江丰电子是一家自成立以来便专注于高纯溅射靶材研发、生产和销售的公司，并基于主业的技术积累逐步开展了半导体产业设备机台关键零部件的研发、生产和销售，主要产品为全系列的高纯金属溅射靶材，包括铝靶、钛靶、钽靶、铜靶以及各种超高纯金属合金靶材等。公司靶材产品主要应用于半导体、平板显示、太阳能等领域。通过多年来不断加大技术研发和对客户的精心维护，公司产品获得了市场的高度认可，客户涵盖国内外知名客户，如台积电、中芯国际、富士通半导体等。目前公司超纯金属溅射靶材产品已应用于半导体厂商最先端制造工艺，在7nm技术节点实现批量供应，并进入先端的5nm技术节点，半导体靶材国产替代技术基础已经具备。
　　靶材业务技术先进，客户丰富，市场广阔，积极扩产持续扩大营收。公司靶材产品技术先进，已批量供应7nm制程，并进入5nm制程的研发；同时公司客户资源丰富，目前已是台积电、海力士、中芯国际、京东方、华星光电等全球知名半导体及面板厂商供应商；公司主业靶材业务市场前景广阔，目前全球半导体产业和平板显示产业均向国内转移，高纯溅射靶材的国产化率将持续提高。同时下游晶圆代工厂和面板加工厂的大量投产、先进封装的快速发展，将进一步带动靶材需求高速增长；公司当前各产线均是满产满销状态，22年公司定向增发所投入的新增产能将会是靶材主业推动公司营收进一步增长的强劲动力。
　　半导体零部件业务发展迅速，半导体产业链切入进度顺利。公司拥有丰富的金属材料特性及加工处理经验和技术储备，通过近些年的加大投入，公司半导体设备精密零部件业务布局逐步完善，在半导体设备精密零部件的研发和制造领域已具备较强竞争力。自21年起，随宁波余姚、上海奉贤和沈阳沈北三个零部件生产基地建成投产，公司半导体零部件业务开始快速增长，有望成为公司营收增长第二极。
　　盈利预测与估值：我们预计2022-2024年公司营收分别为24.14、34.13、43.39亿元，归母净利润分别为3.01、4.50、5.70亿元，EPS分别为1.13、1.70、2.15元，给予“推荐”评级。
　　风险提示
　　靶材产能释放不及预期
　　主要产品价格及原材料价格波动风险
　　下游市场需求不及预期
　　市场竞争加剧

研究报告全文：证券研究报告2023年1月5日方正电子公司深度报告江丰电子300666高纯溅射金属靶材国产替代领先者分析师吕卓阳登记编号S1220522010001分析师吴文吉登记编号S1220521120003摘要江丰电子是一家自成立以来便专注于高纯溅射靶材研发生产和销售的公司并基于主业的技术积累逐步开展了半导体产业设备机台关键零部件的研发生产和销售主要产品为全系列的高纯金属溅射靶材包括铝靶钛靶钽靶铜靶以及各种超高纯金属合金靶材等公司靶材产品主要应用于半导体平板显示太阳能等领域通过多年来不断加大技术研发和对客户的精心维护公司产品获得了市场的高度认可客户涵盖国内外知名客户如台积电中芯国际富士通半导体等目前公司超纯金属溅射靶材产品已应用于半导体厂商最先端制造工艺在7nm技术节点实现批量供应并进入先端的5nm技术节点半导体靶材国产替代技术基础已经具备靶材业务技术先进客户丰富市场广阔积极扩产持续扩大营收公司靶材产品技术先进已批量供应7nm制程并进入5nm制程的研发同时公司客户资源丰富目前已是台积电海力士中芯国际京东方华星光电等全球知名半导体及面板厂商供应商公司主业靶材业务市场前景广阔目前全球半导体产业和平板显示产业均向国内转移高纯溅射靶材的国产化率将持续提高同时下游晶圆代工厂和面板加工厂的大量投产先进封装的快速发展将进一步带动靶材需求高速增长公司当前各产线均是满产满销状态22年公司定向增发所投入的新增产能将会是靶材主业推动公司营收进一步增长的强劲动力半导体零部件业务发展迅速半导体产业链切入进度顺利公司拥有丰富的金属材料特性及加工处理经验和技术储备通过近些年的加大投入公司半导体设备精密零部件业务布局逐步完善在半导体设备精密零部件的研发和制造领域已具备较强竞争力自21年起随宁波余姚上海奉贤和沈阳沈北三个零部件生产基地建成投产公司半导体零部件业务开始快速增长有望成为公司营收增长第二极盈利预测与估值我们预计2022-2024年公司营收分别为241434134339亿元归母净利润分别为301450570亿元EPS分别为113170215元给予推荐评级资料来源公司公告方正证券研究所1业务版图AlAl30ppmSiAl05SiAl075SiAl08SiAl1SiAl05Cu高纯铝以及铝合金靶材AlSiCu等高纯钛靶材以及钛环4N5钛5N钛低氧钛等半导体用超高纯铜铜合金靶材以4N铜4N5铜5N铜6N铜以及铜铝铜锰等合金靶材纯铜以及高纯金属溅及铜环铜阳极CuP阳极材料纯铜的环件射靶材高纯钽钽合金靶材以3N5到5N的各种纯度钽靶材钽环以及各种寿命和规格的钽靶材和钽及钽环环高纯钨钨钛钨硅高纯硅高纯镍镍合金高纯铬及铬合金特殊金属及合金靶材钴靶材等液晶平板显G45G5G55G6G85G105代超高纯铝铜钼钛靶材示器用高纯金属溅射靶材以及零部PVD机台用防着板坩埚以及CFRP液晶玻璃搬运部件件PVD机台用ClampRingCollimator半导体用精CVDetching机台用faceplateshowerhead等密零部件化学机械研磨机台用金刚石研磨片RetainingRing等资料来源公司官网方正证券研究所2目录1国内溅射靶材龙头业绩稳定高增2靶材业务为基营收增长的强劲动力3半导体零部件业务绘制第二增长曲线4盈利预测及估值3国内金属溅射靶材龙头打破进口依赖江丰电子创建于2005年于2017年6月在深交所上市公司专业从事超大规模集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材的研发生产是国家科技部发改委及工信部重点扶植的高新技术企业公司研发生产的超高纯金属溅射靶材填补了中国在这一领域的空白打破产品依赖进口的局面公司相关产品在28-7nm实现量产部分靶材产品突破5nm技术节点成功获得国际一流芯片制造厂商的认证销售网络覆盖欧洲北美及亚洲各地产品应用到台积电中芯国际SK海力士联华电子索尼京东方华星光电等多家国内外知名半导体平板显示及太阳能电池制造企业公司历史沿革公司成立超高纯铝钛铜钽金属承担国家863引液晶平板用靶材通溅射靶材制备技术及公司三期江丰电子海外导项目过客户使用评价应用项目荣获2020年新厂房落马来西亚第一块中国制造公司粉末冶金分厂度国家技术发明二等成工厂开业靶材研发成功成立奖2006年2014年2017年2019年2005年2012年2015年2018年2021年接到第一承担的国家公司在创北京江丰武汉江笔订单十一五02业板挂牌丰湖南江丰相继重大专项通过上市成立广东江丰破验收土动工控股公司台湾江丰注册成立资料来源公司官网公司公告方正证券研究所4营收稳定高增长钽靶收入占比较高营收保持快速增长公司营收从2017年的55亿元增长2017-2022Q3营业收入及同比增速情况百万元到2021年的1594亿元四年复合增速高达30482022前三季度营收超过2021全年水平同比增长5018006016005050境外销售占比较大国内营收逐步增加2017-2019年140041公司境外营收占七成2020年开始国内营收比例不断120037402022H150100027提升已接近24308001594168518钽靶铝靶钛靶合计贡献半数以上营收零部件业600116720务异军突起公司靶材产品稳定增长其中钽靶产品40082555065010占比最高2018-2022H1均维持在30以上零部件业20000务2022H1贡献1626的营收占比超过铝靶钛靶产201720182019202020212022Q3品前景可期营业收入同比增速2017-2022H1分产品营收结构百万元2017-2022H1分地区营收占比1001009090251166185241402808039370575370184177707372661011116060971572141475050175159211404014227717230304720204320629840451834030272834101461000201720182019202020212022H1201720182019202020212022H1钽靶铝靶钛靶零部件其他中国大陆其他地区资料来源WIND公司公告方正证券研究所5期间费率波动下降研发支出不断加码期间费率逐步降低2017-2022Q3销售费用略有增加2018-2022Q3年江丰电子研发支出及同比增长情况百万元管理费用近两年增长明显系营收增长人员工资增加以及股权激励摊销所致财务费用波动较大20221205043前三季度财务费用转负主要是由于公司海外营收占4510040比较高报告期内汇兑损益增加导致总体来说公3335司期间费用率呈波动下降趋势公司盈利能力有望进802830一步增强246025注重技术创新研发不断加码2018-2021公司研发162040支出逐年增加同比增速维持在20以上2022年前1510三季度研发支出接近2021全年水平截止2022年6月2030日公司及子公司共取得境内有效授权专利527项4760749883500包括发明专利308项实用新型专利219项20182019202020212022Q3研发支出同比增长2017-2022Q3江丰电子各项期间费用和期间费率百万元160250014020120181420001001514801115006040100020123364324442475538260164491743557115984554147830500201720182019202020212022Q3-20-13-40000销售费用管理费用研发费用财务费用期间费用率资料来源WIND公司公告方正证券研究所6毛利率稳中向好营收增势凸显公司总体毛利率水平较为稳定2022H1毛利情况改2017-2022Q3分产品毛利率情况善公司总体毛利率近5年来维持在30左右波动幅度较小除钛靶外2022H1其他大类产品毛利率5000相较2021年均有所改善45004000分产品来看钽靶产品由于原材料成本较高因此毛3500利率相对较低但近年来已趋于稳定基本维持在300020-25铝靶和钛靶产品毛利率较高且铝靶产品2500毛利率处于上升趋势2022H1达4635零部件产2000品毛利率接近总体水平2022H1为2828我们认1500为随着产品放量规模效应显现毛利水平将进一1000步改善500000201720182019202020212022H12017-2022Q3扣非归母净利情况百万元总体钽靶铝靶钛靶零部件其他200186220180160170170盈利能力持续提升利润规模快速增140长2020年公司扣非归母净利转负120120为正实现扣非归母净利061亿元1008076同比增长79632021年延续增势80706151同比增长25592022年前三季度公60443426司扣非归母净利实现爆发式增长达40152020-13到186亿元同比增长高达1700-24-30201720182019202020212022Q3扣非归母净利同比增长资料来源WIND公司公告巨潮资讯网方正证券研究所7目录1国内溅射靶材龙头业绩稳定高增2靶材业务为基营收增长的强劲动力3半导体零部件业务绘制第二增长曲线4盈利预测及估值8产品品类完善多领域先进水平公司靶材业务产品矩阵图部分钽靶产品铝靶产品钛靶产品铜靶产品靶材及太阳能电池用配半导体芯片用平板显示器用半导体芯片半导体芯片用半导体芯片用铝靶套钽靶铝靶钛靶铜阳极铜靶环材半导体芯片用半导体芯片用半导体芯片用半导体芯片用钽环铝靶钛环铜环通过多年在超高纯金属及溅射靶材领域的耕耘公司目前已建立起以钽铝钛和铜四种高纯金属为代表覆盖靶材及配套环材的产品矩阵并且公司持续追踪国际最先进集成电路技术不断巩固公司产品在半导体等领域的竞争优势目前公司主要产品纯度均达到99994N以上其中应用于超大规模集成电路芯片的半导体芯片用铜靶纯度要求最高为9999996N主要产品应用领域技术节点性能要求超高纯钽靶材及环件超大规模集成电路芯片制造领域90-5nm半导体6N999999高精度尺寸高集成度超高纯铝溅射靶材半导体芯片平板显示器太阳能电池-平板显示4N9999超高纯钛溅射靶材及环件超大规模集成电路芯片制造领域130-55nm靶材面积大均匀程度要求高超高纯铜靶材及环件超大规模集成电路芯片制造领域平板显示器90-3nm太阳能电池4N9999应用范围广资料来源WIND公司公告方正证券研究所9扎根靶材业务硬实力推动营收不断增长靶材业务营收稳步增长向尖端化高端化不断突破公司主营业务之一为超高纯金属材料所制作的溅射靶材包括钽靶铝靶钛靶铜靶等超高纯金属合金靶材主要应用于超大规模集成电路芯片液晶面板和太阳能等公司2018至2021年靶材业务营收稳步增长分别为46亿元58亿元77亿元和100亿元近四年CAGR为29332022年上半年公司靶材业务达到659亿元同比增长29公司产品紧跟国际前沿技术目前产品已进入5nm先端工艺并得到全球一流芯片制造商认可成功获取批量订单超高纯金属靶材营收规模持续上扬公司靶材业务毛利率稳定近五年均值为317波动较小受益于公司近年持续推进数字化工厂建设公司产品质量稳定性得到有效提升22年上半年公司靶材毛利率同比上升108pct靶材助力零部件双业务接力保持营收增长公司从事的半导体精密零部件与半导体靶材业务紧密相关二者材料结构机器加工表面处理及焊接等技术具有相同性公司基于半导体靶材的深厚积累抓住芯片制造产线设备的国产替代的发展机遇在靶材增速略微放缓的背景下推动零部件业务快速增长公司第二业务占比从2020年的5上升至2022上半年的17实现双业务驱动2018-2022H1公司靶材业务营收及毛利率情况百万2018-2022H1公司靶材业务营收占总营收入变化趋势百万120034401003231323123310003018424132940232100829802564184177800204665842160773773100865960065910584404004660200-10200-20020182019202020212022H120182019202020212022H1营收百万yoy毛利率靶材营业收入零部件其他资料来源WIND公司公告方正证券研究所10细分产品多面开花增速毛利齐上升从靶材细分产品来看公司靶材业务主要由钽靶及环2018-2022H1公司三大靶材业务营收情况百万元件铝靶和钛靶及环件构成公司上市以来始终践行1000扎根超高纯金属及溅射靶材领域的发展战略通过多900214年的研发投入和技术突破公司高纯金属溅射靶材已800实现规模化量产成为全球知名厂商供应商700157277营收增速方面2022年上半年三大靶材营收同比增600147500111211速均超30维持高速增长其中钽靶增速达到42518400101172毛利率方面公司铝靶应用于半导体芯片该领域对175300404靶材纯度要求极高技术难度且认证壁垒高近年公159340200298司凭借过硬实力通过厂商认证铝靶毛利快速上升10020622年上半年达到46钽靶及环件毛利此前略有下滑0但22年回升至25系原材料高纯钽国产替代占比增20182019202020212022H1加导致采购成本下降预计未来毛利将继续持续回升钽靶铝靶钛靶2018-2022H1公司三大靶材营收同比增长情况2018-2022H1公司三大靶材营收毛利变化情况5045504642414239404036403535363739363130333030282118252020232112101313105100020182019202020212022H120182019202020212022H1钽靶铝靶钛靶钽靶铝靶钛靶资料来源WIND公司公告方正证券研究所11硬实力产品定制化服务产品市场认可度高多年来公司不断加大研发投入积极推进技术突破2013及2017年公司占2019年全球半导体靶材市场竞争格局全球超高纯溅射靶材市场份额趋势图目前已掌握高纯溅射靶材生产的关键技术缩小了与全球龙头公司的技术差距获取了一定知名度市场竞争力也不断提高据公司公告及CMC数据2013年03913公司超高纯溅射靶材市场份额仅为039但到2017年公司在全球超高纯溅射靶材市场份额跃升至第二达到了13公司在进行科技攻关和产业化应用的同时也在不断根据下游客户对靶材质量技术等要求进行定制化服务积累了大量国内外优质客户包括台积电索尼和中芯国际等并获得多家公司的荣誉表彰其他公司江丰电子其他公司江丰电子杰出贡献奖最具潜力供应商靶材供应商综合评价第一名荣2016年度技术合作大奖誉绿色伙伴优秀供应商2016下半年靶材供应商评比第一名序号主要客户所在领域主要客户名称台积电TSMC联华电子UMC格罗方德GLOBALFOUNDRIES中芯国际SMIC索尼SONY东芝TOSHIBA瑞萨Renesas1半导体芯片领域美光Micron海力士Hynix华虹宏力HHGrace意法半导体STM英飞凌Infineon富士通半导体有限公司Fujitsu等2平板显示领域京东方BOE华星光电CSOT等3太阳能电池领域SunPower等资料来源CMC数据公司公告方正证券研究所12订单饱满推动产能快速扩张公司靶材产品稼动率及产销率近年来由于下游需求旺盛公司主要半导体靶材产品的产能利用率及产销率始终处于高位钽靶和钛靶近三年产能利用率分别超过140和13022年所有产品产销率均超89截止22年3月公司半导体靶材及环件产品在手订单共计314亿元公司亟需突破产能瓶颈扩大生产力为此今年7月公司通过定向增发将新建三个项目1宁波年产52万个超大规模集成电路用超高金属溅射靶材项目建设期4年26年达到满产2浙江海宁年产18万个铜靶及环件产品项目建设期4年26年达产3在宁波新建电子半导体材料研发中心为进一步提高公司技术实力和产品国际竞争力同时公司于2021年发行可转债所新建的两处平板显示用靶材项目基地预计明年达到满产状态随着上述两个募投项目的资金逐步投入及项目建设达产公司靶材产品产能不足的现状将得到有效缓解并推动公司营收规模持续增长市占率进一步提高募资名称所投项目新建产能达产时间发行可转债惠州基地平板显示用靶材项目269吨铝靶1440吨铜靶和137吨钼靶2023年达产2021武汉基地平板显示用靶材项目448吨铝靶1413吨铜靶和241吨钼靶定向增发宁波超大规模集成电路用靶材项目25万件铝靶2万件钛靶及环件05万件钽靶2026年达产2022年海宁超大规模集成电路用靶材项目18万件铜靶及环件资料来源WIND公司公告方正证券研究所13本土企业竞相发展欲破行业寡头格局受制于技术资金及人才等方面的竞争门槛全球高纯溅射靶材2019年全球半导体靶材市场竞争格局市场长期由日本美国等少数跨国企业控制呈寡头竞争格局以竞争门槛最高的半导体靶材市场为例据前瞻产业研究院整理20194年全球半导体靶材市场份额中家日美企业便占据全球20日矿金属80的市场份额主要系当时日美企业垄断先进提纯技术导致霍尼韦尔20当前本土企业以江丰电子阿石创有研新材子公司有研亿金30东曹等为代表市场影响力正逐步提升其中阿石创靶材产品主要普莱克斯应用于平板显示领域有研亿金靶材产品主要应用在半导体领域1020其他企业江丰电子的靶材产品技术优势较为突出与本土品牌靶材对比江丰电子产品综合毛利率均高于阿石创有研亿金等公司竞争对手名称成立时间靶材业务情况一家多元化金属制造企业拥有全系列溅射靶材技术积累深厚可以应用日矿金属日1905年半导体显示光伏等领域一家技术及制造业公司涉及电子材料靶材产品包括铝钛铜钽和合霍尼韦尔美1885年金靶材一家化工行业公司在其涉及的功能性材料领域涵盖有陶瓷ITO靶材和各东曹日1935年类金属靶材普莱克斯美1907年一家化工公司在靶材细分领域拥有各类高纯金属靶材以平板显示领域靶材为主产品有银靶金合金靶和陶瓷靶材ITO靶主要阿石创中2002年客户为京东方和群创光电等有研新材子公司以半导体集成电路靶材为主产品有高纯铜靶及部分贵金有研亿金中2000年属靶材主要客户有中芯国际台积电联华电子和北方华创资料来源前瞻产业研究院公司公告方正证券研究所14高纯金属溅射靶材市场前景广阔2016-2023年全球半导体领域靶材市场规模亿美元1半导体芯片可简化为硅片制造晶圆制造和芯片20封装三大环节而半导体靶材主要用于后两环节作为集成电路的核心材料之一半导体靶材成本占比相对固定市场规模预计同步增长据SEMI数据2315676564年全球晶圆制造和封装测试用靶材市场规模分别为11535255亿美元和64亿美元2随着技术创新迭代平板显105211114911示产业链呈现向大陆加速迁移趋势未来平板显示用999溅射靶材存在较大进口替代空间据HIS数据预计75625年中国该领域市场规模将达到350亿元在全球显示面板靶材中占比达到5773在太阳能电池领域0靶材用于薄膜晶体硅太阳能电池等我国已是全球20162017201820192020202120222023最大太阳能电池片及组件生产制造基地到2026年晶圆制造用溅射靶材封装测试用溅射靶材我国太阳能电池用靶材市场规模预计将达到83亿元2016-2025年中国平板显示用靶材市场规模亿元2016-2026年中国太阳能电池用靶材市场规模亿元4009080350833503007071602502485020052207401504417530371503210012120995010110020182019202020212022202320252016202020212022202320252026平板显示用靶材市场规模资料来源SEMI智研咨询前瞻产业研究院公司公告方正证券研究所15目录1国内溅射靶材龙头业绩稳定高增2靶材业务为基营收增长的强劲动力3半导体零部件业务绘制第二增长曲线4盈利预测及估值16半导体设备零部件种类众多国产化率较低占半导体设备原材料品类整体国产化率高端产品国产化率国际主要企业国内主要企业成本比重京鼎精密Ferrortec富创精密靖江先锋托伦斯机械类20-40相对较高较低Hana美国杜邦江丰电子神工股份英杰电气北方华创旗下北广电气类10-20低尚未国产化MKSAdvanceEnergy科技京鼎精密RorzeASML富创精密华卓精科新松机器机电一体类10-25中等尚未国产化BrooksAutomation人京仪自动化气体液体真超科林EdwardsEbara富创精密新莱应材正帆科技10-30中等尚未国产化空系统类MKS沈阳科仪北京中科仪器仪表类1-3低尚未国产化MKSHoriba北方华创Compart光学类55光刻和检测类较低尚未国产化ZeissCymerASML北京国望光学长春国科精密半导体零部件可分为工艺消耗零部件半导体设备零部件产业链和设备制造零部件工艺消耗零部件为耗材直接出售给晶圆厂商定期半导体设备零部IDMFoundry上游原材料半导体设备进行检修与更换设备制造零部件直件及封测用户接出售给设备厂用于制作设备腔体工艺零部件光刻设备英特尔管道和支撑结构等更换频率低于工其他金属和非结构零部件刻蚀设备台积电艺消耗零部件在半导体设备的成本金属原材料模组清洗设备三星构成中精密零部件的价值占比较高气体管路薄膜沉积设备中芯国际市场空间广阔铝合金材料真空系统类离子注入设备长川科技目前中国晶圆厂采购的零部件国产化传感器类机械抛光设备华峰测控率很低国内半导体设备厂商的核心仪器仪表类封测设备零部件也高度依赖进口资料来源公司公告华经产业研究院方正证券研究所17受益行业发展及国产化市场空间广阔国内市场发展迅速根据SEMI的数据2021年全球2020年全球前五大半导体零部件厂商排名半导体设备销售额为1026亿美元根据华经产业研究院数据全球半导体设备零部件从2018年的16125亿零部件收入规模名称国家主要产品美元增长到2021年的2565亿美元三年复合年增速为亿美元1673同期中国半导体设备零部件销售额从3275亿Zeiss德国光学镜头212美元增长至74亿美元复合年增速为3122远超全MFC射频电源球增速MKS美国14真空产品细分品类集中度高由于半导体零部件对精度和品质Edwards英国真空泵约138的严格要求就单一半导体零部件而言全球也仅有Advanced少数几家供应商可以提供产品这也导致了尽管半导美国射频电源612体零部件全行业集中度仅有50左右但细分品类的Energy集中度往往在80-90以上垄断效应比较明显Horiba日本MFC4942018-2022年全球及中国半导体设备销售额2018-2022年全球及中国半导体设备零部件销售额全球销售额亿美元中国销售额亿美元中国销售额亿美元全球销售额亿美元1400350123830951200300102625651000250800712200178645598161251495600150371927540029610074187467520013113550327533750020182019202020212022E20182019202020212022E资料来源公司公告华经产业研究院新型陶瓷方正证券研究所18进军半导体零部件领域打造第二增长曲线目前公司零部件产品主要用于超大规模集成电路芯片领域新开发的各种精密零部件产品已经广泛用于PVDCVD刻蚀机等半导体设备在多家芯片制造企业实现国产替代与半导体设备制造企业联合攻关并实现批量交货公司持续投入零部件制造工艺的研发投资强化装备能力建成了宁波余姚上海奉贤沈阳沈北三个零部件生产基地实现了多品种大批量高品质的零部件量产填补了国内零部件产业的产能缺口公司与国内半导体设备龙头北方华创拓荆科技芯源微上海盛美上海微电子屹唐科技等多家厂商形成战略合作新开发的各种半导体精密零部件产品加速放量公司零部件业务高速增长毛利水平较高2021年公司零部件销售额1841786万元同比增长23996营收占比1156毛利率23932022H1零部件销售额1765828万元同比增长14958营收占比1626毛利率2828传输腔体反应腔体膛体圆环类组件腔体遮蔽件保护盘体冷却盘体加部件热盘体气体分配盘气体缓冲盘等金属类不锈钢铝合金钛合金材料非金属类陶瓷石英硅高分子材料等超精密加工扩散焊氩弧焊真空钎焊表面处理阳极氧化等离子喷涂热制造工艺喷涂特殊涂层超级净化清洗等20018418176582016261501511561001054185027935339464002019202020212022H1零部件销售收入营收占比资料来源WIND公司公告方正证券研究所19