研究报告全文：1证券研究报告华安研究拓展投资价值新股系列之六中巨芯国产高端湿电子化学品行业领先者首席分析师王强峰S0010522110002联系人刘天文S00101220700312022年12月29日华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告2华安研究拓展投资价值核心观点湿电子化学品是微电子行业核心材料超净高纯和复配工艺是核心湿电子化学品细分种类众多按照组成成分不同可分为通用型和功能型通用型一般指超净高纯试剂其用量较大核心是超净高纯功能型一般指通过复配方法制备的各种配方类化学品其单位价值更高核心是复配工艺及参数SEMI将湿电子化学品分为5个等级G5级技术壁垒最高湿电子化学品主要用于半导体面板和光伏行业其中半导体级技术壁垒最高盈利能力最强对应SEMI分类中G4-G5级G5级湿电子化学品需求旺盛国内企业细分领域逐渐实现突破国产替代趋势形成2021年我国集成电路市场规模超万亿人民币湿电子化学品在国产化进程加速的背景下市场空间广阔根据ITTBANK的统计数据截止至2022年一季度我国已经投产的12英寸晶圆生产线合计月装机量11670万片8英寸晶圆生产线合计月装机量约9785万片从在建及规划的产能来看12英寸晶圆月产能达34333万片8英寸晶圆产线月产能仅10725万片未来12英寸大晶圆将成为行业主流结合上述数据我们测算出12英寸晶圆湿电子化学品消耗量在2026年左右将达到132万吨是现有产能消耗量的39倍而12英寸晶圆加工使用的湿电子化学品基本为G5级因此未来G5级高端湿电子化学品的需求将显著放量从供给端来看虽然目前我国高端湿电子化学品国产化率较低但国内企业奋起直追近年来各企业在相应的细分领域逐渐实现突破如江化微的硫酸氨水盐酸等产品已经突破至G5级中巨芯的氢氟酸电子级硫酸电子级硝酸等也已经达到G5级未来随着我国企业不断实现技术突破我国高端湿电子化学品有望真正完成国产替代实现从技术到产业化的转移中巨芯国产高端湿电子化学品细分领域领先者公司深耕湿电子化学品行业其中电子级氢氟酸硫酸硝酸均达到G5级电子级盐酸氨水氟化铵以及缓冲氧化物刻蚀液可达到G4级产品种类丰富且品质在行业领先目前已与SK海力士台积电中芯等多家知名的半导体企业建立合作关系同时公司拟上市募集资金投资建设196万吨超纯电子化学品项目一期届时公司产能规模将进一步扩大技术优势规模优势助力公司快速抢占高端湿电子化学品行业市场份额建议关注湿电子化学品及电子特气行业细分领域领先者中巨芯风险提示公司尚未盈利的风险客户认证风险公司主营业务整体毛利率尚低于同行业可比公司的风险原材料价格波动风险功能电子湿化学品开发与市场拓展风险敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告3华安研究拓展投资价值01湿电子化学品微电子行业核心材料技术壁垒高铸CONTENTS02需求半导体级需求旺盛国产替代空间大03供给国内高端产能不足细分领域逐渐实现突破04中巨芯国产高端湿电子化学品细分领域领先者敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告4华安研究拓展投资价值一微电子行业核心材料技术壁垒高铸湿电子化学品敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告5华安研究拓展投资价值11湿电子化学品种类丰富通用型需求占比大湿电子化学品细分种类众多按照组成成分不同可以将其分为通用湿电子化学品和功能性湿电子化学品通用湿电子化学品一般特指超净高纯试剂包括酸类如硫酸盐酸碱类如氨水氢氧化钾醇类如甲醇异丁醇等功能湿电子化学品一般特指通过复配方法制备的各种配方类化学品如光刻胶配套试剂中的显影液蚀刻液剥离液清洗液等通用型使用量大功能型单位价值高从使用量来看通用湿电子化学品远超功能湿电子化学品主要是由于超净高纯试剂主要是用于清洗过程使用范围覆盖整个晶圆且需要多次使用因此用量较大从单位试剂价值来看功能湿电子化学品在超净和高纯的基础上要注重试剂的功能性研发难度更高因此其单位价值远高于通用湿电子化学品图表1湿电子化学品按组分分类图表2通用湿电子化学品需求占比大细分品种需求量万吨需求占比需求合计万吨合计占比过氧化氢19761670氢氟酸18931600硫酸1811530硝酸16921430通用湿磷酸1029870电子化盐酸568480104358820学品氢氧化钾45380氨水438370异丙酮331280醋酸225190其他024020显影液半导体用379320蚀刻液半导体用319270功能湿显影液液晶面板用26220电子化13961180剥离液半导体用189160学品缓冲蚀刻液BOE142120其他106090资料来源中国电子材料行业协会前瞻产业研究院华安证券研究所资料来源中国电子材料行业协会前瞻产业研究院华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告6华安研究拓展投资价值12超净高纯和复配工艺是湿电子化学品核心超净高纯是通用湿电子化学品核心要素通用湿电子化学品主要作用为清洗剂被广泛应用于微电子光电子湿法工艺中其核心要素为超高洁净度和超低杂质含量因而它对原料纯化方法配方工艺容器生产设备环境控制测试和运输设备等都有极为严格的要求控制湿电子化学品中各种杂质的浓度成为考量湿电子化学品性能一项非常重要的指标复配工艺是功能湿电子化学品核心要素功能性湿电子化学品一般是建立在通用性湿电子化学品超净高纯的基础上通过各类不同的复配工艺来达到如蚀刻显影等不同的效果因此不同的原料和配方是功能性湿电子化学品的核心要素其更高的技术壁垒也赋予其更高的单位价值和毛利率图表3杂质含量对湿电子化学品性能影响大图表4湿电子化学制备工艺复杂杂质种类杂质的危害细分技术种类使用材料或方法硅片中的快扩散物质也是俘获中心影响元器件的AuPtFeNiCu可靠性和阈值电压导致低击穿和缺陷蒸馏亚沸蒸馏等温蒸馏减压蒸馏碱金属尤其NaK可造成元器件漏电造成低击穿制备工艺技术低温蒸馏升华气体吸收树脂交换影响化学气相淀积CVD工艺和钝化工艺导致外非金属离子F-Cl-延片层错增加膜处理等技术属于硅片中的浅能级杂质有扩散作用可影响电子PAsSbBAl等-组元素和空穴的数量PAsSb是N型杂质当过量时能使分析测试技术颗粒分析测试技术激光光散射法P型硅片反型BAl是P型杂质若过量也会反型造成光刻缺陷氧化层不平整影响制版质量影响发射光谱法原子吸收分光光度法等固体颗粒金属杂质分析测试技术等离子刻蚀工艺离子发射光谱法等水和化学试剂中的细菌能造成颗粒型缺陷和污染细细菌菌分解的有机酸会使水的电阻率降低非金属杂质分析测试技术离子色谱法水和化学试剂中的硅酸根会使磷硅玻璃起雾阈值电硅酸根压变化在等离子刻蚀工艺中SiO2会造成颗粒污染高密度聚乙烯HDPE聚四氟乙烯形成缺陷包装技术水和试剂中的TOC影响栅氧化的击穿电压造成水雾总有机碳TOCPTFE专业运输槽车等使氧化层厚度不均资料来源江化微招股说明书华安证券研究所资料来源赛瑞研究新材料在线华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告7华安研究拓展投资价值13湿电子化学品下游需求广泛半导体级技术壁垒高铸湿电子化学品分为5个等级G5级技术壁垒最高为了区分不同等级的湿电子化学品国际半导体设备和材料组织SEMI通过湿电子化学品中金属杂质含量控制粒径范围和颗粒个数等各项指标将湿电子化学品划分为G1-G5五个等级其中G5等级的湿电子化学品要求最高G1等级的湿电子化学品要求最低湿电子化学品用途广泛下游需求旺盛按照下游应用领域的不同湿电子化学品可分为半导体面板和太阳能光伏用湿电子化学品其中半导体级技术壁垒最高盈利能力最强对应SEMI分类中的G4-G5级尤其是随着晶圆厂新增产能不断落地叠加晶圆尺寸扩大到12英寸未来G5级湿电子化学品需求将快速增长图表5湿电子化学品技术指标及分类标准图表6湿电子化学品按下游需求分类应用环节行业特点盈利能力SEMI指标G1G2G3G4G5主要用于半导体集成电路前湿电子化学品用量大段的晶圆制造提纯清洗技术水平要求高且金属杂质gL10010101001半导体行业图层显影时刻及后端随着晶圆尺寸的增大最强的封装测试清洗溅射湿电子化学品用量增控制粒径m100505002黄光蚀刻等环节大湿电子化学品用量较主要用于平板显示制造工艺颗粒个数个mL25255供需双方协定大技术水平要求较平板显示行业环节的薄膜制程清洗光刻较强高尤其是高世代线适应IC线宽范围显影蚀刻等工艺环节1208-1202-06009-02009产品m主要用于太阳能电池板制造湿电子化学用量适中平板显示分平板显示集工艺的清洗制绒扩散制P-N应用领域分立器件集成电路高端集成电路太阳能电池板行业技术水平要求相对较一般立器件成电路结清洗蚀刻去磷硅玻低行业竞争激烈璃等环节资料来源SEMI中巨芯招股说明书华安证券研究所资料来源CNKI新材料在线华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告8华安研究拓展投资价值14湿电子化学品市场规模持续增长未来发展空间广阔2021年全球湿电子化学品市场规模达5428亿美元根据安集科技公告2021年全球湿电子化学品市场规模达到了5428亿美元相对于2018年5083亿美元增长6792018-2021年均复合增速为2212021年我国湿电子化学品市场规模达13094亿元3年均复合增速远超全球根据智研咨询的统计数据2021年我国湿电子化学品市场规模达到了13094亿元相比于2018年868亿元增长50852018-2021年均复合增速为1469远超同期全球湿电子化学品市场增速221随着我国集成电路显示面板和光伏行业的快速扩张和持续的产能转移我国湿电子化学品需求量将维持快速增长态势未来发展空间广阔图表7全球湿电子化学品市场规模亿美元图表8我国湿电子化学品市场规模亿元全球湿电子化学品市场规模亿美元我国湿电子化学品市场规模亿元601405012040100803060204010200020182019202020212018201920202021资料来源华经产业研究院安集科技公告华安证资料来源智研咨询华安证券研究所券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告9华安研究拓展投资价值二半导体级需求旺盛国产替代空间大需求敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告10华安研究拓展投资价值21集成电路面板光伏是拉动湿电子化学品需求的主要来源从需求量来看集成电路面板光伏三分天下根据中国电子材料行业协会的数据2021年我国湿电子化学品总需求为213万吨其中集成电路面板光伏行业的需求分别为70万吨78万吨和65万吨占比分别为3337和30呈现出三分天下的格局从市场规模来看集成电路和面板行业远超光伏根据中国电子材料行业协会的数据2021年我国湿电子化学品市场规模为131亿元其中集成电路面板光伏行业的市场规模分别为52亿元62亿元和17亿元占比分别为4047和13集成电路和面板行业市场规模远超光伏体现出集成电路和面板用湿电子化学品更高的附加值图表92021年中国湿电子化学品需求占比图表102021年中国湿电子化学品市场规模占比13303340集成电路集成电路显示面板面显示板太阳能光伏光伏太阳能4737资料来源中国电子材料行业协会华安证券研究所资料来源中国电子材料行业协会华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告11华安研究拓展投资价值22我国集成电路行业发展迅速但国产化率有待提升我国集成电路行业发展迅速产量和销售额均创历史新高根据国家统计局公布的数据2021年我国集成电路行业产量为359435亿块首次突破三千亿块大关2016-2021年年均复合增速高达22222021年同比增速更是高达3749从销售额来看2021年我国集成电路销售额为1045830亿元同比增长182002016-2021年年均复合增速达1926随着世界半导体产业链逐渐向中国转移预计未来我国集成电路产销量有望保持快速增长图表11我国集成电路年产量及增速万块图表12我国集成电路年销售额及增速亿元全国集成电路生产量YOY集成电路产业销售额YOY40000000401200030350000003510000253000000030800020250000002520000000206000151500000015400010100000001020005500000050000201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源iFinD国家统计局华安证券研究所资料来源iFinD国家统计局华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告12华安研究拓展投资价值22我国集成电路行业发展迅速但国产化率有待提升我国集成电路市场规模超万亿人民币但自给率仅1668根据ICInsights的统计数据2021年我国集成电路市场规模约1870亿美元折合成人民币超万亿规模市场空间广阔但是这一数据包含了外国及中国台湾公司在中国大陆投资的制造厂贡献的产值如果将这一部分剔除2021年中国大陆公司芯片制造产值仅312亿美元自给率只有1668从历年集成电路进出口数据来看我国集成电路行业仍然以进口为主供给和需求之间的差距较大据海关总署的数据2020年我国集成电路进口金额达到350036亿美元但出口仅为116603亿美元贸易逆差达23344亿美元且2021年贸易逆差有进一步扩大的趋势我国集成电路行业提高国产化率势在必行图表13我国集成电路市场及制造规模亿美元图表14我国集成电路历年进出口差额亿美元集成电路市场规模亿美元集成电路制造产值亿美元集成电路进口金额亿美元集成电路出口金额亿美元本土自给率贸易逆差亿美元200020500040001500153000100010200050051000000201620172018201920202021201620172018201920202021资料来源ICInsights华安证券研究所资料来源iFinD海关总署华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告13华安研究拓展投资价值23政策多方位扶植集成电路国产化进程有望加速政策多方位扶植集成电路行业国产化进程加速为了提升我国集成电路的自主研发能力降低对外依赖性我国自2014年开始陆续发布了一系列政策来扶植我国集成电路行业如2014年国务院发布的国家集成电路产业发展推进纲要明确提出到2020年要基本建成技术先进安全可靠的集成电路产业体系实现跨越式发展2021年财政部税务总局和海关总署联合发布关于支持集成电路产业和软件产业发展进口税收政策的通知提出对相关企业实行税收优惠政策我国正从全方位多角度发布政策共同推动集成电路行业的进步将有效拉动国产湿电子品的需求图表15中国集成电路产业相关政策政策发布部门出台时间主要内容通知明确了免征进口税的几种情况包括集成电路线宽小于65纳米的逻辑电路存储器生产企业以及线宽小于025微米的特色工艺集成电路生产企业进口国内不能生产或性能不能关于支持集成电路产业和软件产业发展进口税收政财政部海关总署税20213满足需求的自用生产性原料消耗品净化室专用建筑材料策的通知务局配套系统和集成电路生产设备配件集成电路线宽小于05微米的化合物集成电路生产企业和先进封装测试企业进口国内不能生产或性能不能满足需求的自用性原材料消耗品依托优质企业组建创新联合体或技术创新战略联盟开展协同工信部海关总署财关于加快培育发展制造业优质企业的指导意见20217创新加大基础零部件基础电子元器件集成电路等领域关政部商务部等六部键核心技术产品装备攻关和示范应用健全专门保护与商标保护相互协调的统一地理标志保护制度知识产权强国建设纲要2021-2035年国务院20219完善集成电路布局设计法规瞄准传感器量子信息网络通信集成电路等战略性前瞻领十四五数字经济发展规划国务院202112域提高数字技术基础研发能力完善5G集成电路新能源汽车人工智能工业互联网等重点供应链体系面向集成电路人工智能储能技术数字经济等关键领域加关于深入世界双一流大学和一流建设学科建设的若教育部财政部发改20221强交叉学科人才培养强化科教融合完善人才培育引进与团干意见委队平台项目耦合机制把科研优势转化为育人优势为做好2022年享受税收优惠政策的的集成电路企业或项目软关于做好2022年享受税收优惠政策的集成电路企业发改委20223件企业清单制定工作将有关程序享受税收优惠政策的企业或项目软件企业清单制定工作有关要求的通知条件和项目标准进行规范资料来源各政府部门官网华安证券研究所敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所证券研究报告14华安研究拓展投资价值24我国持续加大半导体设备投资联系多年蝉联榜首2021年中国半导体设备投资额达2962亿美元连续两年全球第一根据SEMI的数据2020年中国大陆半导体设备投资额为1872亿美元占当年全球半导体设备投资额的26排名全球第一首次超过中国台湾地区2021年中国大陆半导体设备投资额再一次创下历史新高全年投资额达2962亿美元较2020年增长5823全球投资额占比也由2020年的26上涨至29蝉联全球第一图表162020年全球各国半导体设备支出亿美元图表172021年全球各国半导体设备支出亿美元248344442644325365391872267618296229中国大陆中国大陆中国台湾788中国台湾75811韩国韩国日本日本北美北美欧洲欧洲其他249824其他160823171524249424资料来源SEMI华安证券研究所资料来源SEMI华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告15华安研究拓展投资价值25设备投资落地拉动晶圆产能扩张我国近两年计划新增晶圆厂全球第一中国大陆近两年计划新增晶圆厂8座与中国台湾并列第一根据SEMI统计数据显示2021年全球晶圆制造商将新建晶圆厂19座2022年再新建晶圆厂10座合计29座其中中国大陆两年内计划新建8座晶圆厂与中国台湾并列世界第一这些新建的晶圆厂以12寸300mm晶圆生产为主总数量达22座从区域来看预计中国大陆300mm晶圆市场份额在2025年将增加至23根据SEMI统计数据显示2021年中国大陆300mm前端晶圆厂产能市场份额为19根据目前的产能规划推测至2025年该比例将提升至23达到全球第二仅次于韩国图表182021-2022年全球新增晶圆厂数量图表19全球300mm晶圆产能区域占比预计2021202220212025E9308257206155410352010中国大陆中国台湾美国欧洲中东资料来源SEMI华安证券研究所资料来源SEMI华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告16华安研究拓展投资价值26各企业加大布局力度12英寸大晶圆产能成为主流我国12寸晶圆产线快速扩张规划产能达343万片月根据ittbank统计的全国晶圆装机数据显示截止至2022年1季度我国已经投产的12英寸晶圆生产线合计月装机量约11670万片已经投产的8英寸晶圆生产线合计月装机量约9785万片从在建及规划的产能来看截止至2022年1季度规划与在建的12英寸晶圆月产能达34333万片而在建和规划的8英寸晶圆产线月产能仅10725万片未来12英寸大晶圆将成为行业主流这将显著拉动高端湿电子化学品需求图表20我国12寸晶圆产能及扩建计划不完全统计万片月图表21我国8寸晶圆产能及扩建计划不完全统计万片月12英寸8英寸400120350100300802502006015040100205000现有产能万片月规划产能万片月现有产能万片月规划产能万片月资料来源ittbank华安证券研究所资料来源ittbank华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告17华安研究拓展投资价值26各企业加大布局力度12英寸大晶圆产能成为主流从企业端来看国内企业奋力追赶加速布局12英寸晶圆产能根据ittbank统计的企业晶圆数据来看我国企业正在加大布局力度规划的12英寸高端晶圆产能遥遥领先如紫光集团规划了60万片月产能中芯国际规划了47万片月产能合肥长鑫规划了375万片产能等随着我国国产12英寸晶圆产能的不断释放将有效拉动高端湿电子化学品尤其是国产产G5级湿电子化学品需求图表22我国12寸晶圆产能及扩建计划不完全统计万片月图表23我国8寸晶圆产能及扩建计划不完全统计万片月厂商当前产能万片月规划产能万片月SK海力士2030福建晋华06厂商当前产能万片月规划产能万片月格罗方德850TI成都50广州粵芯24海辰半导体1105合肥长鑫4375华虹半导体17818华虹半导体2516上海华力65115华润上华60积塔半导体50华微电子052晶合集成412积塔半导体60联电25赛莱克斯053三星2032上海先进230时代芯存0083士兰微416上海新进芯150台积电22士兰微718万国半导休57中航重庆微电子30武汉弘芯045中芯国际31155275武汉新芯514联电100矽力杰40芯恩034芯恩38英特尔44燕东微电子35长江存储530合计978510725中芯国际12947紫光集团060合计116734333资料来源ittbank华安证券研究所资料来源ittbank华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告18华安研究拓展投资价值27大晶圆对应先进制程芯片集成电路高端化带动高端湿电子化学品需求集成电路高端化发展趋势明显带动高端湿电子化学品需求12英寸晶圆的快速扩产对应集成电路行业的高度集成和高效低功耗发展方向即高端化趋势日益明显根据晶圆代工龙头台积电2020年和2021年的年报数据显示2020年台积电的收入结构中5nm晶圆的代工收入占比为82021年该项比例快速上升至19未来还有望继续提升而且台积电目前正在攻关2nm芯片制造关键技术有望在近两年将芯片制程从5nm时代带入到2nm时代随着芯片制程的快速升级对湿电子化学品的品质和数量都提出了更高的要求有望带动高端湿电子化学品需求快速增长图表24台积电2020年收入结构图表25台积电2021年收入结构7285纳米625纳米31937纳米27纳米210纳米510纳米516纳米16纳米20纳米720纳米93328纳米28纳米4045纳米4045纳米65纳米1165纳米1390纳米3190纳米0011013微米011013微米10015018微米14015018微米170资料来源iFinD华安证券研究所资料来源iFinD华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告19华安研究拓展投资价值28大晶圆对应先进制程芯片集成电路高端化带动高端湿电子化学品需求大晶圆和先进制程芯片将显著提升高端湿电子化学品用量预计2026年我国G5级湿电子化学品需求将达到132万吨根据中国产业信息网的数据12英寸的晶圆湿电子化学品消耗量约为23982吨万片是8寸晶圆消耗量的46倍6寸晶圆消耗量的79倍根据以上消耗数据结合ittbank和芯思想研究院统计的晶圆产能及扩张计划我们测算出12英寸晶圆湿电子化学品消耗量在2026年左右将达到132万吨是现有产能消耗量的39倍而12英寸晶圆加工使用的湿电子化学品基本为G5级湿电子化学品因此未来G5级高端湿电子化学品的需求将显著放量提前布局的企业有望充分收益图表262021年我国各尺寸晶圆湿电子化学品需求预计万吨图表272021年我国各尺寸晶圆湿电子化学品需求预计万吨现有产能消耗量万吨现有规划产能消耗量万吨401403512030100258020601540105200012英寸8英寸6英寸12英寸8英寸6英寸资料来源ittbank芯思想中国产业信息网华安证券研究所资料来源ittbank芯思想中国产业信息网华安证券研究所华安证券研究所证券研究报告20华安研究拓展投资价值29全球LCD面板产能持续向国内转移拉动国产湿电子化学品需求全球TFT-LCD面板出货稳步增长平均尺寸不断提升根据iFinD数据2016年全球TFT-LCD出货量为906亿片到2021年出货量积达到了1348亿片2016-2021年年均复合增速达827显示面板应用领域中电视占据了LCD出货面积近70的市场份额是跟踪显示面板出货量最为重要的指标之一目前电视面板的平均尺寸也在持续增长据中商产业研究院统计目前电视面板平均尺寸已从2016年的427寸增长至2019年的467寸平均每年增长133寸并有望在2022年达到504寸电视面板平均尺寸的不断增长也将带动电视面板出货面积不断提升进而带动全球TFT-LCD面板出货量稳步增长图表28全球TFT-LCD面板出货量百万片图表29全球电视面板平均尺寸不断提升TFT-LCD面板出货量百万片YOY全球电视面板平均尺寸寸16002552140020501200481510004680010446005424000200400-538201620172018201920202021201620192022E资料来源iFinD华安证券研究所资料来源中商产业研究院华安证券研究所华安证券研究所