半导体产能转移+国产化，国产设备公司迎历史性机遇。预计2017-2020年间大陆将建设26座晶圆厂，对高纯工艺系统需求超过390亿元，目前市场几乎都被境外品牌占据，在半导体产能向中国大陆转移以及在国家大力推动半导体产业国产化的背景下，国内供应商将迎来历史性机遇。 
    半导体领域业务放量突破，进入新一轮爆发成长期。2016年公司半导体业务收入同比增长417%，收入占比上升至50%，已经向包括华力、华润上华、台积电、力晶、海力士、上海新昇在内等知名半导体企业提供产品或服务。公司技术优势突出，参与多项电子行业国家标准制定，将在半导体产业国产化推进中显著受益。 
    股权激励解锁条件高要求，要求未来三年业绩复合增长39%。公司向高管及核心人员共计发行240万股限制性股票，授予价格为9.85元/股，业绩考核要求为以2016年净利润0.45亿元为基础，2017~2019年净利润增长率不低于30%/100%/170%。 
    盈利预测与估值：预计公司2017-2019年EPS分别为0.29/ 0.46/ 0.64元，对应PE 53x/ 34x /24x，看好半导体行业发展趋势，给予"增持"评级。 
    风险提示：半导体行业投资低于预期。