理设备包括工艺排气管道中央废气治理设备和泛半导体制程附属设备公司生产的工艺排气管道以不锈钢涂层风管为主可广泛应用于泛半导体印刷电路板石油化工生物制药食品加工等行业的排气系统中央废气治理设备包括沸石转轮焚化炉除尘器洗涤塔等泛半导体制程附属设备包括LS和LOC-VOC其中LS涉及的核心技术包括等离子废气处理技术等离子反应腔技术等离子火炬发生器技术干式化学吸附技术LS控制技术反应腔隔热技术和气体注入技术单体治理设备市场广阔深度绑定下游龙头企业单体治理设备毛利率较高国产化率仍有提升空间单体治理设备为泛半导体附属设备中的一种公司设计制造的泛半导体制程附属设备包括LS设备和LOC-VOC设备LS和LOC-VOC配套泛半导体工艺设备技术难度较高竞争者主要为售价较高的国外供应商毛利率相对较高根据公司招股说明书2019年公司LS设备和LOC-VOC设备单价分别为2460万元目前LS设备自产比例约40关键部件包括真空泵火炬头和温控设备等公司对关键设备加大研发攻关力度2021年实现火炬头自产2022年完成了火炬头自动生产线的设计和建设同时公司加速推进真空泵和温控设备研发我们认为公司核心部件自产化率有望持续提升根据能量源方式的不同LS设备分为燃烧水洗式等离子水洗式电热水洗式和干式吸附式LS是LocalScrubber的简称是泛半导体工艺设备PFCs污染物处理装置用于对制程过程中产生的含氟氯硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解另一端与中央治理系统相连将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理图表38LS设备分类情况LS设备分类能量源方式温度范围应用制程优点缺点燃烧水洗式利用燃料燃烧产生高温环境900-1300薄膜PVDCVD1可燃物及毒性物质处理效率高1粉尘凝结及造成阻塞事故多扩散Poly2较适用于高流量废气2维修保养次数多3有燃料泄露爆炸危险性等离子水洗式利用高压电离氮气分子产生高温环境2000-3000蚀刻PFC1对于PFC处理效率高1副产物需至厂务中央端处理2相对于吸附式处理设备成本较低2铜材质组件损坏率高电热水洗式利用电棒加热产生高温环境750-1000扩散Hi-K1利用电力加热节省燃料消耗1加热棒易损坏2较适用于高流量废气2水分含量高易浪费能源3较适用于处理可燃性物质干式吸附式蚀刻MetalPFC1只更换吸附剂故维修保养次数少1吸附剂成本高离子植入2无使用燃料与水故能源损耗少2废弃物处理环保问题3加热式对于PFC吸附效率高3较适用在高流量之废气资料来源京仪装备招股书申报稿区域洗涤设备异常事件失误模式探讨以某半导体厂为例陈威儒2012年3月华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读18盛剑环境603324CH图表39燃烧水洗式Localscrubber工作流程图图表40水洗式Localscrubber工作流程图资料来源戴思公司官网华泰研究资料来源戴思公司官网华泰研究LS设备属于泛半导体工艺制程设备的一部分其运行稳定性及气体处理效率要求高以中芯国际天津厂P2P3扩产项目为例LS设备广泛应用于液相处理和特种气体干式处理中多个处理工序是生产工艺中不可或缺的一部分图表41LS设备参与的工序及处理污染物液相处理工序污染物特种气体干式处理工序污染物酸液清洗氟化物干法蚀刻HCLCl2硫酸氟化物HCL湿法刻蚀氮氧化物薄膜氟化物氮氧化物氟化物氮氧化物氟化物洗胶氟化物离子注入及扩散AsH3硫酸PH3HCL碱液清洗氨洗胶氨资料来源中芯国际天津厂P2P3扩产项目建设项目环境影响报告表华泰研究LS设备目前以海外厂商为主盛剑2021年市占率约8LS设备连接主设备进行本地废气处理其处理工艺和效果与主设备运行参数密切相关因此主设备厂商与LS设备厂商达成深度合作后不会轻易更换合作厂家LS设备目前仍以戴思爱德华和康肯等国外厂商为主国内主要参与者为盛剑环境中微惠创京仪装备沃飞科技和上海兄弟等公司根据盛剑环境2021年报和京仪装备招股书申报稿2021年其LS设备销量分别为405312台我们测算得2021年行业销量为5751台详见图表43对应市占率约75免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读19盛剑环境603324CH图表42主要国内外LS设备公司公司注册地公司简介戴思公司德国成立于1991年主要从事以废水处理系统废气处理系统为中心的开发活动戴思公司的废气处理系统被广泛应用于半导体光伏面DASEnvironmental板LED微机电系统等产业采用燃烧水洗纯燃烧水洗以及静电式集尘技术ExpertGmbH爱德华公司瑞典成立于1919年2014年由斯德哥尔摩证券交易所上市公司AtlasCopco集团股票代码ATCOAATCOB收购AtlasCopco集团Edwardslimited是一家瑞典工业解决方案供应商爱德华公司主要从事以真空系统及尾气处理系统为中心的开发活动爱德华公司的Atlas系列产品与Proteus系列产品主要应用于半导体制造过程的尾气处理2021财年AtlasCopco集团营业收入83240亿元净利润13610亿元康肯技术日本日本最大废气处理设备制造专业厂商致力于电子设备制造厂可能排放的有害气体的无害化温室气体的减排处理设备废气处理设备KankenTechno多种化工制造业排放的VOC气体减排设备等产品的开发设计制造销售及售后荏原日本日本荏原制作所创立于1912年从水泵事业起家被誉为泵的巨人自1929年生产出亚洲第一台离心式制冷机至今已有80多Ebara年的制冷机研发制造经验1962年生产溴化锂吸收式制冷机并一直引领吸收式制冷行业技术的发展自成立之初就以献身环境事业为已任目前在风力水力机械环境工程和精密电子产业等三大领域中成为技术领先的世界一流高科技企业并跻身机械制造业世界500强友尼森马来西Unisem公司成立于1989年6月19日1998年7月30日在马来西亚证券交易所主板上市主要从事半导体封装和测试业务拥有Unisem亚bumpingSiPFCMEMS等封装技术和能力可为客户提供有引脚无引脚以及晶圆级MEMS等各种封装业务封装产品涉及通讯消费电子计算机工业控制汽车电子等领域Unisem公司主要客户以国际IC设计公司为主包括BroadcomQorvoSkyworks等公司中微惠创中国中微惠创为中微公司全资子公司于2014年12月在上海临港注册成立公司着力于泛半导体行业的环保设备新能源等领域产品的研发生产和销售公司面向电子工业开发设计的VOC挥发性有机气体处理设备已广泛用于改善面板显示行业生产线的洁净室工作环境公司生产制造的国产化Scrubber设备应用于集成电路面板显示LED与太阳能行业等京仪装备中国北京京仪自动化装备技术股份有限公司是一家集研发生产和销售为一体的高端装备制造企业主要产品包括半导体专用温控设备Chiller晶圆传片设备Sorter半导体专用工艺废气处理设备LocalScrubber等专用设备现已广泛应用于半导体LEDLCD太阳能等领域2021年京仪装备营业收入501亿元归母净利059亿元沃飞科技中国深圳沃飞科技有限公司成立于2011年公司为客户提供大宗气体系统电子特气系统实验室气路系统工业集中供气系统洁净气体管道高纯化学品供液系统LocalScrubber尾气处理系统及机电工程安装等工程项目设计安装交钥匙式高性能和高质量的解决方案工程项目覆盖半导体集成电路光电新能源微电子光纤生物医药科研所标准检测高校院校等高技术领域行业上海兄弟中国上海兄弟微电子技术有限公司成立于2001年多年来专为半导体行业及生物制药等高科技行业提供超高纯气体电子特气超纯化学品的输送系统设备及工程服务公司的主要业务为电子特气输送系统电子无机有机化学品输送系统废液废气处理及回收系统包含水洗电热水洗干式吸附等离子燃烧等系列设备资料来源盛剑环境招股书京仪装备招股书申报稿某晶圆厂区域洗涤设备异常事件之风险评估与改善对策张胜祁2008年7月各公司官网华泰研究加强研发发挥本土优势LS设备国产替代有望加速盛剑环境加大研发投入目前已完成燃烧水洗机型的研发验证测试填补了公司在集成电路领域燃烧水洗机型的空白同步研发验证水洗燃烧水洗样机填补了国产化机型的空白并在光电显示行业取得批量订单近年来凭借快速发展的研发设计水平和优质的服务以盛剑环境为代表国内厂商发挥本土优势快速发展国产替代有望加速晶圆产能扩张贡献23-25年LS设备市场规模总计超150亿元根据我们对中国大陆主要晶圆厂新增产能统计23-25年12英寸晶圆新增产能在310千片月以上8英寸晶圆新增产能在43千片月以上以每千片128英寸晶圆产能对应LS设备需求1512台测算23-25年LS设备需求超5300台年统计BOCEdwardsUnisemEbara等主要国际厂商设备单价燃烧水洗式LS设备报价在68-110万元区间以其均值92万元测算23-25年LS设备市场规模为495949亿元年2023年开始行业8英寸新增产能收缩由2022年145千片月下降到23-25年63千片月以下同时行业12英寸扩产出现周期波动共同导致23-25年LS设备市场规模有所波动总体来看23-25年LS设备市场规模3年总计超150亿元免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读20