投资要点：
　　首次覆盖，给予“增持”评级。公司充分受益近年国产进口替代大潮，业绩将快速提升，预计2022-24年EPS分别为3.83、6.42、9.39元，对应增速106%、68%、46%。结合PE、FCFF估值法，得到市值453.35亿元，对应2022年PE为110倍，对应目标价425.01元，给予增持评级。
　　国产12寸CMP设备先锋，业绩进入快速爆发期。公司是12寸唯一国产CMP供应商，2021年占四大厂主要产线12寸CMP招标份额超40%，随着金属CMP设备取得突破，占国产产线份额有望持续突破。2020年底公司启用新厂房，产能得以释放，产能空间达到40亿以上，且随着交付验收周期大幅缩短，公司CMP设备业务将进入持续爆发期。
　　发力14nm及以下高端制程，持续创新突破。目前公司CMP设备主要在28nm批量应用，14nm节点正在验证，公司将依托国家重大专项，持续进行14-7nm段研发，在当前全球半导体行业“去全球化”的背景下，公司的CMP将对大陆晶圆制造能力提供有力支撑。此外，CMP设备在各段节点间通用性较强，公司有望在国产产线以外客户取得突破。
　　立足CMP装备，转向后市场维保及晶圆再生业务。从应材业务结构看，设备维保占比接近3成，且后市场客户粘性更强、盈利能力更优。每台CMP设备每年维保价值量200万左右，随着公司CMP累计出货量增加，维保业务将持续增长。此外，立足CMP设备，拓展大陆晶圆再生市场，募投项目将建立10万片/月晶圆再生产线，持续寻找新的业务增长点。
　　风险提示：疫情影响生产研发交付进度、新工艺进度不及预期等