核心观点：
　　富乐德是国内泛半导体设备精密洗净领先服务商。公司起源于日本Ferrotec全资子公司上海申和表面处理事业部，业务涵盖半导体设备洗净服务、显示面板设备清洗服务及半导体设备维修服务三大板块，是中国大陆地区少数具有国际竞争力的泛半导体设备精密洗净服务提供商。2022Q1-3公司实现营收4.63亿元，YoY+11.3%，实现稳健增长。
　　技术升级+产能转移驱动本土精密洗净市场成长。精密洗净是泛半导体制造中不可或缺的环节，下游半导体、显示面板的产能、工艺变化对精密洗净市场有较明显的影响。目前，半导体领域向先进制程方向演化、显示面板领域AMOLED渗透率不断提升，下游产品技术升级迭代对精密洗净提出了更高的要求；同时，晶圆制造、显示面板产能持续向中国大陆转移，国内精密洗净市场有望迎来巨大的新增需求。富乐德、世禾科技等本土精密洗净厂商在技术覆盖程度、工厂地域分布、客户资源等方面有较强的实力，有望深度受益于本土精密洗净市场的蓬勃发展。
　　一站式洗净服务强化优势，优质大客户资源助力成长。公司在泛半导体精密洗净领域有超过二十年的研发投入和工艺积累，已具备为客户提供一站式全面洗净服务解决方案的能力。凭借先进的技术、丰富的产品线和稳定的服务质量，公司已在晶圆代工和显示面板制造领域树立了优质品牌形象，与英特尔、台积电、中芯国际、华虹、三星电子、京东方、华星光电、天马等头部客户建立了合作关系，确立并逐步强化国内半导体和显示面板设备精密洗净服务领域的领先优势地位，具有较广阔的成长空间和较强的发展潜力。
　　盈利预测与投资建议。预计公司2022-2024年分别实现归母净利润0.89/1.03/1.16亿元。参考可比公司估值，给予公司2023年27~30倍PE估值，对应合理价值为8.22~9.13元/股。
　　风险提示。技术迭代风险;客户集中度较高风险;产业政策变化风险

研究报告全文：TablePage新股分析半导体与半导体生产设备证券研究报告富乐德TableTitle301297SZ合理价值区间TableNewStockPrice822913元股报告日期2022-12-28深耕精密洗净二十余载产业龙头厚积薄发发行前财务数据TableNewStockIssueBTableSummary核心观点每股净资产元252资产负债率293富乐德864480是国内泛半导体设备精密洗净领先服务商公司起源于日本ROE137全资子公司上海申和表面处理事业部业务涵盖半导体设备FerrotecROA111洗净服务显示面板设备清洗服务及半导体设备维修服务三大板块是流动比率倍165中国大陆地区少数具有国际竞争力的泛半导体设备精密洗净服务提供速动比率倍118商公司实现营收亿元实现稳健增长2022Q1-3463YoY113技术升级产能转移驱动本土精密洗净市场成长精密洗净是泛半导体TableNewStockIssue发行资料制造中不可或缺的环节下游半导体显示面板的产能工艺变化对精发行股数万股8460密洗净市场有较明显的影响目前半导体领域向先进制程方向演化发行前股本万股25379显示面板领域AMOLED渗透率不断提升下游产品技术升级迭代对精发行日期2022-12-21密洗净提出了更高的要求同时晶圆制造显示面板产能持续向中国上市日期大陆转移国内精密洗净市场有望迎来巨大的新增需求富乐德世禾东方证券承销保荐有限科技等本土精密洗净厂商在技术覆盖程度工厂地域分布客户资源等主承销商公司光大证券股份有限方面有较强的实力有望深度受益于本土精密洗净市场的蓬勃发展公司一站式洗净服务强化优势优质大客户资源助力成长公司在泛半导主要股东上海申和投资有限公司体精密洗净领域有超过二十年的研发投入和工艺积累已具备为客户战略配售网下发行提供一站式全面洗净服务解决方案的能力凭借先进的技术丰富的产发行方式网上发行相结合品线和稳定的服务质量公司已在晶圆代工和显示面板制造领域树立了优质品牌形象与英特尔台积电中芯国际华虹三星电子京分析师TableAuthor王亮东方华星光电天马等头部客户建立了合作关系确立并逐步强化国SAC执证号S0260519060001内半导体和显示面板设备精密洗净服务领域的领先优势地位具有较SFCCENoBFS478广阔的成长空间和较强的发展潜力021-38003658盈利预测与投资建议预计公司2022-2024年分别实现归母净利润gfwanglianggfcomcn089103116亿元参考可比公司估值给予公司2023年2730倍分析师耿正PE估值对应合理价值为822913元股SAC执证号S0260520090002风险提示技术迭代风险客户集中度较高风险产业政策变化风险021-38003660盈利预测gengzhenggfcomcnTableFinance2020A2021A2022E2023E2024E请注意耿正并非香港证券及期货事务监察委员会的注册营业收入百万元483569610691781持牌人不可在香港从事受监管活动增长率50017972133129EBITDA百万元130144152181206联系人TableContac焦鼎ts021-38003658归母净利润百万元768889103116jiaodinggfcomcn增长率73115617153126EPS元股030035026030034市盈率x-----ROE138137626670EVEBITDAx-----数据来源公司财务报表广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明128TablePageText富乐德新股分析目录索引一富乐德国内泛半导体设备精密洗净领先服务商5一深耕泛半导体精密洗净延伸布局业态完善5二FERROTEC为控股股东半导体制造隐形冠军控股助力公司成长6三营收持续稳健增长半导体业务发展势头良好7二精密洗净行业泛半导体制造必要需求技术升级产能转移驱动本土精密洗净市场成长8一精密洗净是泛半导体制造过程中必不可少的需求8二技术升级与产能转移双重驱动国内泛半导体设备精密洗净市场成长空间广阔11三富乐德世禾科技为中国大陆综合竞争力较强的精密洗净厂商13三成长逻辑一站式洗净服务强化优势优质大客户资源助力成长15一持续丰富业务布局一站式精密洗净服务解决方案优势显著15二注重技术积累与研发投入技术实力综合评分位于国内行业前列16三大客户资源助力公司长期稳健发展市场影响力和市占率逐步提升18四募投项目扩展深化公司现有业务进一步强化公司核心竞争力19四盈利预测和投资建议22五风险提示25识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明228TablePageText富乐德新股分析图表索引图1公司主营业务发展历史5图2公司业务布局概览6图3公司股权结构截至2022年12月22日6图42018-2022H1公司营业收入变化情况7图52018-2022H1公司盈利能力变化情况7图62019-2022H1年公司营收结构8图72019-2022H1年公司分业务毛利率情况8图8逻辑器件工艺的演进9图9世代线玻璃基板尺寸对应表9图10集成电路制造工艺中主要涉及的设备类型10图112020年中国大陆半导体领域精密洗净服务细分市场占比10图12LCDOLED显示技术主要工艺制程10图132020年中国大陆面板领域精密洗净服务细分市场占比10图14不同制程工艺所需工序情况11图15不同制程工艺投资成本情况11图162021-2023年全球新建晶圆厂数量情况单位座11图172016-2025年全球AMOLED渗透率按产能面积12图181990-2020年全球LCD产能面积占比变化12图192020-2025年全球泛半导体零部件清洗市场规模亿人民币13图20集成电路制造工艺及公司洗净服务绿色框内所涉及的环节16图21TFT-LCD制造工艺及公司洗净服务黄色框内所涉及的环节16图22OLED制造阵列工序及公司洗净服务黄色框内所涉及的环节16图232018-2022Q3公司研发费用及研发费用率17图2420192022H1公司研发人员数量人17图25国内泛半导体精密清洗领域主要供应商技术情况18图26国内主要洗净需求主体的洗净业务量19图272019-2022H1前五大客户营收占比19图282020年国内泛半导体设备洗净市场竞争格局19表1泛半导体产品制造过程中的沾污杂质介绍8表2常见的精密洗净方法9表3泛半导体精密洗净行业主要供应商情况14表4公司可提供的清洗服务情况15表5主要核心技术情况17表6公司主要客户情况18表7公司募集资金投资安排20识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明328TablePageText富乐德新股分析表8陶瓷熔射及研发中心项目募集资金投资安排20表9陶瓷热喷涂产品维修项目募集资金投资安排20表10研发及分析检测中心扩建项目募集资金投资安排21表11富乐德收入毛利拆分预测百万元23表12富乐德可比公司PE估值情况24识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明428TablePageText富乐德新股分析一富乐德国内泛半导体设备精密洗净领先服务商一深耕泛半导体精密洗净延伸布局业态完善安徽富乐德科技发展股份有限公司成立于2017年是一家泛半导体领域半导体显示面板等设备精密洗净服务提供商公司前身为上海申和表面处理事业部是国内最早从事半导体设备洗净服务业务的团队之一2003年上海申和表面处理事业部成功量产ETCH蚀刻DIFF扩散LITHO光刻等半导体零件清洗和8英寸350nm制程设备清洗2005年团队开始清洗TFT部件在显示面板设备洗净领域取得突破2015年后伴随中国大陆泛半导体行业进入快速发展期公司泛半导体设备洗净业务规模亦迅速扩大已发展为国内泛半导体领域设备洗净技术及洗净范围洗净标的物品类领先的服务企业之一图1公司主营业务发展历史数据来源公司招股书广发证券发展研究中心聚焦半导体和显示面板两大领域延伸布局三大业务板块公司以高质量精密洗净服务为核心不断延伸业务范围已逐渐形成综合的泛半导体设备精密洗净服务业态涵盖半导体设备洗净服务显示面板设备清洗服务和半导体设备维修服务三大业务板块在半导体领域公司业务覆盖PVDCVD扩散光刻和蚀刻等设备的清洗和衍生增值服务并提供半导体设备维修服务在显示面板领域公司可提供TFT设备洗净OLED设备洗净陶瓷熔射再生和阳极氧化再生等多种服务凭借较强的业务拓展能力先进的技术和丰富的服务经验公司已发展为中国大陆地区少数具有国际竞争力的泛半导体设备精密洗净服务提供商服务得到众多国内外主流泛半导体厂商的认可并取得良好的市场口碑识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明528TablePageText富乐德新股分析图2公司业务布局概览数据来源公司招股书广发证券发展研究中心二Ferrotec为控股股东半导体制造隐形冠军控股助力公司成长公司无实际控制人Ferrotec为间接控股股东截至2022年12月22日上海申和直接及间接共控制富乐德7881的表决权为公司控股股东同时上海申和为日本上市公司Ferrotec日本磁性技术控股股份有限公司的全资子公司而Ferrotec的股权较为分散不存在控股股东和实际控制人进而使得公司不存在实际控制人图3公司股权结构截至2022年12月22日数据来源Wind广发证券发展研究中心Ferrotec为半导体制造隐形冠军产业积淀深厚助力富乐德成长Ferrotec成立于1980年是日本JASDAQ上市公司Ferrotec是半导体用石英器件硅器件陶瓷器件CVD-SiC器件等细分市场的全球头部供应商产品广泛应用于应用材料等龙头半导体设备厂商和全球主要晶圆制造厂商具有深厚的产业积淀和客户资源Ferrotec控股富乐德有助于形成较好的产业协同和客户资源复用助力富乐德的长期稳健成长识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明628TablePageText富乐德新股分析三营收持续稳健增长半导体业务发展势头良好营收规模稳健增长盈利能力较为稳定2018-2021年公司收入规模实现稳定增长营收分别为135322483和569亿元年均复合增长率为615公司营收持续增长一方面得益于国内外泛半导体产业的高速发展特别是国内产能的逐步提升为本土相关生产设备的精密洗净带来较大市场需求另一方面也由于公司正处业务快速发展期随着各新建生产基地投产公司设备洗净服务能力不断增强收入规模亦均增长较快2019-2021年公司主营业务毛利率和净利率受会计准则调整新品初步导入和市场竞争加剧的影响略有下降未来伴随公司新品持续放量高制程清洗的增加和规模效应的逐渐显现公司盈利水平有望继续保持稳定图42018-2022H1公司营业收入变化情况图52018-2022H1公司盈利能力变化情况6001601006014050080501204040010060303008040602020020401010020000020182019202020212022H120182019202020212022H1归母净利润百万元左轴净利率右轴营业收入百万元左轴YoY右轴毛利率右轴数据来源Wind广发证券发展研究中心数据来源Wind广发证券发展研究中心设备洗净服务贡献主要营收半导体领域业务发展势头良好公司主营业务结构较为稳定主要来自半导体及显示面板领域设备洗净服务2019-2021年二者合计占收入比重达70以上其中受国内半导体厂商开工率充足清洗服务量上升的驱动公司半导体设备洗净服务业务收入占比已由2019年的3013上升至2022H1的4672毛利率已由2019年的3288上升至2022H1的4683发展势头良好同时伴随公司半导体设备维修服务即HS翻新服务品质逐步得到市场认可该业务收入规模亦呈快速增长态势占比已由2019年的1273上升至2022H1的1892受市场格局竞争和公司业务拓展影响公司显示面板设备清洗服务板块毛利率有所下降未来随着公司进一步优化业务结构逐步进入稳定生产阶段该项业务盈利能力有望逐渐趋于稳定识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明728TablePageText富乐德新股分析图62019-2022H1年公司营收结构图72019-2022H1年公司分业务毛利率情况60100508040603040202010002019202020212022H12019202020212022H1半导体设备洗净服务显示面板设备清洗服务半导体设备洗净服务显示面板设备清洗服务HS翻新服务其他HS翻新服务数据来源公司招股书广发证券发展研究中心数据来源公司招股书广发证券发展研究中心二精密洗净行业泛半导体制造必要需求技术升级产能转移驱动本土精密洗净市场成长一精密洗净是泛半导体制造过程中必不可少的需求精密洗净服务是工业清洗行业的重要分支工业清洗指工业产品或零部件在生产中表面受物理化学或生物作用而形成污染物或覆盖层去除这些污染物或覆盖层使其恢复原表面状态的过程随着生产的发展和科学的进步在工业清洗领域不断有专门化的新洗净技术出现精密洗净服务随之逐步发展起来精密洗净意味着按照非常严格的标准进行清洗对剩余颗粒或其他污染物容忍度非常低颗粒尺寸小于03微米通常在环境严格控制的洁净室进行清洁表1泛半导体产品制造过程中的沾污杂质介绍主要污染物来源主要危害颗粒环境其他工艺工程中产生影响后续光刻干法刻蚀工艺造成器件短路自然氧化层环境影响后续氧化沉积工艺造成器件电性失效金属污染环境其他工艺工程中产生影响后续氧化工艺造成器件电性失效有机物干法刻蚀副产物环境影响后续沉积工艺造成器件电性失效数据来源公司招股书广发证券发展研究中心根据清洗方法的不同精密洗净可分为物理清洗和化学清洗物理清洗是指利用力学声学光学电学热学的原理依靠外来能量的作用如机械摩擦超声波负压高压冲击紫外线蒸汽等去除物体表面污垢的方法化学清洗是指依靠化学反应的作用利用化学溶剂清除物体表面污垢的方法在实际应用过程中通常将两者结合起来使用以获得更好的洗净效果识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明828TablePageText富乐德新股分析表2常见的精密洗净方法序号名称内容化学溶剂清洗是指把硝酸氢氧化钾双氧水氨水等按照技术要求配制成相应浓度的溶液然后把零部件放在清洗槽1化学溶剂清洗内浸泡以去除表面金属膜质熔射是指利用热源将金属或非金属材料进行熔化并以一定速度喷射到基体表面形成涂层的方法在操作过程中若有需2熔射涂层要对零部件表面进行喷铝增加表面粗糙度将要清洗的设备器件挂在阴极或阳极上置于电解液中当通以直流电时由于极化作用金属与电解质溶液的界面张力3电解法清洗降低溶液渗透到工件表面的污物下面界面上起氧化或还原作用并产生大量的气泡当气泡聚集形成气流从污物与金属的间隙中溢出时起鼓动和搅拌作用使污物从工件表面上脱落达到退除污物及清洗表面的目的分为水蒸气清洗和溶剂蒸气清洗两种水蒸气清洗主要利用蒸汽的热气流蒸发到设备器件的表面并充分与设备器件表4蒸气法清洗面接触水蒸气温度高有一定压力和冲击力所以有一定的清洗效果溶剂蒸气清洗则是一种用有机溶剂蒸发蒸气进行清洗的方法由于溶剂的温度高且蒸发时形成气流把污渍溶解并带走纯水清洗和高压纯水清洗是指把零部件放在纯水清洗槽内浸泡以去除产品内部可能残留的药液成分高压水洗是指高压水洗枪吹扫零5水洗部件表面去除零部件表面具有一定粘附力的颗粒熔射灰粉尘等超声波清洗是指在浸泡清洗工件的液体中发射超声波使液体产生超声波振荡液体内部某一瞬间压力突然增大或突然减小这样不断地反复进行当压力突然减小时溶液内会产生许多真空的很小的空穴溶解在溶液内的气体被吸入6超声波清洗空穴内形成气泡小气泡形成后由于压力突然增大而被压破并产生冲击波这种冲击波又能使金属表面的污物氧化皮等在界面上受到剥离并脱离工件表面达到比一般除污方法快的清洗效果数据来源公司招股书广发证券发展研究中心泛半导体精密洗净需保持与泛半导体产业工艺的协同发展具有技术壁垒高更新迭代快的特点在半导体和显示面板等泛半导体产品制造过程中通过精密洗净来进行有效的污染控制是保证和提高产品良率的必要条件同时泛半导体制造工艺的技术进步反过来也会推动泛半导体专用设备的技术革新从而带动上游设备清洗服务提供商洗净技术工艺的不断提升体现为一代器件一代设备一代洗净工艺例如在半导体制造中颗粒必须小于最小器件特征尺寸的一半大于这个尺寸的颗粒会引起致命缺陷因此芯片尺寸及线宽的不断缩小需要洗净技术控制的污染物颗粒更小洁净度控制更高在面板制造中面板从小尺寸低世代向大尺寸高世代方向发展也对精密洗净厂商的大尺寸洗净能力提出更高要求图8逻辑器件工艺的演进图9世代线玻璃基板尺寸对应表数据来源东京电子官网广发证券发展研究中心数据来源CNKI贾申姜宁显示面板市场竞争现状分析广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明928TablePageText富乐德新股分析定期对半导体设备洗净是芯片制造必不可少的环节精密洗净服务覆盖其中晶圆制造的七大工艺步骤半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备在生产过程中半导体设备部分零部件表面会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染为确保生产功效定期对半导体设备进行洗净是芯片制造过程中必不可少的环节应用于集成电路领域的设备通常分为前道工艺设备晶圆制造和后道工艺设备封装测试两大类目前仅晶圆制造设备为洗净服务的对象在前道晶圆制造中共有七大工艺步骤氧化扩散光刻刻蚀离子注入薄膜生长清洗与抛光金属化对应的专用设备主要包括氧化扩散设备光刻设备刻蚀设备清洗设备离子注入设备薄膜沉积设备机械抛光设备等图10集成电路制造工艺中主要涉及的设备类型图112020年中国大陆半导体领域精密洗净服务细分市场占比其他10离子注入10刻蚀含阳极氧化陶瓷熔射45薄膜35数据来源公司招股书广发证券发展研究中心数据来源芯谋研究广发证券发展研究中心精密洗净服务是显示面板制造的必备环节覆盖三大工艺步骤TFT显示面板专用设备泛指基于TFT薄膜晶体管作为驱动单元发展起来的用于生产各类显示面板类产品所需的生产设备与半导体产品生产类似TFT面板生产过程中其生产设备零部件表面也会被污染定期对主要生产设备进行洗净也是TFT面板制造的必备环节目前主流面板产品有LCD和OLED两种类型其生产工序可分为三大步骤TFT阵列cell成盒后端组装所对应的专用设备主要包括蒸镀设备OLED光刻设备刻蚀设备清洗设备离子注入设备等图12LCDOLED显示技术主要工艺制程图132020年中国大陆面板领域精密洗净服务细分市场占比其他15刻蚀含阳极氧离子注入化陶瓷熔射1040薄膜35数据来源公司招股书广发证券发展研究中心数据来源芯谋研究广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1028TablePageText富乐德新股分析二技术升级与产能转移双重驱动国内泛半导体设备精密洗净市场成长空间广阔集成电路向先进制程方向演进洗净服务市场有望量价齐升伴随集成电路产业向先进制程方向演进晶圆生产制造呈现工艺节点缩小结构立体化及工艺复杂化的发展趋势这一方面使得相关工序步骤大幅增加根据SEMI数据20纳米工艺所需工序约为1000道而7纳米工艺所需工序已超过1500道工艺的复杂带动半导体设备精密洗净服务市场的需求量增长另一方面半导体专用设备向高精密化与高集成化方向发展对生产过程中的污染控制要求提出更高的需求半导体领域洗净服务的投入及重要性上升相应的洗净服务价格亦有望提高图14不同制程工艺所需工序情况图15不同制程工艺投资成本情况所需工序20nm约1000道14nm110010nm13007nm1500数据来源SEMI广发证券发展研究中心数据来源公司招股书IBS广发证券发展研究中心国内半导体设备自主化进程已开启为国内半导体精密洗净服务带来成长机遇目前中国大陆正在承接第三次半导体产业转移根据国际半导体协会SEMI的统计数据全球半导体行业将在2021至2023年间开始建设的84个大规模芯片制造工厂中预计中国大陆新建芯片制造工厂数量20座多于其他地区由于海外设备对华禁售持续升级本土晶圆厂将有望加速国产设备导入认证过程国产设备的成长发展将使国内泛半导体精密洗净服务企业将有更多机会更早阶段参与到客户的技术更新和设备引进中从而迎来更多市场机会图162021-2023年全球新建晶圆厂数量情况单位座25202018171514106530中国大陆美洲欧洲中东地区中国台湾日本东南亚韩国数据来源SEMI广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1128TablePageText富乐德新股分析在新型显示技术驱动下显示面板领域洗净服务具有长期成长动能未来面板行业AMOLED渗透率有望不断提升而AMOLED半导体显示面板生产和组装的精度要求较高达到微米级产品品质要求日益严格对配套提供洗净服务企业的技术和工艺也提出更高要求加速推动洗净技术的迭代更新有望带来洗净服务企业经济效益提升同时随着显示技术革新和产品迭代下游潜在洗净设备范围逐步扩大小间距LEDMiniLEDMicroLED等高密度LED显示屏产品对显示响应速度液晶屏幕厚度显示视角等技术要求较高上述特点决定其对生产过程洁净度设备污染控制要求较高相关易受污染生产设备有望成为未来洗净服务企业的服务对象图172016-2025年全球AMOLED渗透率按产能面积100905005306007108209301050115012701380807060509500947094009290918090708950885087304086203020100201620172018201920202021E2022E2023E2024E2025EAMOLEDTFT-LCD数据来源集微网赛迪顾问广发证券发展研究中心国产厂商领跑全球LCD行业为国内精密洗净服务企业带来更多市场机会在显示面板领域伴随着韩国厂商LG显示和三星显示SDC相继退出LCD产业预示着在日本韩国和中国之间多年的屏幕竞争终于落下了帷幕当前京东方等国产厂商领跑全球LCD行业面板产能大规模向中国大陆转移未来大陆全球市场份额有望不断追赶韩系厂商国内安卓系终端客户不断增长的趋势也为大陆显示面板厂商提供了更多增量有望带动本土产业链全面崛起为面板设备的国产化以及下游设备清洗服务带来历史机遇图181990-2020年全球LCD产能面积占比变化1001059015302925803670353605235050909542404630504320252010150551990199520002005201020152020日本韩国中国大陆中国台湾其他数据来源集微网Statista赛迪顾问广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1228TablePageText富乐德新股分析技术迭代产能转移与终端需求增长等多重因素驱动下国内精密洗净服务市场规模空间广阔在物联网人工智能汽车电子云计算大数据和安防电子等新兴领域强劲需求的带动下全球泛半导体行业市场规模不断扩大精密洗净服务作为这些应用行业中不可或缺的必要环节将直接受益于其持续强劲的市场需求同时集成电路和显示面板产业技术不断更新迭代精密洗净服务的需求量和价值量持续提升并伴随中国大陆下游产能的持续增加国内泛半导体精密洗净行业具备广阔的成长空间根据芯谋研究数据2020年国内泛半导体零部件清洗市场总计26亿元人民币预计到2025年将增加到434亿元年均复合增速达到108图192020-2025年全球泛半导体零部件清洗市场规模亿人民币25234201511310887371495424020202025OLEDLCD8吋12吋数据来源芯谋研究广发证券发展研究中心三富乐德世禾科技为中国大陆综合竞争力较强的精密洗净厂商技术覆盖程度工厂区域布局与客户资源是衡量精密洗净厂商核心竞争力的重要指标半导体和显示面板生产设备类型多样不同设备运行中产生的冗余物所需要的洗净技术有明显区别这对精密洗净厂商的洗净技术覆盖程度带来了较高的要求精密洗净业务包含较多的对客户现场服务行业具有明显的区域性和服务半径限制精密洗净厂商通过多区域布局才能辐射服务不同地区的下游客户此外精密洗净行业没有统一的洗净标准客户端的合作认可是精密洗净厂商综合实力最直接的体现因此在精密洗净行业内厂商的技术覆盖程度工厂区域布局客户资源是衡量厂商核心竞争力的重要指标海外龙头在中国大陆布局较少富乐德与世禾技为中国大陆竞争力较强的精密洗净厂商QuantumCleanKoMiCo和PentagonTechnologies为全球行业领先的精密洗净厂商其中QuantumClean和PentagonTechnologies在中国大陆尚未自行开展设备洗净服务业务KoMiCo以高美可科技无锡有限公司为服务实施主体主要配套海力士在中国大陆市场中富乐德和世禾科技是技术覆盖面较为全面工厂布局广下游客户资源丰富的精密洗净厂商综合竞争实力较强其余厂商则存在主要客户工厂分布和技术覆盖较为单一的特点识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1328TablePageText富乐德新股分析表3泛半导体精密洗净行业主要供应商情况公司技术实力区位布局大客户资源为全球泛半导体制程组件洗净再生及分析在中国大陆尚未自行开展设备洗QuantumClean-检测行业领先者净服务业务在半导体陶瓷熔射半导体阳极氧化方面处国内主要以高美可科技无锡有KoMiCo海力士三星于技术领先地位限公司为服务实施主体为半导体制药微电子和太阳能行业提供在中国大陆尚未开展设备洗净服PentagonTechnologies关键制造支持服务微污染检测和维护的领-务业务先供应商应用材料泛林集团爱发科业务范围覆盖半导体刻蚀非刻蚀面板刻蚀已建设天津大连内江铜东京电子英特尔台积电中富乐德非刻蚀领域在半导体非刻蚀和面板非刻蚀陵上海广州六大生产基地芯国际华虹半导体三星电领域中的竞争优势较明显生产基地服务辐射范围较广子京东方华星光电天马半导体已量产7nm半导体制程TFT洗净在深圳及其周边的华南地区优势世禾科技京东方台积电联电技术在国内也处于前列较为明显具有较强的蚀刻技术水平在技术管理方科秉电子工厂布局较少中芯国际华虹集团面都有较强竞争力南京弘洁蚀刻洗净技术较强国内目前仅一家工厂台积电应友光电以TFT业务为主无半导体洗净业务在上海安徽四川设有工厂京东方华菱科技专攻半导体蚀刻技术蚀刻技术较为领先在国内仅一家工厂东京电子中芯国际华虹集团正在积极推进半导体业务生产高芯众科主要在TFT领域合肥京东方规模逐步扩大数据来源公司招股书芯谋研究广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1428TablePageText富乐德新股分析三成长逻辑一站式洗净服务强化优势优质大客户资源助力成长一持续丰富业务布局一站式精密洗净服务解决方案优势显著持续拓展业务能力可提供一站式设备精密洗净服务公司是国内最早从事精密洗净服务的企业之一长期专注于泛半导体领域设备精密洗净服务并持续进行业务实践与服务拓展半导体和面板设备洗净服务不断向高制程和高世代设备洗发展同时逐渐拓展了陶瓷熔射半导体设备维修氧化加工业务等精密洗净衍生增值业务已具备为客户提供一站式设备精密洗净服务解决方案的能力表4公司可提供的清洗服务情况服务名称具体服务服务简介为半导体制造企业设备提供定期洗净服务包含TF部门Thinfilm薄膜的PVDCVD薄膜沉半导体设备清洗积设备Diffusion扩散部门的扩散设备光刻部门的设备ETCH蚀刻部门的设备等集成电路制造企业核心设备的洗净服务为TFT液晶面板制造企业设备提供定期洗净服务包含CF部门ColorFilter彩色滤光片的精密洗净服务ITOSputter连续式真空溅镀薄膜沉积设备Array部门的PVDSputterPVD溅射薄膜沉积设TFT设备清洗备CVD薄膜沉积设备DryEtch干法蚀刻部门的干刻刻蚀设备等液晶面板制造企业核心设备的洗净服务为OLED面板制造企业设备提供定期清洗再生服务包含蒸镀部门的蒸镀机设备IMP部门的OLED设备清洗离子注入设备等核心设备的洗净服务为干刻刻蚀设备零部件提供表面阳极氧化加工处理以抵抗刻蚀过程中机台刻蚀气体的腐蚀保氧化加工再生护腔体核心部件减少刻蚀副产物的污染高纯耐腐蚀陶瓷涂层作为保护层在刻蚀设备中具有广泛的应用包括半导体刻蚀腔体内内衬精密洗净衍生增值陶瓷熔射再生钟罩静电吸盘气体分配盘等关键零部件TFT刻蚀腔体中的陶瓷板内壁版上部电极服务下部电极等重要零部件另在PVDCVD的腔体中也有少量的应用半导体设备维修维修服务是为半导体CMP设备研磨头进行拆解清洗配件更换维修再生以及测试服务HS翻新服务数据来源公司招股书广发证券发展研究中心在半导体装备领域公司已形成除光刻机外的其他各类半导体设备的成熟清洗方案公司在半导体设备领域的服务范围广泛集成电路制造过程中的氧化扩散扩散炉氧化炉外延生长设备光刻溶胶显影设备涂胶设备刻蚀介质金属边缘刻蚀设备离子注入薄膜生长金属沉淀设备介质层沉积设备原子层沉积设备电镀设备机械抛光等设备均系公司洗净服务对象几乎涵盖集成电路23工序的生产设备定期维护形成了除光刻机外的其他各类半导体生产设备的成熟清洗工艺识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1528TablePageText富乐德新股分析图20集成电路制造工艺及公司洗净服务绿色框内所涉及的环节数据来源公司招股书广发证券发展研究中心在显示面板设备洗净领域公司在设备洗净和洗净再生两方面均形成了较为全面的解决方案公司TFT设备洗净服务覆盖了从G45到G105代次的全阶段沉积和刻蚀设备涉及设备腔体挡板玻璃运载装置Mask等约1500款零部件产品的清洗服务OLED设备洗净服务覆盖了硅基微显示蒸镀设备及G45G55G6代次的蒸镀及离子注入设备涉及设备腔体挡板点源坩埚线源坩埚等约900款零部件产品清洗服务同时公司亦可为显示面板制造客户提供阳极氧化陶瓷熔射OPENMASK清洗等较为全面的洗净再生解决方案图21TFT-LCD制造工艺及公司洗净服务黄色框图22OLED制造阵列工序及公司洗净服务黄色框内所涉及的环节内所涉及的环节数据来源公司招股书广发证券发展研究中心数据来源公司招股书广发证券发展研究中心二注重技术积累与研发投入技术实力综合评分位于国内行业前列持续投入技术研发构建自主知识产权体系夯实技术壁垒公司始终重视技术积累和研发投入持续提高洗净工艺技术和技能在提升客户产品良率和降低客户成本等方面不断进行创新研发费用和研发人员数量逐年增长2019-2021年公司研发投入分别为018亿元027亿元035亿元分别占营业收入的比重为570560识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1628TablePageText富乐德新股分析624研发技术人员数量已从2019年末的85人增加至2022年H1的125人公司已构建了洗净业务较为完善的自主知识产权体系截至2022年12月12日公司及子公司拥有已获授予专利权181项其中发明专利共计20项图232018-2022Q3公司研发费用及研发费用率图2420192022H1公司研发人员数量人5020140125401201003085108020601040002020182019202020212022Q1-30研发费用百万元左轴研发费用率右轴20192022H1数据来源Wind广发证券发展研究中心数据来源公司招股书广发证券发展研究中心公司核心技术储备丰富具有较强的竞争优势和较大的市场影响力公司研发实力雄厚已在化学清洗配方表面处理工艺清洗污染物的控制等核心环节都拥有了自主研发的核心技术在如何有效去除沉积物减少对设备的腐蚀提升零部件平均清洗再生次数降低精密制程部件的清洗损耗降低金属元素和离子污染提升表面洁净度和颗粒度管控能力等方面积累了较为丰富的经验并在提升客户产品良率和降低客户成本等方面不断进行技术创新具有较强的竞争优势和较大的市场影响力表5主要核心技术情况核心技术情况技术来源所处阶段专利情况一种缓蚀剂清洗液及其应用用于去除晶圆玻璃掩膜版封装胶的清洗剂及其制备和应用综合化学复配缓蚀技术自主研发规模化生产一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用一种OLED掩膜版OpenMask表面蒸镀材料清洗方法显示面板生产设备腔体精密一种应用于电子产业腔体设备的铝熔射层的制备工艺自主研发规模化生产洗净再生技术一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法压紧环清洗保护及测量治具精密洗净传统业务半导体设备腔体精密洗净再一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法自主研发规模化生产生技术一种去除阳极氧化铝表面沉积污染物的清洗方法一种半导体设备中研磨装置内零件的清洗工艺数据来源公司招股书广发证券发展研究中心公司坚持差异化竞争和创新战略技术实力综合评分已居国内行业前列经过近20年的经营发展和技术创新公司在显示面板领域已完成高世代TFTLCDOLED设备常规部件洗净业务的全面开展及稳定量产具备满足客户全方位洗净需求的能力常规类型产品清洗损耗能控制在30微米内精密制程部件清洗损耗能控制在1微米下污染性离子含量控制在ppm级及以下颗粒度管控要求能满足03微米下在半导体设备领域公司已掌握了2814nm制程PVD部件清洗再生技术储备的半导体7nm部识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1728TablePageText富乐德新股分析品清洗工艺已较为成熟成功打破了日韩和欧美国家技术垄断根据芯谋研究的评分公司的技术实力综合评分已位于国内市场前列在半导体非刻蚀和面板非刻蚀领域中的竞争优势明显图25国内泛半导体精密清洗领域主要供应商技术情况数据来源公司招股书芯谋研究广发证券发展研究中心三大客户资源助力公司长期稳健发展市场影响力和市占率逐步提升公司先发优势明显已积累众多知名优质客户群公司前身上海申和表面处理事业部成立于2000年是国内较早进入精密洗净及再生领域的企业凭借在业内多年的耕耘公司积累了丰富优质的客户资源已取得应用材料泛林集团爱发科东京电子等全球知名半导体设备厂商的认证并建立了广泛的业务合作关系同时公司也与下游晶圆代工企业显示面板制造企业合作紧密客户涵盖英特尔台积电中芯国际华虹半导体三星电子京东方华星光电天马等主流晶圆代工和显示面板制造企业具备较为明显的先发优势和新服务的快速渗透推广能力表6公司主要客户情况序号客户所属领域客户名称1半导体领域中芯国际英特尔长江存储长鑫存储联芯上海华力华虹等2显示面板TFT京东方华星光电天马中电熊猫惠科等3显示面板OLED京东方华星光电天马维信诺和辉光电等数据来源公司招股书广发证券发展研究中心下游头部客户市场需求多且稳定为公司长期成长提供了广阔空间公司与台积电中芯国际英特尔华星光电京东方等国内外众多优质晶圆厂显示面板制造企业建立了稳定而广泛的合作关系从主要客户的洗净业务量看根据芯谋研究数据京东方作为面板界的龙头企业每年的洗净费用累计超过6亿人民币中芯国际华虹集团每年的洗净费用分别为2亿15亿人民币公司服务于下游半导体显示面板识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1828TablePageText富乐德新股分析领域头部厂商下游头部客户对洗净服务有稳定且较大的需求这为公司的长期成长提供了广阔的空间图26国内主要洗净需求主体的洗净业务量数据来源芯谋研究广发证券发展研究中心市场拓展持续推进市场竞争力不断提升凭借在精密洗净市场多年的耕耘积累公司已具备了丰富的产业经验和优良的声誉与下游头部客户的成功合作经历也为公司在业界形成了较好的品牌示范效应公司的客户群体得以进一步丰富前五大客户的营收占比逐年降低同时公司的市场影响力市占率逐年提升根据芯谋研究数据公司在国内泛半导体设备洗净市场市占率约20领先于其他厂商图272019-2022H1前五大客户营收占比图282020年国内泛半导体设备洗净市场竞争格局100富乐德901894281220803262356370其他346050408106高美可71886738306437122010华菱科技042019202020212022H1世禾科技科秉电子10前五大客户占比其他4西诺斯应友光电88数据来源公司招股书广发证券发展研究中心数据来源芯谋研究广发证券发展研究中心四募投项目扩展深化公司现有业务进一步强化公司核心竞争力公司首次公开发行8460万股人民币普通股约占发行后总股本的25募集资金投资项目均围绕公司主营业务展开陶瓷熔射及研发中心项目总投资额为12亿元陶瓷热喷涂产品维修项目总投资额为156亿元研发及分析检测中心扩建项目总投资额为058亿元补充流动资金亿元08亿元本次发行募集资金投资项目与公司现有识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1928TablePageText富乐德新股分析业务联系密切是从公司战略角度出发是对公司现有业务的扩展和深化可以进一步强化公司核心竞争力表7公司募集资金投资安排项目名称项目总投资额万元募集资金投资额万元陶瓷熔射及研发中心项目12000001200000陶瓷热喷涂产品维修项目15615741561574研发及分析检测中心扩建项目578143578143补充流动资金800000800000总计41397174139717数据来源公司招股书广发证券发展研究中心通过实施陶瓷熔射及研发中心项目公司一方面将对现有的洗净及再生服务产能进行扩充持续巩固原有应用领域的竞争优势和市场地位另一方面将适时把握下游行业制造技术和工艺提升带来的洗净再生增值领域发展机遇积极拓展阳极氧化再生陶瓷熔射再生部件维保等洗净再生增值服务同时通过对铜陵现有的研发中心进行扩建公司洗净及再生工艺水平有望得到提升以满足下游客户愈益严格的洗净量化指标要求表8陶瓷熔射及研发中心项目募集资金投资安排序号项目名称投资金额万元占项目总资金比例1建设投资1111341926111建筑工程费400185333512设备购置费617900514913设备安装费3089525714工程建设其他费用944107915预备费529214412铺底流动资金88659739总计120000010000数据来源公司招股书广发证券发展研究中心陶瓷热喷涂产品维修项目为公司针对西南区域市场开展精密洗净增值服务条件日趋成熟背景下进行的产品线延伸与升级举措公司将全面深化与主机厂应用材料泛林集团东京电子等的合作积极挖掘并全力培育增值服务项目通过新建洗净及再生车间引进先进的洗净分析检测设备并配套建设相应的办公环保等设施以提升公司在TFT-LCDOLED洗净及增值业务领域的竞争力表9陶瓷热喷涂产品维修项目募集资金投资安排序号项目名称投资金额万元占项目总资金比例1建设投资1408235901811建筑工程费680208435612设备购置费618100395813设备安装费3090519814工程建设其他费用11963077识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明2028